太阳能硅片切割设备介绍

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1、 太阳能硅片切割设备介绍（一） 太阳能硅片切割设备介绍（一） 一、 线切割设备 一、 线切割设备 1. 多线切割技术的发展历史 首先简单介绍一下人类历史上的线切割历史： 公元前 2000 年：古埃及人用混合了水和沙的绳子切割石头 公元 19 世纪：意大利人用缆绳切割大理石 公元 20 世纪 20 年代：第一次有人申请了用绳切割约一英寸厚的大尺寸大理石片的专利 公元 20 世纪 60 年代：第一次出现用线的往复运动来切割水晶片 公元 20 世纪 70 年代：利用线的往复运动来切割 1-2 英寸的硅片 在上世纪 80 年代以前， 人们在切割超硬材料的时候一般采用涂有金刚石粉的内圆切割机进行切割。然

2、而随着半导体行业的飞速发展，人们对已有的生产效率难以满足， 同时由于内圆切割的材料损失非常大，在半导体行业成本的摩尔定律作用下，人们对于降低切割成本、提高效率的要求越来越高。多线切割技术因此而逐步发展起来。 多线切割基本原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦， 从而将硅棒等硬脆材料一次同时切割为数千片薄片的一种切割加工方法。多线切割由于其更高效、更小切割损失以及更高精度的优势，对于切割贵重、超硬材料有着巨大的优势，近十年来已取代传统的内圆切割成为硅片切割加工的主要方式。 在 2003 年以前，多线切割主要满足于半导体行业的需求，切割技术主要掌握在欧、美、日、台等国

3、家和地区，国内半导体业务以封装业务为主，上游的晶圆切割技术远远落后于发达国家和地区，相关的设备制造研发也难有进展。 2003 年随着太阳能光伏行业的爆发式增长， 国内民营企业的硅片切割业务迅速发展起来。 大量引进了瑞士和日本产的先进的数控多线切割设备。国内设备制造企业也看到了这个巨大的商机，纷纷投入资金和人力物力进行技术研发。但大多数都是仍以仿制为主。 2009 年开始有一些厂家开始尝试将在其他行业比如蓝宝石切割使用的金钢线切割技术引入到硅片切割领域来， 本文在这里将不对这方面的设备展开讨论。 2. 多线切割设备的国产化道路充满了坎坷 多线切割设备为国际 3 大厂统治，目前全球的多线切割设备主

4、要为瑞士的 HCT、Meyer Burger(梅耶博格)和日本的 NTC 所统治。瑞士的 HCT、梅耶博格最早在上世纪 80 年代就推出了线切割机，主要为半导体行业所用。 瑞士 HCT 瑞士 HCT HCT 在 1983 年推出第一台线切割机后 14 年里才累计卖出了 100台设备，在随后的 6 年里又累计卖出了 150 台。太阳能光伏市场在2003 年启动以后，HCT 针对市场需要在 2005 年推出了世界上最大的太阳能硅片线切割机 B5。而 HCT 在 2006 年里一年的销售量就突破了100 台。HCT 在 2007 年被美国的应用材料收购。 HCT 在 2000 年进入中国市场，主要的

5、客户来自半导体行业的包括北京有研、济宁港湾、宁波晶元等。HCT 在太阳能行业应用的主流机型是 B5，双工作台 4 个导轮满载可以一次切割硅棒长达到 2 米，非常适合大规模生产。国内主要用户包括 LDK、保定英利、成都天威新能源、浙江昱辉、江阴海润等公司。 针对市场新的需求和变化，在 2009 年推出了新机型 MaxEdge B6，主要特点是将原有的一个线网拆分为 2 个独立控制的线网， 这样有助于使用更细的切割线从而提高出片率降低生产成本。 但是目前该设备还处于推广阶段，工艺还有待进一步成熟。 网址：http:/www.hct.ch/ 梅耶博格梅耶博格 Meyer BurgerMeyer Bu

6、rger 成立于 1953 年，早期主要生产研发外圆和内圆切割机。在 1980年启动线切割技术的研究，1991 年正式推出了第一台线切割机DS260。2000 年推出了针对太阳能光伏市场需求的双工作台 4 导轮的DS262 机型，该机型理论上切割负载可以达到 2 米，但实际上根据国内客户的使用情况反馈，DS262 并不是一个非常成功的机型，一般切割负载在 1.2 米左右比较合适，切割硅片的合格率相比较低。 根据市场的变化，梅耶博格在 2004 年推出了小型机 DS265。该机型只有一个工作台可以同时切割 2 个 300 毫米长的硅棒。和 NTC MWM442D 机型非常的类似。该设备在国内使用

7、的客户较少，客户反映设备稳定性不够，维护费用过高。 梅耶博格在 2005 年推出了最为成功的单工作台的新机型 DS264，该机型可以切割一根棒长达 820 毫米的硅棒， 针对多晶硅片市场比例迅速的提高情况下，非常好的满足了市场新的需求。国内主要用户包括浙江昱辉、常州天合、镇江辉煌/环太、LDK、江苏林洋、无锡高佳等。在 2009 年又针对市场的变化推出了 DS264 的升级型 DS271，切割单根负载可以增加到 1020 毫米。目前该机型国内主要有镇江辉煌和无锡高佳在使用，切割效果和 DS264 差不多。 网址：http:/www.meyerburger.ch/ 日本 NTC 日本 NTC 1

8、984 年由富山机械和日平工业和并成立 NTC。 上世纪 90 年代推出了针对半导体行业的 MWM 系列线切割机 2008 年被小松收购，改名为 Komatsu NTC NTC 最为畅销的机型是 MWM442D，由于其投资小、维护费用低、适合使用细直径切割钢丝， 深受国内很多新进入切片领域小公司的欢迎。在 2003 年后受光伏行业的飞速发展刺激，NTC 在中国的销售量快速增长，尤其在 2008 年取得了 400 多台线切割机的销售量，即使在收经济危机影响的 2009 年也卖出了 300 多台各类型的线切割机。在国内的主要用户晶龙集团、江苏顺达、江阴海润、西安隆基、浙江昱辉、江西晶科等。受多晶硅

9、片市场发展影响，于 2008 年推出了新的设备类型单工作台面的 PV600 和 PV800， 这些设备借鉴了梅耶博格DS264 的设计理念，切割最大负载棒长分别达到 630 毫米（3 根 210毫米，单根棒最大负载 600 毫米）和 840 毫米（4 根 210 毫米，单根棒最大负载 800 毫米）。这些设备非常好的适应的多晶硅片的生产技术发展趋势。 网址：http:/www.komatsu- 线切割设备国产化开发的第一个高潮 线切割设备国产化开发的第一个高潮 随着中国光伏产业以令全世界震惊的讯速崛起， 几大多线切割设备厂家的设备生产能力远远不能满足中国硅片加工企业的购买需求，在 2008 年

10、市场火热的设备交货期最少半年以上， 有的甚至一年以上。于是很多相关的设备制造企业纷纷介入，比如日本的高鸟、安永专门推出了针对太阳能硅片切割的机型。 国内最早从事太阳能多线切割机开发的要数上海日进了。 上海日进引进日本技术，早在 2006 年就推出了第一台多线切割样机，样机类似 NTC MWM442D。样机在日进内部切割试验结果良好，切除的硅片质量完全合格。 但是在客户实际试用的时候， 还是遇到了很多的问题，比如成品率低、断线率高、设备的控制精度比国外进口设备要差。 国内陆陆续续推出多线切割样机的厂家还有上海汉虹、 电子集团45 所、兰州瑞德、无锡开源、大连连城、北京京联发、湖南宇晶等。 从样机

11、来看，技术原理和设计主要都是借鉴了日本 NTC MWM442D机型的很多理念，样机基本都属于小型机。北京京联发尝试开发类似HCT B5 机型的样机，但是在市场上没有看到试用的设备。国内目前开发出的多线切割机样机都面临着类似的问题， 成品率低、 断线率高、控制精度差等。加上硅料价格高昂，客户尝试新机器的成本非常高，每次的损失可能动则几万元到几十万元， 这也限制了设备制造企业很难获得更多的生产性试验数据来改进设备。 湖南宇晶在 2006 年左右开始研制多线切割机，主要针对水晶切割市场。经过几年的实验和改进后，目前在国内也已经销售出了几十台多线切割机，取得了长足的进步。但是该公司还没有开发出适应太阳

12、能硅片切割的多线切割机。 线切割设备国产化意外的收获 线切割设备国产化意外的收获 虽然国内很多厂家在多线切割机的开发上投入了很大的人力、 物力，但是实际进展却并不如人意。 在 2008 年 PV 行业爆发式增长之际， 不仅多线切割机交货期大大延长，连硅锭开方机也变得非常紧张。由于开方机使用的钢丝直径较粗，一般 250 微米到 300 微米，较切片常用的直径 120 微米的钢丝不容易发生断丝。另外，开方完成后，一般还要对硅锭打磨。因此对切割的精度要求比硅片大大降低。 国内厂家中上海日进首先抓住了这个机遇， 目前已经在国内市场有了不错的销售业绩。另一家大连连城的开方机也于 2009 年取得重大突破

13、，在 2010 年有望取得不错的销售业绩。2010 年更多国内企业有望在线开方设备制造取得突破。 3. 多线切割机国产化将赶上下一次市场机遇 随着太阳能光伏发电成本的快速降低， 离传统的上网电价已经越来越近了。在欧洲电价高、日照时间长的地区比如意大利南部、西班牙等，光伏的发电成本已经低于上网电价。太阳能光伏发电安装在这些地域将迎来爆炸式的增长。 按照最新的市场预测，中国 2-3 年后，或者在 2015 年前，光伏发电成本将逐步降低接近目前的风力发电成本，0.5-0.6 元/度电，到那时，中国的光伏安装将迎来爆炸式增长。 国内光伏企业在制造环节的成本优势将获得空前的发展机遇， 尤其是硅片切割环节

14、。随着更多更有实力的国有企业进入到这个行业，更多的人力、 物力投入， 更多的经验积累， 以及大大降低的实验成本，中国的线切割设备的明天有理由让我们期待！ 二、 硅片切割机专用不间断电源 二、 硅片切割机专用不间断电源 国内许多做硅片切割的企业在购买线切割设备的同时，都按照厂商 的 要 求 ， 为 设 备 配 置 购 买 了 UPS （ 不 间 断 电 源 ） 。 UPS（Uninterruptible Power System ） ，即不间断电源，是一种含有储能装置，以逆变器为主要组成部分的恒压恒频的不间断电源。主要用于给单台计算机、 计算机网络系统或其它电力电子设备提供不间断的电力供应。但是

15、，一般的 UPS 主要是用来给电子设备供电，而线切割机属于特殊电机类负载，需要使用专门的不间断电源。如果使用一般的不间断电源，则有可能出现 UPS 严重震荡、UPS 内功率设备烧坏、线切割机断线甚至损坏线切割机。国内外从事 UPS 研发、生产和销售的企业较多，但是能专业从事线切割机用 UPS 的则非常少。 国外篇： 瑞士能威（newave） 国外篇： 瑞士能威（newave） 瑞士品牌，属于小众品牌，口碑较好，价格较高。早期在瑞士生产，现在听说在国内设了工厂。多用在通信、银行、广电、政府等需要不间断电源的行业。但是由于是采用的标准化设计，本身具备一定的抗冲击能力，所以在硅片切割行业还是有一定的

16、应用，但是由于国内的一级代理非常少，而且缺乏这方面的故障维护能力，限制了该国外品牌在国内的发展。 网址：http:/ 国内篇： 科华（kelong） 国内篇： 科华（kelong） 国内的 UPS 行业的知名品牌，质量可靠，总部位于福建漳州，营销中心位于厦门，在各个省会城市都设有办事处。属于是国内起步比较早的不间断电源企业，产品线丰富，涵盖了通信、电力、工业等多种不间断电源，是全系列 UPS 的解决方案提供商，属于最早做硅片切割的中国企业，而且质量的稳定度几乎不比国外品牌差。 网址：http:/ 胜为（SINWAY） 胜为（SINWAY） 国内专注于做“工业专用 UPS”的一个品牌，产品适用性好，由浙江大学、华中科技大学出来的一批人所创立，总部位于湖北武汉的高新区。也是专业从事太阳能硅片切割 UPS 的电源企业，并且有丰富的硅切割专用 UPS 的技术积累， 一般会派在硅切割方面有丰富经验的技术人员到现场指导安装调试以及维修。 网址：www.sinway-