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1、气体质量流量控制器（流量计）S49 32/MT 使用说明使用说明北京堀场汇博隆密仪器有限公司北京堀场汇博隆密仪器有限公司目目录录1. 特点及应用领域 12. S49 系列质量流量控制器(流量计)型号13. 主要技术指标24. 工作原理35. 安装和接线66. 使用方法和操作步骤127. 注意事项148. 故障判断和处理159、附录：气体质量流量转换系数2011.1. 特点及主要应用领域特点及主要应用领域 气体质量流量控制器（流量计）Mass gas flow controller（meter）缩写为 MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。 S49S49 3232/MT/
2、MT 质量流量控制器质量流量控制器( (流量计流量计) )特点：特点： 耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不 因温度、压力的变化而变化。 主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用 VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。 具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。 可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动 控制系统配合。 配合 MT-60 系列流量积算仪， 可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计 量。 S49S49 3232/MT/MT 质量流量控制器质量流量控制器( (流量计流量计) )主要应用领域：主要应用领域
3、： 半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等。 2 2. S49S49 系列质量流量控制器系列质量流量控制器( (流量计流量计) )型号型号2S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)，S49 为质量流量控制器(流量计) 产品，32/MT 为本公司此产品设计序列号。 质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量； 质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动 控制气体的质量流
4、量功能。 型式批准证书：2011F215-11 执行 Q/CYHMT001-2011 企业标准 许可证编号：京制 01050063 号 3.3.主要技术指标主要技术指标 质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM 行业标准) L/min （升/分钟）。(SLM 行业标准) 标准状态为：温度-273.15K（0）； 气压-101325Pa(760mmHg) F.S(Full Scale):表示满量程值 表表 1 1 S49S49 32/MT32/MT 质量流量控制器质量流量控制器( (流量计流量计) )技术指标技术指标 编号项
5、目S49 32/MT1流量规格（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min 2调节阀类型电磁调节阀 3调节阀静止状态常闭34准确度1.5%F.S 5线性1.5%F.S 6重复精度0.2%F.S 7响应时间8 秒（T95） 8工作压差范围（50300）kPa;（100300）kPa(10L/min) 9耐压3MPa;10MPa 10工作环境温度（545） 11材料不锈钢 316L 12标准密封材料Viton，EPDM，或其他由用户指定 13漏率110-8Pa.m3/s14接头6mm10mm, 1/4Swagelok。1/4VCR。或其他
6、由 用户指定15输入输出信号（05.00）V (输入阻抗100K,负载输出电流能 力3mA) 16供电电源15V（5%）（15V50mA,15V200mA） 17外形尺寸 mm130（宽）102（高）28（厚） 18重量 kg084.4. 工作原理工作原理4图一图一 热式质量流量控制器热式质量流量控制器( (流量计流量计) )的工作原理的工作原理 质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀 和放大控制电路等部件组成。 本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分 布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）
7、。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的 影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得5的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定 的流量相等。 分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道 的流量成比例。 与之配套使用的 MT-50 系列流量显示仪备有15V 直流电源，3 位半数字电 压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关，调零等。为质量流量计或 控制器提供工作电源，设定控制和显示等功能。控制器的设定输入、流量输出信 号均为电压形式， 量程范围为 0+5V。 质量流量控制器(流量
8、计)与 MT-50 流量显 示仪连接后的工作原理如图 1 所示。 控制器一般与 MT-50，MT-51 或与之相兼容的流量显示仪连接。 如与 MT-51 数字式流量显示仪连接，则构成数字式流量显示控制。该数字式 流量显示仪提供 RS-232C 接口， 或 RS-485 接口， Modbus 协议， 无需附加 A/D,D/A 转换卡，而实现与计算机网络电气连接、以及与组态软件的连接。 如 S49 32/MT 流量控制器直接与计算机连接,则需要用户自行提供电源和 A/D,D/A 转换卡等。 控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示 仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相
9、连时，由用户另外提供的外部（0 +5）V 电压控制流量。 在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时， 阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或临时作为流量 计使用；当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量。（参考流量 显示仪的使用说明书）6注意：在“清洗”时，实际气流将超过满量程若干倍，此时流量显示值不准 确，还可能出现流量增大显示反而减小的现象，这是由热式质量流量计的特性决 定，属于正常现象。对不希望出现大气流“清洗”的场合，用户应自行限制。 不推荐长时间置“清洗”位，此时阀门开度最大，而利用流量控制器长期做 流量计或开启阀使用。因为此时电
10、磁阀、线路等将会流过很大的电流，因而加速 其热老化损坏。 5 5. 安装和接线安装和接线 5.15.1 S49S49 32/MT32/MT 系列质量流量控制器系列质量流量控制器( (流量计流量计) )外形及安装尺寸如图二所示外形及安装尺寸如图二所示图二图二 S49S49 32/MT32/MT 系列质量流量控制器系列质量流量控制器( (流量计流量计) )外形及安装尺寸外形及安装尺寸7注意：图中标明的高度，是未加电缆插头的高度。 5.25.2 入口和出口气路接头入口和出口气路接头 可以根据用户的不同需求，选用两种类型： 1. 双卡套（Swagelok）；a.6mm; b.3; c. 1/4;d.或
11、其他。 2. VCR. a. 1/4;b. 3/8. 连接方法如图三，图四所示:图三图三 双卡套接头的连接方法双卡套接头的连接方法图四图四 VCRVCR 接头的连接方法接头的连接方法8质量流量控制器(流量计)与气路的连接，可以根据不同的要求，选用不同的 管件，如金属管，塑料管等等。 S49 32/MT 系列质量流量计和流量控制器的缺省 连接形式为双卡套，接管尺寸为6。 5.35.3 质量流量控制器质量流量控制器( (流量计流量计) )的接线的接线图五图五DB15/FDB15/F 孔型孔型 插座接口定义图插座接口定义图9S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)的接线插头，考虑到其兼容性，
12、主 要采用 DB-15/F 孔型插座，其接线方法如图五所示。 信号 0V,电源地（0V）在流量控制器内是连在一起的，其与 0V(E0 大电流， 即阀 0V 线)在流量控制器内并没有连接。在直流电源处，15V 电源 0V，+5V 信 号 0V 应连在一起，并与流量控制来的“信号 0V”,“电源地（0V）”，“0V(E0 大电流)”三条线相连。 “大地（Earth）”是外壳接地线，其与阀流量计金属底座是通过第 8 脚（孔 型插座）在内部连在一起的，其应与控制电缆金属屏蔽网连接，以实现屏蔽一体。 应在直流电源处采取有效屏蔽、隔离等措施，防止干扰信号串入流量计系统。 将“大地（Earth）”线与直流供
13、电电源 0V 直接或通过大电容实现一点接地 （应避免存在的多处接地，防止接地回路形成），形成零、地等电位，也是有效 抵抗干扰的方法之一。应避免金属外壳等由于安装原因带有较强的干扰源，防止 可能形成的强的地电流回路，而烧毁流量控制器内部线路！应掌握一点接地 原则，采用绝缘、隔离等方法，防止接地回路形成。 5.45.4 质量流量控制器质量流量控制器( (流量计流量计) )与计算机或与计算机或 PLCPLC 的连接方法的连接方法 需用设备： 计算机或 PLC； A/D（模数）,D/A（数模）转换卡或转换模块，每台流量控制器各配置一 个通道； 常开式继电器，两个，用于控制调节阀的开闭； 显示仪或高稳定
14、性高抗干扰能力的15V 电源； 抗干扰能力的电缆线。10a.a. 通过流量显示仪与计算机的连接方法，通过流量显示仪与计算机的连接方法，见图六图六图六 通过流量显示仪于计算机连接通过流量显示仪于计算机连接b.b. 直接与计算机的连接方法，直接与计算机的连接方法，见图七11图七图七 直接与计算机的连接直接与计算机的连接5.55.5 零点的调节零点的调节 在使用的过程当中，有可能发生零点偏移，可进行零点偏移的调节。 零点的调节可以两种方式进行调节： a.在流量显示仪仪表盘上的调零或其他外部调整机构进行调节， 叫做外调零。 b. 一种可以从流量控制器上的调零孔进行调节，叫做内调零。 调零孔的位置在流量控制器上侧面的小孔，内有调零电位器。 注意：12调零时， 流量控制器中不得有气流流动， 应将阀控开关打在“关闭”位置； 调零必须在开机
