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1、建设项目环境影响报告表建设项目环境影响报告表(脱密本脱密本)项目名称：项目名称：深圳瑞波光电子有限公司新建项目深圳瑞波光电子有限公司新建项目投资单位（盖章）投资单位（盖章）: 深圳瑞波光电子有限公司深圳瑞波光电子有限公司编制日期：2017 年 7 月深圳市人居环境委员会制项目编号：CQNS2017030021建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1、项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字（两个英文字段作一个汉字）。2、建设地点指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3、行业类别按国标填写
2、。4、总投资指项目投资总额。5、主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6、结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7、预审意见由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8、审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。2建设项目基本情况建设项目基本情况项目名称深圳瑞波光电子有限公司新建项目建设单位深圳瑞波光电子有限公司法人
3、代表刘翊联系人*通讯地址*联系电话*传真邮编518055建设地点广东省深圳市南山区西丽镇茶光路南侧深圳集成电路设计应用产业 园 404、507审批部门深圳市南山区环境保护和水 务局批准文号建设性质新建行业类别 及代码光电子器件及其他电子 器件制造（C3969）分类名录K80 电子真空器件、集 成电路、半导体分立器 件制造、光电子器件及 其他电子器件制造做表依据本项目设有有机溶剂清洗工艺，根据分类管理名录编制报告表建筑面积 （平方米）1842绿化面积 （平方米）总投资 （万元）*其中：环保 投资（万 元）*环保投资 占总投资 比例*评价经费 （元）*拟投产日 期2017 年 8 月（一）工程内容
4、及规模（一）工程内容及规模1、项目概况及任务来源、项目概况及任务来源深圳瑞波光电子有限公司（注册号 440301105773986）成立于 2011 年 10 月 21日，现拟在广东省深圳市南山区西丽镇茶光路南侧深圳集成电路设计应用产业园404、507 从事半导体光电子器件的生产，员工人数为 38 人。本次评价时，项目处于设备安装阶段，现申请办理“新建”项目环保审批手续。根据中华人民共和国环境影响评价法及国家环保部第 33 号建设项目环境影响评价分类管理名录的有关规定，受深圳瑞波光电子有限公司的委托，重庆市环境保护工程设计研究院有限公司承担了该项目的环境影响评价工作，以客观、真实地反映出该项目
5、对环境的影响， 为环保行政主管部门的环境管理提供参考决策依据。32、项目建设内容项目建设内容表表 1主体工程及产品方案主体工程及产品方案序号序号产品名称产品名称设计能力设计能力年运行时数年运行时数1640 nm 半导体激光器1 万件/年2400 小时2808 nm 半导体激光器1 万件/年3915 nm 半导体激光器1 万件/年4976 nm 半导体激光器1 万件/年51470 nm 半导体激光器1 万件/年61550 nm 半导体激光器1 万件/年 3、总图布置、总图布置本项目位于深圳市南山区西丽镇茶光路南侧深圳集成电路设计应用产业园， 所在厂房共有 5 层，项目位于 4-5 层，其中 4
6、层为生产车间，5 层为办公区域及测试车间。项目车间布置具体见“建设项目工程分析”章节中图 1、图 2。4、项目主要原、辅材料及年用量、项目主要原、辅材料及年用量表表 2主要原、辅材料及年用量一览表主要原、辅材料及年用量一览表类别类别名称名称年年耗耗量量来源来源储运方式储运方式原料半导体外延片（GaAs/AlGaAs 或 InP /GaInP/GaInAsP）100 片供应商 提供供应商提 供，储存 于化学品 仓库区辅料丙酮650 升异丙醇320 升去蜡液50 升盐酸20 升49%氢氟酸12 升硫酸20 升双氧水18 升无水柠檬酸10 千克5%硅烷/氮气（5%SiH4/N2）1 瓶 44 升氨气
7、（NH3）1 瓶 44 升笑气（N2O）1 瓶 44 升氧气（O2）1 瓶 44 升氮气（N2）6 瓶 44 升/瓶氩气（Ar）1 瓶 44 升四氟化碳(CF4)1 瓶 44 升8%氧气/四氟化碳（8% O2/CF4）1 瓶 44 升液氮16000 升研磨粉2 千克抛光粉1.5 千克光刻胶1 加仑显影液120 升Ti 靶50 克4Pt 靶100 克Au 靶100 克AuGe 靶50 克Ni 靶50 克TiO2300 克Al2O3300 克SiO2300 克表表 3 主要能源以及资源消耗一览表主要能源以及资源消耗一览表类别类别名称名称年年耗耗量量储运方式储运方式储运方式储运方式工业制纯水用水27
8、00 吨 市政水厂提供管网输送 生活生活用水456 吨电45 万度市政供电管网电路输送5、项目主要、项目主要设备设备表表 4主要设备主要设备序号序号名称名称型号型号数量数量 （台台）备注备注1光刻机MA61在外延片表面制作光刻胶图 形，进行图形对准2光刻机H94-25C13匀胶机KW-4A1在外延片上旋涂光刻胶4加热板JR-2020Z2烘片和烤胶5台阶仪Dektak XT1测试光刻胶厚度和外延片蚀刻 深度6恒温槽HXC-500-2A/ AE1提供不同温度的水浴环境7超声波清洗机定制2超声波清洗，去除外延片表面 颗粒物和有机物8等离子体增强化学 气相沉积设备Aegis-20L1在外延片表面沉积介
9、质膜9反应离子刻蚀机Nasca-20L1刻蚀介质膜设备10等离子体去胶机Nasca-101去除外延片表面的底胶膜11电子束蒸发镀膜机CELLO Seker-601电子束加热方式蒸发介质薄膜12电子束蒸发金属镀 膜机Ohmiker-60B1电子束加热方式蒸发金属薄膜13磁控溅射机Ohmiker-50L1溅射的方式沉积金属薄膜14快速合金炉RTP-CT150M1提供快速升温和降温的设备15研磨机M-15STC1以物理研磨的方式减薄外延片 衬底面516抛光机M-15TC1对外延片衬底表面进行物理化 学抛光17划片机DAIRON/DPS- 402NR1进行划线操作，在外延片表面 形成划痕18裂片机DA
10、IRON/DB M-412NR1在压力作用下，把外延片或激 光器件解理开来19贴片机MECH-EL/ME I7094高温使焊料熔化，把激光器贴 在热沉上20金丝球焊机K&S 8028PPS1激光器N面电极与热沉之间进 行引线21通风柜订制4进行化学清洗的操作平台22冷水机DX_30WD1给真空设备提供冷却水的系统23空气压缩机SA-08A1给设备提供压缩空气的系统24喷淋塔JYSW601对真空设备排出的少量废气进 行吸收处理25纯水机HKE-500L1提供清洗外延片用的去离子水 6、公用工程公用工程本项目生产所需原材料均由供应商直接提供， 厂房内设置原材料仓库及成品仓库，分别存放。员工日常生活
11、用水来自市政供水，产生的生活污水排入市政管网，汇入南山污水处理厂处理。生产所需电源由市政供电，不设备用发电机。7、劳动定员及工作制度、劳动定员及工作制度本项目员工人数 38 人，年生产 300 天，每日一班制，日工作 8 小时，员工在工业区外食宿。8、项目进度安排项目进度安排本次评价时，项目处于设备安装阶段，现申请“新建”项目环保审批手续。（二）项目的地理位置图及周边环境状况：（二）项目的地理位置图及周边环境状况：本项目位于深圳市南山区西丽镇茶光路南侧深圳集成电路设计应用产业园， 所在厂房共有 5 层，项目位于 4-5 层，其中 4 层为生产车间，5 层为办公区域及测试车间。 项目所在西侧为工
12、业厂房， 北侧为道路绿化带， 东侧、 南侧为公交车终点站。表表 5项目选址坐标项目选址坐标X 坐标坐标Y 坐标坐标22490.48102749.8822490.48102827.9822415.64102827.4522415.64102748.81 经核实，项目选址不位于深圳市基本生态控制线范围内。6项目选址所在行政区划图见附图 1，项目选址位置与深圳市基本生态控制线关系图见附图 2，项目车间及所在厂房现状图见附图 3，项目选址周边情况及噪声监测点分布图见附图 4，项目所在区域与水源保护区关系图见附图 5，项目所处大气功能区见附图 6，项目所处噪声功能区见附图 7，项目所在地法定图则图见附图
13、 8。编制依据编制依据 一相关的环境保护法律一相关的环境保护法律1中华人民共和国环境保护法2015.1.12中华人民共和国大气污染防治法2015.8.293中华人民共和国水污染防治法2008.06.014中华人民共和国环境噪声污染防治法1996.10.295中华人民共和国固体废物污染环境防治法2015.4.246中华人民共和国清洁生产促进法2012.2.29 日修订，2012.7.1 施行）7中华人民共和国环境影响评价法2016.9.1二相关的环境保护法规、条例二相关的环境保护法规、条例1国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定（国发200539 号文）2国家危险废物名录，2016.8.13
14、危险废物转移联单管理办法国家环境保护总局令第 5 号，1999.5.314产业结构调整指导目录（2011 年本）（2013 年修订）（发展改革委令 2011 第 9 号）5广东省优化开发区产业发展指导目录（2014 年本）6广东省用水定额（2014）7关于调整深圳市环境空气质量功能区划的通知深府200898 号，2008.5.258关于颁布深圳市地面水环境功能区划的通知深府1996352 号，1996.12.119深圳市人民政府关于调整深圳市生活饮用水水源保护区的通知，深府201574 号，2015.8.2510关于调整深圳市城市区域环境噪声标准适用区域划分的通知深府200899 号，2008
15、.5.2511深圳市人民政府关于进一步规范基本生态控制线管理的实施意见，深府201613 号12深圳市城市规划标准与准则深府200453 号，2004.3.2513深圳市排水条例2007.7.1114深圳经济特区环境保护条例2010.1.115深圳市产业结构调整优化和产业导向目录（2013 年本）16关于开展建设项目环境影响评价循环经济指标应用的通知深环200811 号17深圳市建设项目用水节水管理办法深府第 183 号，2008.5.118深圳经济特区建设项目环境保护管理条例2006.11.119. 深圳市人民政府关于印发大气环境质量提升计划（20172020 年）的通知，深府20171 号
16、20南山区环境保护和水务局关于环境管理改革的实施意见（修订）深南环水31 号2015.9.10三项目资料三项目资料1. 企业法人营业执照；2. 房屋租赁合同书；3. 项目危险废物处理合同书；4. 关于要求编制建设项目环境影响报告表的通知2建设项目所在地自然环境社会环境简况建设项目所在地自然环境社会环境简况（一）自然环境简况（地形地貌、地质、气候、气象、水文、植被（一）自然环境简况（地形地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）生物多样性等）1、项目地理位置简述、项目地理位置简述本项目选址位于深圳市南山区西丽街道。西丽街道位于南山区西北部；东以大沙河为界与桃源街道相连，西连特区管理线与宝安区新安街道毗邻，南至北环路与南头、粤海街道相接，北靠羊台山与宝安区石岩
