《金属半导体接触的三种结构形式》由会员分享，可在线阅读，更多相关《金属半导体接触的三种结构形式（2页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、金属-半导体接触势垒的三种形式（比较） 2010-11-19 11:30:12| 分类： 微电子器件 | 标签： |字号大中小 订阅 （在什么情况下的金属-半导体接触是 Ohm 接触？为什么 Schottky 势垒和 Mott 势垒具有 单向导电性？Schottky 二极管和 Mott 二极管在性能上有何异同？） Xie Meng-xian. (电子科大，成都市) 金属-半导体接触是一种基本的器件结构，它本身具有两种重要的功能，即二极管功能和 Ohm 接触功能；而在二极管功能中，又可区分出两种性能有所不同的器件Schottky 二 极管和 Mott 二极管。 不同功能的金属-半导体接触，其主要
2、的差别就在于接触势垒的形式不同。见图 1， （a）是 Schottky 势垒， （b）是 Ohm 接触势垒， （c）是 Mott 势垒。 一般的半导体与金属的接触就形成 Schottky 势垒，它的势垒高度为 qfBn，并且在半导 体 表面附近处有一层空间电荷区半导体表面势垒。当加有正向电压时（金属接电源正极） ， 半导体表面势垒高度降低，则有较多半导体电子通过热发射而流到金 属、形成很大的正向 电流；当加有反向电压时（金属接电源负极） ，金属电子到半导体的势垒高度 qfBn 不变， 阻挡着电子流到半导体去，则反向电流很小。因此 Schottky 势垒具有单向导电性。利用 Schottky 势
3、垒工作的两端器件就是 Schottky 二极管。 如果半导体的掺杂浓度很高，则与金属的接触就将形成 Ohm 接触。因为这时半导体表面势 垒的厚 度很薄，电子可以借助于量子隧道效应的方式而通过接触界面，所以正向电流和反 向电流都将会很大，从而就不再具有单向导电性了，成为了 Ohm 性的导电。这是 任何半 导体元器件作为电极连接所必需的。 如果半导体表面层的掺杂浓度很低，则与金属的接触就将形成 Mott 接触。这时半导体表面 势垒的厚度很大，电子只有借助于扩散的方式来通过接触界面。同样，Mott 势垒也具有单 向导电性。利用 Mott 势垒工作的两端器件就是 Mott 二极管。 Schottky 二极管和 Mott 二极管都是多数载流子工作的器件，因此它们都是性能优良的高速 开关二极管；而 Mott 二极管因为其 Mott 势垒厚度较大，则势垒电容很小、耐压较高，从 而它又是很好的微波二极管以及高电压的功率二极管。
