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1、1基于光纤偏振干涉仪在线检测装置摘要：介绍了一种在玻璃基板上切割 V 型槽并对 V 型槽纤芯距进行高精度测量的光纤偏振光干涉仪，该系统包括光源、偏振器、偏振控制器、波片、自聚焦透镜和探测器组成，并对这种光纤传感器原理进行分析。其理论上其测量精度可达到 0.01nm，很好地解决了实际生产中高精度的非接触在线检测，并满足了光通信行业对 V 型槽纤芯距的实际要求。关键词：迈克尔逊干涉仪；光纤偏振干涉仪；光源；玻璃基板；V 型槽Abstract: An optical fiber polarized-light interferometer for high precise measurement o
2、f V-groove core pitch was designed and the optical fiber sensor theory was analyzed. The system including on Power, Polarimeter, Polarization controller, Wave plate, Self- focus lens and Detector. The accuracy of this method is 0.01 nm in theory; it is suitable for online non-contact measurement and
3、 monitor in production process. Keywords: Michelson interferometer, fiber polarized-light interferometer, power, glass substrate, V-groove 引言在光通信纤维阵列用玻璃基板上刻高精度 V 型槽（通用型槽间距即纤芯距为1270.5um 和 2500.5um）的关键技术被日韩等少数国家垄断，国内使用的光纤阵列用 V 型槽基板均需要依靠进口，价格昂贵，严重制约了我国光纤到户（FTTH）工程的进程。而光通信纤维阵列用 V 型槽基板是光纤到户工程中必不可少的光器件，主要
4、用于对光纤精确定位生产各种衔接光纤干线与家用光纤之间的信号传输的光器件。日本在光通信纤维阵列用 V 型槽基板的加工设备开发上起步较早，也具有较为成熟的技术方案。目前，日本等国家生产光通信纤维阵列用 V 型基板全部采用高精度的专用切割机，而此类设备日本等发达国家对我国实施禁运，国内部分企业与机构也曾尝试对此方面进行研究，皆因为技术难度较高，而最终以失败告终，因此2在国内尚属于空白。在先进的生产制造过程中，非接触的在线检测发挥着越来越重要的作用。在线检测的对象在被测过程中是不断变化着的，因此对检测传感器不仅要求其精度高、稳定可靠、有良好的动态性能、能对快速信号实时响应监控，而且一般要非接触式测量，并便于安装。本文提出一种新型的光纤偏振光干涉仪，它将偏振光干涉技术和光纤传感技术相结合，能对玻璃基板 V 型槽的纤芯距进行高精度的在线检测的非接触测量。1， 实验原理设计
