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1、有关洁净室等级 FS-209E 和 ISO14644-1 的对比分析1、等级依据公式不同而引起结果差异ISO14644-1 的洁净的度等级依据公式与 FS209E 的不同，主要是将参照粒径由 0.5um 改成 0.1um；累计分布系数 n，由 2.2 改为 2.08。其结果的差异是：1）ISO 1 级比 FS209E 的 M1 级达更严的要求。ISO1 级对被考虑粒径为 0.1um 时，其0.1um 粒径最大浓度限值，即被考虑粒径下粒子累计分布最大浓度值，为 10pcs/m3,而 M1 级则为350pc/m3，其对照可见表 2。ISO 的等级就更适应对洁净度控制要求更严密的发展需要。2）由于
2、FS209 的英制洁净度等级已为大家所熟悉，改用其他标准的等级必然需要有个方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8级各与英制的 1、10、100、1000、10000、100000 级相当，即在被考虑粒径 D=0.5um 时，其0.5um 粒子的最大浓度限值是相同的；ISO 的相关等级序数都是整数，若 n 仍采用FS209EDE2.2,则与英制等级对应的 ISO 等级序数就不是整数了，因此问题不在于 2.08 还是 2.2 更符合实际，而在于放方便合适，因为大气中悬浮粒子累计分布指数 n，其经验值一般在 22.3 间。表 1 ISO 14644-1 与 FS209E 标准的差异点项目FS-
3、209EISO14644-11.划分等级强调按其洁净度等级表强调按等级公式中所列的标准等级，亦列出等级公式2.等级依据公式Cm=(0.5/D)2.210M粒子数/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)Cm某等级下，D 的悬浮粒子最大浓度限值Pc/m3D被考虑粒径 umM洁净度等级序数Nc英制单位的洁净度等级Cm=(0.1/D)2.0810NCn同左 CmD同左N同左 M3.等级数M1M7ISO1ISO9 级4.测试时洁净室状态未作规定1 种或更多状态5.测试的粒径范围要求1 个或更多1 个或更多，其粒径至少应为下一个较小粒径的 1.5 倍6.最小取样体积2.83L2L7.取样点数非单向流：
4、A64/(10M)0.5单向流：A/2.32,A64/(10M)0.5A中取较小者8.取样次数1 次或更多1 次，若仅为一点时则取样 3 次9.超微粒子0.02um5um11.等动力取样包括未包括由于两标准的 n 值取得不一，ISO 有关与 FS209 英制等级相对应的等级，除被考虑粒径 D 为 0.5um 外，其它各被考虑粒径下的累积分布最大浓度限值便不同，如在 D0.5um 时，则为大，因为大气中，悬浮粒子累积分布浓度（N）与各被考虑粒径(D)的关系是 N1/N2=（D2/D1）n ，其差别可从表 2 对照看出，如 ISO4 级与相当(FS209E 英制等级)10级，被考虑粒径 D 为 0
5、.5um，其0.5um 的最大浓度限值是相同的，但当 D 为 0.1um 时，其0.1um 粒子的最大浓度限值便各为10000Pc/m3(ISO4 级)及 12400Pc/m3(1000 级)；又如 ISO6 级相当1000 级，当 D 为 5um 时，5um 的最大浓度限值各为 293P c/m3(ISO6 级)及 247Pc/m3(1000 级)。2、非表列的等级ISO14644-1 对 ISO1ISO9 级范围内的各等级间允许按 0.1 递增进行再细分，为 ISO1.1、ISO1.2ISO8.8、ISO8.9，并强调按其依据公式进行计算各被考虑粒径 D 下的D 粒径最大浓度限值。而FS2
6、09E 则强调按其表列的标准等级，只在特殊需要情况下才允许再细分级，并按其公式近似计算其D 的最大浓度限值。3、替代粒径ISO 14644-1 对列于其表中的主要被考虑粒径外的粒径，都允许作为被考虑粒径，按其公式计算有关最大浓度限值，只要求在测量二个或更多个粒径时，各粒径间应满足大的比小的其直径至少为 1.5 倍。而 FS209E 则对其表列被考虑粒径（见表 2）以外的粒径称为替代粒径，当采用替代粒径作为控制粒径时，在某等级下，其该替代粒径的最大允许浓度限值不是按其等级依据公式计算得出，而规定仍按其表列的被考虑粒径中，相邻替代粒径且大于它的一个被考虑粒径的作为依据。这就于理不通，实属多此一举。
7、4、洁净度等级及超微粒子等的表达格式1) 对洁净度等级的表达格式洁净度等级表述格式都是指粒径 0.1um5um 范围内的，不适用于5um 的粒径。ISO14644-1 对洁净度等级的表达格式为：等级级别；等级的占用状态；被考虑粒径。如：ISO4 级；动态；被考虑粒径0.2um(2370Pc/m3),1um(83Pc/m3)。而 FS209E 则无明确规定，只明确为 M3.5(0.3um)或 100（0.3um） ，这个英制表达式往往被误解，有的常把 100（0.3um）理解为0.3um 粒子，最大允许浓度为 100pc/ft3，实际上应理解为 100 级（即0.5um 的粒子为 100 pc/ft33）对0.5um 粒子的表达格式。ISO14644-1 定义5um 的粒子定义为大粒子，其表达格式为“M(a;b);c” ，a,b 各为浓度及粒径，c 为测量方法，这就把小于 0.1um 及大于 5un 范围的粒径以描述符来规定其要求。而 FS209E,超微粒子的定义为0.2um 这段粒径的要求。另外对5um 的粒子亦未作规定。
