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1、化学镀金工艺化 学 镀 金 在 电 子 电 镀 中 占 有 重 要 地 位 ， 特 别 是 半 导 体 制 造 和 印制 线 路 板 的 制 造 中 ，很 早 就 采 用 了 化 学 镀 金 工 艺 ，但 是 早 期 的 化 学镀 金 由 于 不 是 真 正 意 义 上 的 催 化 还 原 镀 层 ， 只 是 置 换 性 化 学 镀 层 ，因 此 镀 层 的 厚 度 是 不 能 满 足 工 艺 要 求 的 ，以 至 于 许 多 时 候 不 得 不 采用 电 镀 的 方 法 来 获 得 厚 镀 层 。 随 着 电 子 产 品 向 小 型 化 和 微 型 化 发展 ， 许 多 产 品 已 经 不
2、可 能 再 用 电 镀 的 方 法 来 进 行 加 工 制 造 ， 这 时 ，开 发 可 以 自 催 化 的 化 学 镀 金 工 艺 就 成 为 一 个 重 要 的 技 术 课 题 。(1) 氰 化 物 化 学 镀 金为 了 获 得 稳 定 的 化 学 镀 金 液 ， 目 前 常 用 的 化 学 镀 金 采 用 的 是 氰化 物 络 盐 。 一 种 可 以 有 较 高 沉 积 速 度 的 化 学 镀 金 工 艺 如 下 。甲 液 ：氰化金钾5gL EDTA5gL 氰化钾8gL 二氯化铅05gL 柠檬酸钠50gL 硫酸肼2gL乙 液 ：硼氢化钠200gL 氢氧化钠l20g L使 用 前 将 甲
3、液 和 乙 液 以 l0:1的 比 例 混 合 ， 充 分 搅 拌 后 加 温 到75 ， 即 可 以 工 作 。 注 意 镀 覆 过 程 中 也 要 不 断 搅 拌 。 这 一 种 化 学 镀金 的 速 度 可 观 ， 30min可 以 达 到 4 m 。但 是 这 一 工 艺 中 采 用 了 铅 作 为 去 极 化 剂 来 提 高 镀 速 ， 这 在 现 代电 子 制 造 中 是 不 允 许 的 ，研 究 表 明 ，钛 离 子 也 同 样 具 有 提 高 镀 速 的去 极 化 作 用 ， 因 此 ， 对 于 有 HORS要 求 的 电 子 产 品 ， 化 学 镀 金 要 用无 铅 工 艺
4、：氰化金钾4gL 硼氢化钠54108mg L 氰化钾65gL 温度7080 氢氧化钾ll 2gL 沉积速度210m h 硫酸钛5100mg L如 果 进 一 步 提 高 镀 液 温 度 ， 还 可 以 获 得 更 高 的 沉 积 速 度 ， 但 是这 时 镀 液 的 稳 定 性 也 会 急 剧 下 降 。为 了 能 够 在 提 高 镀 速 的 同 时 增 加镀 液 的 稳 定 性 ，需 要 在 化 学 镀 金 液 中 加 入 一 些 稳 定 剂 ，在 硼 氢 化 物为 还 原 剂 的 镀 液 中 常 用 的 稳 定 剂 有 EDTA、乙 醇 胺 ；还 有 一 些 含 硫 化物 或 羧 基 有
5、机 物 的 添 加 剂 ，也 可 以 在 提 高 温 度 的 同 时 阻 滞 镀 速 的 增长 。(2) 无 氰 化 学 镀 金在 化 学 镀 金 工 艺 中 ， 除 了 铅 是 电 子 产 品 中 严 格 禁 止 使 用 的 金 属外 ，氰 化 物 也 是 对 环 境 有 污 染 的 剧 毒 化 学 物 ， 因 此 ，采 用 无 氰 化 学镀 金 将 是 流 行 的 趋 势 。 亚 硫 酸 盐 。 亚 硫 酸 盐 镀 金 是 三 价 金 镀 金 工 艺 ， 还 原 剂 有 次 亚磷 酸 钠 、 甲 醛 、 肼 、 硼 烷 等 。 由 于 采 用 亚 硫 酸 盐 工 艺 时 ， 次 亚 磷 酸
6、钠 和 甲 醛 都 是 自 还 原 催 化 过 程 ， 是 这 种 工 艺 的 一 个 优 点 。亚硫酸金钠3gL 次亚磷酸钠4gL 亚硫酸钠l5g L pH值9 1，2 一氨基乙烷lg L 温度9698 溴化钾lg L 沉积速度05m h 三 氯 化 金 镀 液A 液 ：氯化金钾 (KAuCl4)3gL pH值( 用氢氧化钾调 )14B 液 ：甲醚代 N-二甲基吗啉硼 烷7gLpH值( 用氢氧化钾调 )14将 A 液 和 B 液 以 等 体 积 混 合 后 使 用 。温度55 沉积速度45m h氯化金钾2gL MBTl 2mg L 次亚磷酸钠20gL pH值119 二甲基氨硼烷2gL 温度50
