微尘粒子Particle Counter

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1、 1/6 微尘粒子含量测试计数器微尘粒子含量测试计数器(Particle Counter)(Particle Counter) 标准操作程序标准操作程序 厂 牌：PARTICLE MEASSURING SYSTEMS INC. 型 式：HPGP-101 & LPC-101-HP-(2) 壹、壹、 气体管路微粒子含量测试之目的与方法气体管路微粒子含量测试之目的与方法 目的：目的：在半导体厂，I.C.(Integrated Circuit 集成电路)的制造，加工过程中 需要使用各种不同性质的气体做为制程用。这些气体称为制程气 体，I.C.直接暴露在充满制程气体的空间，而芯片(Chip)内布满电 路

2、， 这些密密麻麻的电路线与线间的线宽， 只有 0.35m 甚或 0.25 m， 故制程气体中只要含有一颗 0.1m 粒径的 Particle 便足以使 I.C.造成短路而报销，更遑论是 0.2m 以上粒径的微尘。因此对 气体洁净度的要求极为严谨，洁净度要求标准除业主另有规定外， 一般皆为每流入 1 立方呎的气体只容许 0.1m 的 Particle 即 0.1 m1 Pc/Ft3、0.2m 以上者必须为零。 方法：方法： 将经过 PN2(纯化氮气)吹净后的待测管路系统持续供应 PN2 气体， 以出口末端为取样点与仪器取样气体入口端衔接。PN2 气体流经 仪器内部检测微尘粒径的激光束与传感器并经

3、电子式演算出数量， 每 10 分钟为一个 Cycle(周期)即 10 分钟正好流过 1 立方呎的气体， 仪器会自动打印出 0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0 八种粒 径的 Particle 各总共有几颗。除业主有特别规定外，一般皆为测试 3 个 Cycle， 3 个 Cycle 完成后， 会再打印出一张最后的各种粒径个 别总平均数。 貳、貳、 测试前的注意事项测试前的注意事项 1. 大气中存有很多不纯物，尤以水份居多，须以纯净氮气冲吹，使其干 燥以减少少份(Moisture)及微尘粒子(Particle)。 2. 微尘量愈多所须冲吹气量愈大，微尘量愈少所须冲吹气量越

4、小。 3. 微尘粒径愈小所须冲吹气量愈小，微尘粒径愈大所须冲吹气量愈大。 4. 管路越干燥微尘越不易附着沉积于管内，愈容易被吹净相对愈易于通 过测试。 5. 当 Purge 时为防止来自 SP1 做为吹净气体用的 PN2 所渗杂之 Particcle 进入待测试管路系统及为控制气体流量，故 Purge 时须加装过滤能力 0.1m 的 Filter 及 Regulator。 6. Particle 测试与气密试验一样可以并联进行，并联管线点数亦应受业主2/6 之规范，并因地而制宜自行判断决定何端为气源端、何端为出口末端 及取样点，如 Buck Gas 及 Specialty Gas 之 SP1。

5、但应注意的是，若测 试系统上有 Check Valve & Regulator。 同样务必以上游入口端为吹气源 入口，下游出口末端为 Purge 出口端及取样点，可单独取样测试或并 联取样测试， 若单独测试须将其他所有管路末端出口 Cap 住。（如图一） 7. 若为 Specialty Gas 之 SP2 （不含 VMB 或 VBP） 测试， 因管路上无 Check Valve 或 Regrlator 且同一机台之各种气体源均来自不同的 VMB(VMP)。 若要将在各个 VMB(VMP)处之衔接点并联做为吹净气体 之气源入口端恐有不便之处。因此以并联同一机台之不同气体衔接点 为方便之原则，并做

6、为吹净气体之入口端，正常供气之上游入口端即 VMB(VMP)处为出口端及取样点，同样可单独测试或并联测试。 參、參、 Particle Counter 操作程序操作程序 1 . 在完成气密试验及氦测漏后， 接着以 SUS Tube 衔接待测试管路与 PN2 气源点进行 Purge，Purge 之时间虽以相当长的一段时间为佳，但亦须 考虑工程进度(Schedule)及业主之要求规范。若工程进度紧迫时，可以 在接 PN2 气源后以急速全开全闭之方式，利用瞬间强力冲刷的气体流 动将 Particle、Moisture 及 Oxygen 吹净，此动作持续约 50 次左右。若 时间充裕则调节适当流量予以

7、长时间 Purge，如未加装 Regulator 则利 用末端出口之 Cap 做为流量之调节，以听出气声及手触摸的方式调节 适当吹净流量，过大会造成气体浪费，过小则不易吹净。 2 . 用 Teflon Hose 衔接取样点与仪器取样入口端。 3 . 将仪器电源插头插入 110VAC、60HZ 之插座内。 4 . 将仪器操作面板上之电源开关打开，仪器自动开机。 5 . 操作面板之各项功能如下： 6 . 屏幕出现正常画面如下： DATA1 96/03/22 16:59:05 ID：MIC M3 DETP. A:1 STOPPED SI：00:10:00 TR：00:09:57 SIZE DIFF

8、3/6 0.10 0 0.20 0 0.30 0 DIFF 0.50 0 1.00 0 2.00 0 3.00 0 COUNTS 5.00 0 LREF 8.4 7 . 若屏幕右方有 Warning 显示， 可按 ENTER 键， 屏幕会显示是什么原因 造成 Warning。一般若显示“Power Interruption”则是代表上次电源中 断时间，只要再按一次 ENTER 键即可消除并恢复正常画面。若仍有 Warning 出现则可能机器有问题，再按 ENTER 键确认。 8 . 一般开机后，若画面显示正常(无 Warning 讯号)。LREF：4.5V 以上在 暖机 1520 Secs 即

9、可进行量测， 若冷机过久应暖机 10mins 以上再进行 量测。 9 . 按下 SETUP/DISPLAY 键，会出现下列主画面(SETUP1)或次画面 (SETUP2)如下： SETUP1 98/07/23 15:02:03 ID：MIC M3 DEPT. A:x SELECT SI：00:10:00 TR:00:xx:xx NEXT Sample ID：xxxxxxxxx OPTION Samples：1 thru 3 Sample Int：00:10:00 PREV Sample Print：YES SCREEN Delay Time：00:00:10 Group Print：YES R

10、epeat Mode：SINGLE Gas：Nitrogen NEXT Gas Constant：1.000 SCREEN Display：SAMPLES Sample：INCLUDED Vertical Full Scale：50% Printer Type：B SETUP2 98/07/23 15: 02:03 ID：MIC M3 DEPT. A:x SELECT SI：00:10:00 TR:00:xx:xx NEXT Alarm Enable：NO OPTION 4/6 Alarm Print：NO Alarm Size：0.10 PREV Alarm Value：1000 SCREE

11、N Analog data display Device：Analog 1 NEXT Label：Analog 1 SCREEN Base Value：0.0 Full scale value：5.0 Units：Volts Active?：YES 10 . 按 PREV SCREEN 键或 NEXT SCREEN 键， 即可互相切换主画面或次 画面。 11 . 吾人只操作主画面并请勿操作次画面及变更其原设定，利用箭头键、 字母数字键及输入键(ENTER)更改前一测试件之编码(Sample ID)为目 前正欲测试之识别编码，共有九个字符可供设定。其他项目均不须更 动改变设定。 12 . 主画面

12、内容说明如下： 13 . 设定好后再按 SETUP 键，画面回到开机时之正常画面，只要按下 RUN/STOP 键即可开始量测。此时右上角的 STOPPED 会切换成 RUNNING，”A”表示现在正量测第几个 Cycle，”SI”表示取样之每一 Cycle 所设定时间，”TR”表示每一 Cycle 量测之倒数计时。 14 . 在量测过程中应随时注意屏幕及打印记录纸上各种粒径之 Particle 数， 0.1m 不得超过一颗 0.2m 以上则应为零颗，否则不论已进行至那 一个 Cycle 皆应按下 RUN/STOP 键，先使仪器停止取样记录，屏幕右 上方出现 STOPPED。再按一次该键自动恢复

13、取样重新开始量测记录。 15 . 至量测结果达到业主要求之合格标准为通过测试。 16 . 气源持续 Purge 并将 Teflon Hose 拆掉，换成 SUS Tube 与水份分析仪 (Moisture Analyzer)取样入口端衔接。 17 . 将 Particle Counter 取样入口端恢复 Cap 之原状。 肆、肆、 注意事项：注意事项： 1. 在电源插头插入插座前应先确认电源为 110120VAC，否则插错电源使 用不当电压会造成 Particle Counter 严重的损害。 2. 电源应确实接地以避免 Particle Counter 外壳有微感触电， 若有触电情形 一般为

14、 25 Volts，此时应先检查电源接地是否己确实接地。 3. 开机后及操作中若出现 Warning 讯号，先检查仪器有何问题，待排除后 再行测试通常有如下的情形会出现 Warning 讯号： (1) Power Interruption：电源中断正常开机均会出现，按下 ENTER 键 即会消失。 (2) Low REF：雷射值过低，应拆开清洁光镜(Mangin Mirrors)。 5/6 (3) 若有其他 Warning 或 Alarm 持续出现则应往上呈报。 4. MLPC-101-HP 只能量测安全性的气体，不得使用量测危险性气体，只 能量测 Air、Ar、Co2、N2、及其他 Buck

15、 Gas。HPGP-101 有防爆型的 Tank 能量测安全性及危险性的气体，应特别注意的是虽然 HPGP-101 可量测危险性气体，但绝严格禁止人员使用量测危险性气体。若业主要 求及有其必要性应向上级呈报并由高阶主管裁决评估其可行性及接受 代理商专业人员之全程指导，以维人、机安全。 5. LPC-101-HP & HPGP-101 此两型 Particle Counter 均无 Vacuum Pump， 故取样量测的气压须在 40150Psi 之间。若低于 40 Psi 则量测之 Data 不准确，超过 150Psi 则会造成 High Pressure Window(高压窗口)破裂， 仪器会显示 High Light(高压灯亮起)，并切断雷射管电源及断气以保护 Particle Counter，故应检查取样气体的压力使在 40150Psi 的要求范围 内。 6. 若发现 HPGP-101 有 High Light 或 Low Light 时，应立刻关掉电源。并 须送回代理商处，由其维修人员处理。 7. 值得注意的是只要仪器 P