电化学工作站评估铜槽添加剂电镀效果

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1、AN-CN(GZ)-00018-10-302-032014-电化学工作站评估铜槽添加剂电镀效果 电化学工作站应用简报 AN-CN(GZ)-00018-10-302-032014 电化学工作站评估铜槽添加剂电镀效果 Evaluation of additive performance in copper bath by AUT302N 应用领域: 电镀 用户信息: 乐思化学有限公司 关键词: 铜槽,恒电流电镀,电化学工作站 样品: 电镀槽液 设备和附件: AUT302N+RDE 样品处理: 电极在 VMS 溶液中预处理后(+1.6-0.275V 循环伏安扫描 3 圈,2000rpm),在-1.4

2、13mA 下预镀 90s(2500rpm),然后在样品中以-0.706mA 下记录电压时间曲线 1500s(1500rpm),通过对比样品与预镀条件下的电位差,评估电镀效果。 样品分析: 取 100mL 样品或 VMS 置于电解杯中直接进行分析 分析结果: 见附录 备注: 无 AN-CN(GZ)-00018-10-302-032014-电化学工作站评估铜槽添加剂电镀效果 典型谱图: 附录 表一 结果汇总表 样品类型 预镀电位/mV样品电位/mV电位差/mV VMS -88.53 -86.36 2.17 2#-9 -89.72 -184.26 -94.54 样品 A -93.23 -171.17 -77.94 *电位差=样品电位-预镀电位

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