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1、1曝光機能量均勻性調試及調整曝光機能量均勻性調試及調整機台外型圖機台型號:UVE-M552設備供應商:志聖公司需求人力:2人正常耗用工時:1H2曝光機能量均勻性調試及調整方法曝光機能量均勻性調試及調整方法 1、準備工具.平行光能量测试仪一块.内六角扳手一套.十字螺丝刀一把32、合上框架、合上框架將臺面框架放下43、測試點點陣圖、測試點點陣圖壓克框如圖示測試臺面上9 個點位,其中周邊點位 距臺面框邊緣約5CM 間距。54、粘貼探頭、粘貼探頭用紙膠帶將能量檢測探頭粘貼在曝光機框 架右下角第1個點位65、開啟吸真空、開啟吸真空點按吸真 空按鍵,待真空度達到設定值76、使框架前進、使框架前進點按框架前
2、 進按鍵,框架進入曝光室內自動曝光87、自動曝光、自動曝光機台自行曝光,查看人機介面上曝光能量值 上升情況.並將能量測試儀開關打開98、記錄資料、記錄資料當曝光能量達到設定值 後,記下能量表上顯示的數值109、再按下框架前進按鍵、再按下框架前進按鍵點按框架前 進按鍵,讓框架退出1110、換點位測試、換點位測試將能量檢測探頭移到曝光臺面另一 點位,再做測試1211、記錄資料、記錄資料依第1點測試方法,測試2-9點能量值1312、計算均勻度、計算均勻度依記錄的九個點 位元的測試能量 值,計算能量均勻 性.(最小值/最大 值*100%) 如果能量達不到 80%,將依下面調試方法將進行調 試14能量均
3、勻性的調試方法能量均勻性的調試方法13、打開側門板旋轉鎖扣,取下機台側門板1514、拆燈室下蓋板、拆燈室下蓋板(1)拆下燈室下蓋板螺絲1614、拆燈室下蓋板、拆燈室下蓋板(2)取下內箱側門1715、燈管位置調整座、燈管位置調整座燈管固定座1816、從觀察口查看燈源成像情況、從觀察口查看燈源成像情況查看燈管反射光在聚光器上的成像狀況1917、遮光器上的成像遮光器上的成像燈管反射光在遮光器上的成像位置2018、X軸方向調整軸方向調整調整燈管 固定座之X方向座標2119、Y軸方向調整軸方向調整調整燈管 固定座之Y方向座標2220、Z軸方向調整軸方向調整調整燈管 固定座之Z方向座標2321、再做能量均
4、勻性測試、再做能量均勻性測試 調整燈源成像在遮 光器的中心位置,並 且為直徑約8CM的 圓.然後再測試臺面 上9個的點能量並 計算其均勻性.當燈源位置調整後仍不 能達到80%,則需調 整反光鏡位置.2422、調整反光鏡、調整反光鏡松掉反光镜 的固定螺丝,调整反光镜的高度2523、再做能量測試、再做能量測試反復細心調整反光鏡的高度 後,多次做測試,直至能量均勻性達到 80%以上2624、生產驗收、生產驗收驗收標準：. 由生產做曝光尺確認,各點曝光尺在同一範圍內.試機運行24小時無曝光異常情況試機正常後簽注檢修單請當站組級 以上主管 試機確認2725、結束、結束清理作業場地整理測試資料,呈上級主管審核曝光機能量測試調整完成
