光化学、干膜、曝光及显影—pcb电路板术语与线路板简字...

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1、光化学、干膜、曝光及显影光化学、干膜、曝光及显影PCBPCB 电路板术语与线路板简字电路板术语与线路板简字.光化学、干膜、曝光及显影PCB 电路板术语与线路板简字词典-4.txt24 生活如海,宽容作舟,泛舟于海,方知海之宽阔;生活如山,宽容为径,循径登山,方知山之高大;生活如歌,宽容是曲,和曲而歌,方知歌之动听。光化学、干膜、曝光及显影PCB 电路板术语与线路板简字词典 电路板术语目录1、Absorption 吸收,吸入(光化学、干膜、曝光及显影)指被吸收物会进入主体的内部,是一种化学式的吸入动作。如光化反应中的光能吸收,或板材与绿漆对溶剂的吸入等。另有一近似词 Adsorption 则是指

2、吸附而言,只附着在主体的表面,是一种物理式的亲和吸附。 2、Actinic Light(or Intensity,or Radiation) 有效光(光化学、干膜、曝光及显影)指用以完成光化反应各种光线中,其最有效波长范围的光而言。例如在 360420 nm 波长范围的光,对偶氮棕片、一般黑白底片及重铬酸盐感光膜等,其等反应均最快最彻底且功效最大,谓之有效光。 3、Acutance 解像锐利度(光化学、干膜、曝光及显影)是指各种由感光方式所得到的图像,其线条边缘的锐利情形 (Sharpness),此与解像度 Resolution 不同。后者是指在一定宽度距离中,可以清楚的显像(Develope

3、)解出多少组“线对”而言(Line Pair,系指一条线路及一个空间的组合),一般俗称只说解出机条“线”而已。 4、Adhesion Promotor 附着力促进剂(光化学、干膜、曝光及显影)多指干膜中所添加的某些化学品,能促使其与铜面产生“化学键” ,而促进其与底材间之附着力者皆谓之。 5、Binder 粘结剂(光化学、干膜、曝光及显影)各种积层板中的接着树脂部份,或干膜之阻剂中,所添加用以“成形”而不致太“散”的接着及形成剂类。 6、Blur Edge(Circle)模糊边带,模糊边圈(光化学、干膜、曝光及显影)多层板各内层孔环与孔位之间在做对准度检查时,可利用 X 光透视法为之。由于 X

4、 光之光源与其机组均非平行光之结构,故所得圆垫(Pad)之放大影像,其边缘之解像并不明锐清晰,称为 Blur Edge。 7、Break Point 出像点,显像点(光化学、干膜、曝光及显影)指制程中已有干膜贴附的“在制板” ,于自动输送线显像室上下喷液中进行显像时,到达其完成冲刷而显现出清楚图形的“旅程点” ,谓之“Break Point” 。所经历过的冲刷路程,以占显像室长度的 5075% 之间为宜,如此可使剩下旅途中的清水冲洗,更能加强清除残膜的效果。 8、Carbon Arc Lamp 碳弧灯(光化学、干膜、曝光及显影)早期电路板底片的翻制或版膜的生产时,为其曝光所用的光源之一,是在两

5、端逼近的碳精棒之间,施加高电压而产生弧光的装置。 9、Clean Room 无尘室、洁净室(光化学、干膜、曝光及显影)是一个受到仔细管理及良好控制的房间,其温度、湿度、压力都可加以调节,且空气中的灰尘及臭气已予以排除,为半导体及细线电路板生产制造必须的环境。一般“洁净度”的表达,是以每“立方呎”的空气中,含有大于 0.5m 以上的尘粒数目,做为分级的标准,又为节省成本起见,常只在工作台面上设置局部无尘的环境,以执行必须的工作,称 Clean Benches。 10、Collimated Light 平行光(光化学、干膜、曝光及显影)以感光法进行影像转移时,为减少底片与板面间,在图案上的变形走样

6、起见,应采用平行光进行曝光制程。这种平行光是经由多次反射折射,而得到低热量且近似平行的光源,称为Collimated Light,为细线路制作必须的设备。由于垂直于板面的平行光,对板面或环境中的少许灰尘都非常敏感,常会忠实的表现在所晒出的影像上,造成许多额外的缺点,反不如一般散射或漫射光源能够自相互补而消弥,故采用平行光时,必须还要无尘室的配合才行。此时底片与待曝光的板面之间,已无需再做抽真空的密接(Close Contact),而可直接使用较轻松的 Soft Contact 或Off Contact 了。 11、Conformity 吻合性,服贴性(光化学、干膜、曝光及显影)完成零件坏配的板

7、子, 为使整片板子外形受到仔细的保护起见,再以绝缘性的涂料予以封护涂装,使有更好的信赖性。一般军用或较高层次的装配板,才会用到这种外形贴护层。 12、Declination Angle 斜射角(光化学、干膜、曝光及显影)由光源所直接射下的光线,或经各种折射反射过程后,再行射下的光线中,凡呈现不垂直射在受光面上,而与“垂直法线”呈某一斜角者(即图中之 a 角)该斜角即称 Declination Angle。当此斜光打在干膜阻剂边缘所形成的“小孔相机”并经 Mylar 折光下,会出现另一“平行光”之半角(Collimation HalfAngle,CHA)。通常“细线路”曝光所讲究的“高平行度”的

8、曝光机时,其所呈的“斜射角”应小于 1.5 度,其“平行半角”也须小于 1.5 度。 13、Definition 边缘逼真度(光化学、干膜、曝光及显影)在以感光法或印刷法进行图形或影像转移时,所得到的下一代图案,其线路或各导体的边缘,是否能出现齐直而又忠于原底片之外形,称为“边缘齐直性”或逼真度“Definition” 。 14、Densitomer 透光度计(光化学、干膜、曝光及显影)是一种对黑白底片之透光度(Dmin)或遮光度(Dmax)进行测量之仪器,以检查该底片之劣化程度如何。其常用的品牌如 X-Rite 369 即是。 15、Developer 显像液,显影液,显像机(光化学、干膜、

9、曝光及显影)用以冲洗掉未感光聚合的膜层,而留下已感光聚合的阻剂层图案,其所用的化学品溶液称为显像液,如干膜制程所用的碳酸钠(1)溶液即是。 16、Developing 显像,显影(光化学、干膜、曝光及显影)是指感光影像转移过程中,由母片翻制子片时称为显影。但对下一代像片或干膜图案的显现作业,则应称为“显像” 。既然是由底片上的“影”转移成为板面的“像” ,当然就应该称为“显像” ,而不宜再续称底片阶段的“显影” ,这是浅而易见的道理。然而业界积非成是习用已久,一时尚不易改正。日文则称此为“现像” 。17、Diazo Film 偶氮棕片(光化学、干膜、曝光及显影)是一种有棕色阻光膜的底片,为干膜

10、影像转移时,在紫外光中专用的曝光用具(Phototool)。这种偶氮片即使在棕色的遮光区,也能在“可见光”中透视到底片下的板面情形,比黑白底片要方便的多。 18、Dry Film 干膜(光化学、干膜、曝光及显影)是一种做为电路板影像转移用的干性感光薄膜阻剂,另有 PE 及 PET 两层皮膜将之夹心保护。现场施工时可将 PE 的隔离层撕掉,让中间的感光阻剂膜压贴在板子的铜面上,在经过底片感光后即可再撕掉 PET 的表护膜,进行冲洗显像而形成线路图形的局部阻剂,进而可再执行蚀刻(内层)或电镀(外层)制程,最后在蚀铜及剥膜后,即得到有裸铜线路的板面。 19、Emulsion Side 药膜面(光化学

11、、干膜、曝光及显影)黑白底片或 Diazo 棕色底片,在 Mylar 透明片基 ( 常用者有 4 mil 与 7 mil 两种)的一个表面上涂有极薄的感光乳胶(Emulsion) 层,做为影像转移的媒介工具。当从已有图案的母片要翻照出“光极性”相反的子片时,必须谨遵“药面贴药面” ( Emulsion to Emulsion ) 的基本原则,以消除因片基厚度而出现的折光,减少新生画面的变形走样。 20、Exposure 曝光(光化学、干膜、曝光及显影)利用紫外线(UV)的能量,使干膜或印墨中的光敏物质进行光化学反应,以达到选择性局部架桥硬化的效果,完成影像转移的目的称为曝光。 21、Foot

12、残足(光化学、干膜、曝光及显影)指干膜在显像之后部份刻意留下阻剂,其根部与铜面接触的死角处,在显像时不易冲洗干净而残留的余角(Fillet),称为 Foot 或 Cove。当干膜太厚或曝光能量不足时,常会出现残足,将对线宽造成影响。 22、Halation 环晕(光化学、干膜、曝光及显影)指曝光制程中接受光照之图案表面,其外缘常形成明暗之间的环晕。成因是光线穿过半透明之被照体而到达另一面,受反射折光回到正面来,即出现混沌不清的边缘地带。 23、Half Angle 半角(光化学、干膜、曝光及显影)此词的正式名称是 Collimation Half Angle“平行光半角” 。 是指曝光机所射下

13、的“斜光” ,到达底片上影像图案的边缘,由此“边缘”所产生“小孔照像机”效应,而将“斜光”扩展成“发散光”其扩张角度的一半,谓之“平行光半角”(CHA),简称“半角” 。 24、Holding Time 停置时间(光化学、干膜、曝光及显影)当干膜在板子铜面上完成压膜动作后,需停置 1530 分钟,使膜层与铜面之间产生更强的附着力;而经曝光后也要再停置 1530 分钟,让已感光的部份膜体,继续进行完整的架桥聚合反应,以便耐得住显像液的冲洗,此二者皆谓之“停置时间” 。 25、Illuminance 照度(光化学、干膜、曝光及显影)指照射到物体表面的总体“光能量”而言。 26、Image Tran

14、sfer 影像转移,图像转移(光化学、干膜、曝光及显影)在电路板工业中是指将底片上的线路图形,以“直接光阻”的方式或“间接印刷”的方式转移到板面上,使板子成为零件的互连配线及组装的载体,而得以发挥功能。影像转移是电路板制程中重要的一站。 27、Laminator 压膜机(光化学、干膜、曝光及显影)当阻剂干膜或防焊干膜以热压方式贴附在板子铜面上时,所使用的加热辗压式压膜机,称之 Laminator。 28、Light Integrator 光能累积器、光能积分器(光化学、干膜、曝光及显影)是在某一时段内,对物体表面计算其总共所得到光能量的一种仪器。此仪器中含滤光器,可用以除去一般待测波长以外的光

15、线。当此仪另与计时器配合后,可计算物体表面在定时中所接受到的总能量。一般干膜曝光机中都加装有这种“积分器” ,使曝光作业更为准确。 29、Light Intensity 光强度(光化学、干膜、曝光及显影)单位时间内(秒)到达物体表面的光能量谓之“光强度” 。其单位为 Watt/cm2,连续一时段中所累计者即为总计光能量,其单位为 Joule(Watt?Sec)。 30、Luminance 发光强度,耀度(光化学、干膜、曝光及显影)指由发光物体表面所发出或某些物体所反射出的光通量而言。类似的字词尚有“光能量”Luminous Energy。 31、Negative-Acting Resist 负

16、性作用之阻剂,负型阻剂(光化学、干膜、曝光及显影)是指感光后能产生聚合反应的化学物质,以其所配制的湿膜或干膜,经曝光、显像后,可将未感光未聚合的皮膜洗掉,而只在板面上留下已聚合的阻剂图形,的原始图案相反,这种感光阻剂称之为“负性作用阻剂” ,也称为 Negative Working Resist。反之,能产生感光分解反应,板面的阻剂图案与底片完全相同者,则称为 Positive Acting Resis 。电路板因解像度(Resolution,大陆用语为“分辨率”)的要求不高,通常采用“负性作用”的阻剂即可,且也较便宜。至于半导体 IC、混成电路(Hybrid)、液晶线路(LCD)等则采解像度较好的“正型”阻剂,相对的其价格也非常贵。 32、Mercury Vaper Lamp 汞气灯(光化学、干膜、曝光及显影)是一种不连续光谱的光源,其主要的四五个强峰位置,是集中在波长 365560nm 之间。其当光源强度之展现与能量的施加,在时间上会稍有落后。且光源熄灭后若需再开启时,还需要经过一段冷却的时间。因而这种光源一旦启动后就要连续使用,不宜开开关关。在不用

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