XPS数据分析基本过程定性分析首先扫描全谱，由于荷电存在使结合能升高，因此要通过C 结合能 284.6eV对全谱进行荷电校正， 然后对感兴趣的元素扫描高分辨谱，将所得结果与标准图谱对照，由结合能确定元素种类， 由化学位移确定元素得化学状态，为了是结果准确在每一次扫描得结果分别进行荷电校正XPS 谱图中化学位移的分析一般规律为：1、原子失去价电子或因与电负性高的原子成键而显正电时，内层电子结合能升高2、原子获得电子而荷负电时，内层电子结合能减小3、氧化态越高，结合能越大4、价层发生某种变化时，所有内层电子化学位移相同5、对于 XPS 峰主量子数 n 小的壳层比 n 大的峰强， n 相同的角量子数 l 大的峰强， n，l 相同的 j 大的峰强定量分析选取最强峰的面积或强度作为定量计算的基础，多采用灵敏度因子法， 因为各元素产生光电子时的含量强度和含量不一定成正比，从而利用灵敏度因子对强度进行修正，其做法为：以峰边、背景的切线交点为准扣除背景，计算峰面积或峰强，然后分别除以相应元素的灵敏度因子法，就可得到各元素的相对含量，这个相对含量是原子个数相对含量即摩尔相对含量XPS 图谱的分峰处理由于在制备过程中外界条件不可能完全均匀一致，因而对于同一元素可能存在不同的化学态， 而各化学态产生的峰又有可能相互重叠，这样就对定性、 定量分析带来了不便，因而在进行数据分析时需要对可能存在重叠的峰进行分峰处理，目前有很多数据处理软件可以进行分峰运算，其原理都是利用高斯－洛沦兹函数，其中 XPSpeak为一位台湾学者编写的程序， 其采用图形用户界面 （GUI），用于 XPS 分峰处理操作方便，简单易学。
XPSpeak运行后其界面为：上面的窗口主要用于图形显示，即原始数据图谱、分离的峰、拟和的峰都将在此窗口中显示，在主菜单栏中Data中选择打开的数据类型，由于不同的设备输出的数据格式不同，所以一般需要将原始数据转换成Ascii 格式；在进行分峰处理前需要扣除背景，在Background菜单中选择扣除背景的参数；在Add Peak菜单中选择增加峰的参数如峰位、峰面积、半峰宽等设置扣除背景，增加峰的参数的窗口如下：。