《镀膜dm250s》由会员分享，可在线阅读，更多相关《镀膜dm250s（7页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、D M 2 5 0 S 高高 真真 空空 镀镀 膜膜台台使用说明书（含装箱清单）上海永麟上海永麟电电子子设备设备有限公司有限公司1使用镀膜台前，请务必仔细阅读本说明书，以防因操作失误引起仪使用镀膜台前，请务必仔细阅读本说明书，以防因操作失误引起仪器损坏！器损坏！一、概述DM250S 型高真空镀膜台采用了淀积原理的技术，主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜，也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜，以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层，或对某些小零件作真空加热定型处理。二、主要技术参数：工作电压：220V，50Hz工作温度：环境温度 1030冷却水进口温度25工作环境湿度： 80
2、%真空室（玻璃钟罩）： 250mm225mm(h)(保护罩 265mm(h)蒸发电流：75A蒸发电压：20V工作真空度：310-3Pa主机功耗:2kw外形尺寸:705mm405mm900mm2三、使用方法和操作步骤（各开关、旋钮参见图一，阀门操作按照表一所示开关状态执行，真空阀门 V1、V2 和 V3 顺时针旋到底旋到底为“关” ，逆时针旋到底旋到底为“开” ，V4 的开关由操作“钟罩放气”按钮来执行）：表一（阀门动作状态）开 关V1V2V3V4 扩散泵预抽 真空室预抽 真空室高真空 真空室放气图一：DM250S 高真空镀膜台面板开关示意图1仪器安装及开机准备：接上冷却水管，打开水源，关蒸镀电
3、源， “电流调节”旋钮逆时针旋到底，插上电源插头，打开冷却水，按“电源”按钮，该按钮指示灯亮；真空泵蒸镀电流V3真空计旋转钟罩升降V2电流调节V1蒸镀电源扩散泵钟罩放气蒸镀选择32工作室真空获得（V1、V2、V3、V4 各阀门各阀门必须严格按表一操作必须严格按表一操作）：21 确认真空室玻璃钟罩已合好；22 开“真空泵” （指示灯亮） ，开 V3，各阀门处于“扩散泵预抽”状态；23 打开 ZDF-5214A 复合真空计电源（真空计的使用见其产品使用说明书） ，按“功能/手动/自动”键选择“手动”测量功能（“手动”指示灯亮） ；24 开“扩散泵” （指示灯亮，此时，如冷却水源没有接上或水流太小，
4、则蜂鸣器报警，请务必关“扩散泵” ，检查冷却水源，重新开“扩散泵” ） ，扩散泵开始加热，等待 30 分钟，扩散泵加热完成；25 先后关先后关 V3、开、开 V2，各阀门处于“真空室预抽”状态，观察真空计显示数据（此时为电阻规测量方式， “电阻”指示灯亮） ，当读数小于5.0E0（即真空度 5.0100Pa）后，先后关先后关 V2、开、开 V3、V1使各阀门处于“真空室高真空”状态*，按真空计的“置数/电离开关”键打开冷规测量（此时为电离规测量方式， “电离”指示灯亮） ，观察其读数（如果此时真空度较低，真空计将自动关闭电离规测试方式并显示“” ， 可稍等一会儿，待真空度有所提高后，按“功能/
5、手动/自动”键，重新切换至手动测试状态，再次开启冷规测量） ，待真空指示小于 3.0E-3（即真空度 3.010-3Pa）后，则本机系统的真空度已达要求（如未达到要求可适当延长抽真空时间） ；*说明：如因久未使用本机，平时没有把钟罩保持在真空状态下，可能预抽较长时间（约 3-4 分钟）不能达到 5.0E0，则需关闭 V2，打开 V3，重新进入“扩散泵预抽”状态，1-2 分钟后，再次进行真空室预抽；43蒸镀样品：31 关“蒸镀”开关（指示灯灭） ， “电流调节”旋钮逆时针旋到底，按真空计的“置数/电离开关”键关闭冷规测量，先后关先后关 V1、V2、开、开 V3，再按“钟罩放气” 钮（该按钮指示灯
6、亮）打开 V4，令各阀门处于“真空室放气” 状态，按“钟罩升降”按钮，放气完毕（约需半分钟） ，钟罩自动升起；32 把一对碳棒（一根为圆柱形，另一根的头部须磨成圆锥角小于 20的圆锥体）或一只钨篮小心地安装在“蒸镀 I”或“蒸镀 II” （出厂时，在“蒸镀 II”电极上装了钨篮）对应的电极组的支架上，旋紧各固定螺钉，使其接触可靠，把样品放在样品台上，如有必要，则还要将用于蒸镀的材料放在钨篮里；33 按“钟罩升降”按钮降下钟罩（指示灯灭） ，再按再按“钟罩放气钟罩放气”钮（指示钮（指示灯灭）灯灭）关闭关闭 V4，检查钟罩是否合好，检查钟罩是否合好，并严格按照步骤并严格按照步骤2.5抽真空抽真空；
7、34 用“蒸镀选择”开关选取所需的一组电极；35 开“蒸镀”开关（指示灯亮） （如有必要，按“旋转”开关使样品台转动），调节“电流调节”旋钮选取适当的电流进行蒸镀，蒸镀后，关“蒸镀”开关（指示灯灭） ，观察样品，如不满意，重复本步骤，直至达到蒸镀要求，关“旋转”开关（如有必要） ；36 等电极冷却 10 分钟后，按步骤 3.1 进行真空室放气，升起钟罩（注意：注意：此时电极温度可能仍然很高，当心被烫伤此时电极温度可能仍然很高，当心被烫伤） ，小心拿出样品，如还有其它样品要蒸镀，重复 3.2 至 3.6；54清洗光栏、金属膜步骤和 3 类似，只是要将钨篮换成钼舟，把待清洗的光栏或金属膜放入钼舟内
8、，加热时间可能较长（由使用人根据经验决定）,电流不宜过大，否则，容易使样品和钼舟烧结在一起而损坏。5关机51 检查与蒸镀、样品安放有关的开关是否都已关闭；52 令各阀门处于“扩散泵预抽” 状态；53 关扩散泵，指示灯灭；54 半小时后，关关V3；55 关真空泵，关电源，各指示灯灭，切断水源；四、注意事项：41 开机前，一定要打开冷却水源开机前，一定要打开冷却水源；42 蒸镀前，确保各电接触点的接触可靠；43 仪器长期不用时，也应经常抽气至真空状态，以保证真空系统可靠；44 升起钟罩前，确保升起钟罩前，确保V1和和V2都已关闭都已关闭；45 经常检查冷却水管是否漏水；6五、装箱清单：DM250S 高真空镀膜台（含电源线）：1 台真空机械泵（含真空橡皮管、电源线）：1 台保险丝（6.35mm30mm）：20A1 根（F1）6A2 根（F2、F3）10A1 根（F4） ；真空脂：1 罐；碳棒（5mm，长约 30mm）：圆柱形 5 支头部圆锥形 20 支；钨篮：3 只；钼舟：1 只；水管及配套喉箍：1 套；使用说明书：1 份；ZDF-5214A 复合真空计使用说明书：1 份。上海永麟电子设备有限公司
