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1、CMOS工艺中的无源器件工艺中的无源器件雷 鑑 铭雷 鑑 铭华中科技大学电子系华中科技大学电子系12-14-20042005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 2概要?CMOS工艺中的电阻?CMOS工艺中的电容2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 3CMOS工艺中常用电阻类型?有源区扩散电阻?P+扩散电阻?N+扩散电阻?多晶Poly电阻?普通Poly电阻?高阻Poly电阻?N-Well 电阻2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 4CMOS工艺中常用电阻版图?P+扩散电阻2005-10-19Lei Jianmin
2、g, EST, HUST 5CMOS工艺中常用电阻版图?N+扩散电阻2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 6CMOS工艺中常用电阻版图?Poly电阻2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 7CMOS工艺中常用电阻版图?N-WELL电阻2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 80.8um CMOS工艺中电阻参数比较电阻类型方块值匹配精 度温度系数电压系数P+扩散电阻80-150/0.4%1500ppm/oC200ppm/VN+扩散电阻50-80/0.4%1500ppm/oC200ppm/VPoly电阻20-40
3、/0.4%1500ppm/oC100ppm/V高阻Poly电阻1000-1500 /0.05%50ppm /oC50ppm /VN阱电阻1000-2000 /8000ppm /oC10K ppm /V2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 9概要?CMOS工艺中的电阻?CMOS工艺中的电容2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 10CMOS工艺中常用电容类型?MOS电容（有源区-POLY电容）?POLY-POLY电容?M1-POLY电容?MIM电容(Metal与Metal间电容）2005-10-19Lei Jianming, EST, H
4、UST 11CMOS工艺中常用电容版图?MOS电容（有源区-POLY电容）2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 12CMOS工艺中常用电容版图?POLY1-POLY2电容2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 13CMOS工艺中常用电容版图?M1-POLY电容2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 14CMOS工艺中常用电容版图?MIM电容(Metal与Metal间电容）2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 150.8um CMOS工艺中电容参数比较电容类型方块值匹配精度温度系数
5、电压系数MOS电容2.2-2.7fF/um20.05%50ppm/oC50ppm/VPoly-poly电容0.8-1.0 fF/um20.05%50ppm/oC50ppm/VM1-Poly电容0.021-0.025 fF/um21.5%M2-M1电容0.021-0.025 fF/um21.5%M3-M2电容0.021-0.025 fF/um21.5%Thank you!Q &A2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 17CMOS工艺中的Bipolar器件?P型衬底CMOS工艺中的PNP双极晶体管N-WellN+P+P+P型衬底BEC2005-10-19Lei Jianming, EST, HUST 18CMOS工艺中的Bipolar器件?P型衬底CMOS工艺中的PNP管版图
