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ZLS23B 型氦质谱检漏仪维护与保养规程1 如果仪器不是每天使用，建议每周开机一次，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间。2 定期更换灯丝，清洗冷规。3 定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。4 如加液氮，需定期清洗冷阱。5 拆卸仪器部件（如离子源、冷规等）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可在仪器调好氦峰后进行自身检漏。6 适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时仪器放大器输出表指示值不稳定，干扰检漏工作。
