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1、扫描电镜的分辨能力适用表征尺度范围 扫描电子 显微镜显微镜分析系统在工业材料研发制造和应用过程中必不可少， 越来越多的事实证明，制约最终产品质量的关键因素往往是材料性能相对落后。 通过现代科学仪器进行材料的分析和表征，控制和提高基础材料的可靠性能以 满足工业需要，得到了中国乃至世界业内广泛的共识。世友创业扫描电镜分析系统项目，由具有十几年的扫描电镜业内经验专业人士 承担，为用户提供一流的产品和技术服务，并且为普及扫描电镜知识经验而努 力。在一般人的印象里，都可以看到纳米尺度，可以表征纳米材料。但在实践应用 过程中，电子显微镜分成几类，分辨表征能力有较大差异。为了广大用户准确 了解和使用，特作如
2、下总结。电子显微镜类别一类透射电子显微镜，这里不作说明。一类扫描电子显微镜，扫描电子显微镜主要演化分类：场发射大型扫描电子显微镜-极限分辨率 1-亚纳米级六硼化镧电子枪大型扫描电镜-极限分辨率 2nm钨灯丝大型扫描电子显微镜-极限分辨率 3nm小型桌面台式扫描电镜(目前商品化主要是钨灯丝)-极限分辨率 20nm假使只关心样品形貌，不考虑其他探测器的性能发挥，各类型扫描电镜在良好 状态条件下，分辨能力适用范围。1、扫描电镜的极限适用表征形貌尺度-结构特征放大到 3-6mm ，能看出基本 形状和结构特征。仪器观测条件需要发挥到相对极限。操作难度高，需要丰富 的操作经验。场发射大型扫描电镜有效表征：
3、20nm-40nm 对应倍数 15 万-30 万倍六硼化镧大型扫描电镜有效表征： 40nm-80nm 对应 7.5 万-15 万倍钨灯丝大型扫描电镜有效表征： 60nm-120nm 对应 5 万-10 万倍小型桌面台式扫描电镜有效表征：400nm-800nm 对应 7500x-15000x2、扫描电镜中等潜能适用表征形貌尺度-结构特征放大到 3-6mm，能看出基本 形状和结构特征。仪器观测条件设置在中等水平，操作难度适中，一般经过系 统培训可以实现。场发射大型扫描电镜 40nm-80nm 对应 75000x-150000x六硼化镧大型扫描电镜 80nm-170nm 对应 35000X-7500
4、0X钨灯丝大型扫描电镜 120nm-600nm 对应 25000x-50000x小型桌面台式扫描电镜 800nm-1600nm 对应 3750x-7500x3、扫描电镜一般使用对应的形貌特征尺度 结构特征放大到 3mm 以上。仪器观 测条件设置在中等水平以下，操作简单，一般简单培训即可上机操作。场发射大型扫描电镜 大于 80nm 对应小于 75000x六硼化镧大型扫描电镜 大于 170nm 对应小于 35000X钨灯丝大型扫描电镜 大于 240nm 对应小于 25000x小型桌面台式扫描电镜 大于 1600nm 对应小于 3750x扫描电镜往往有维护周期，在维护周期内，随使用时间推移，扫描电镜的性能 会不断下降。如果考虑环境干扰因素，性能不断下降因素，获得平均性能的发 挥，以上数据须打折扣。扫描电镜的使用方法和维护很重要,如不能正确使用和 维护,发挥出中等能力也很困难，只能是低水平应用。扫描电镜应用是科学也是艺术，经验丰富的专业人员能够发挥其最大潜能，而 大多使用者令其在中间能力发挥作用，在中等条件下，获得好的图像质量。如 果希望图像质量更好，甚至达到艺术级别，那么需要相应的提高仪器档次，或 者降低仪器使用表征尺度范畴。以上是仪器按照科学使用经验的总结，也是用户选购仪器分辨率的科学决定因 素。
