一种ito薄膜激光蚀刻设备及蚀刻方法

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注:本页蓝色字体部分可点击查询相关专利SooPAT一种ITO薄膜激光蚀刻设备及蚀刻一种ITO薄膜激光蚀刻设备及蚀刻 方法方法申请号:200710077447.9 申请日:2007-11-30申请(专利权)人申请(专利权)人深圳市大族激光科技股份有限公司地址地址518057广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路 8号发明(设计)人发明(设计)人高云峰 陈夏弟 郑其锋 倪鹏玉 程文胜 李世印 王文 王小 博主分类号主分类号B23K26/08(2006.01)I分类号分类号B23K26/08(2006.01)I B23K26/42(2006.01)I B23K26/14(2006.01)I B23K26/40(2006.01)I公开(公告)号公开(公告)号101450419公开(公告)日公开(公告)日2009-06-10专利代理机构专利代理机构代理人代理人

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