《软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列》由会员分享，可在线阅读，更多相关《软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列（4页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、收稿日期! “ “ #$% %$! ! , ./ X 4 A . % ) 2 *J %$J . 8 7 N - ; R - ; , OG R R G N O A A P H H P H P R G , O T ; RP M ;0 G P P ; R ,T ; G P E R ; O P H P M ;S G T ; RH ,S M NG , A; G O N$G , A ; , OG R R G NS ; , O!0 H N - ; R! = - H A 6 E O O: 7 I )上完成#其原理装置图如图!所示#复制对象以玻璃基片上6 $*光刻胶为例! 将6 $*光刻胶旋涂在玻璃衬 底上!
2、然后将K :6模与玻璃上的光刻胶小心粘合! 防止气泡的产生! 粘合后放在光刻机的载物台上! 进行曝光#曝光后!6 $*胶形成的图形已经固化! 将其与K :6模分离! 就可以得到表面质量很高的微透镜结构#上述实验中使用的K :6! 在可见波段具有高透光率e% #! %!;“N)/% A G R R G N O$7% W ; , O _ 1#C E P ; N : #; P G - G , E T G Q P E R ;H T- ; , O ; OU N- ; P : 4#c , H 0cT G U R ; , OG R R G N OU N G O ; RU ; G -S R ; - ; , P
3、 O E O ; H 0 P ; V 0 H O E R ; S ; W ; - G O X$7%P M ; H R NG , AA ; O P ; W ; A ; ; - ; , P O$7% Q M , _ ; 0 H R P#% * #* # 0 Q H - 0 H , ; , P OU NE P R G W ; P = - H A R- ; , OG R R G N A ; - ; , P OE O ;H 0 P ; V 0 H O E R ;S ; W ; - G O X$7%: 4#c , H 0c T G U R ; , O G R R G N OU N G O ; RU ; G - S R N O P ; W ; A ; ; - ; , PU N J ; W N ; - ; , P O$7% R- ; , OG R R G N A , 5 */ 4 . - (! “ “ N “
