COMDEL电源中文样本

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1、美国 Comdel 电源公司介绍 美国 Comdel 电源公司介绍 成立于 1966 年的 Comdel 电源公司位于美国马塞诸塞州的波士顿海滨，是一家专业致力于生产直流、低频、中频、高频、甚高频全频谱（DC- Khz-80MHz）精密电源的高科技公司。产品可用于半导体、平板显示器、工业加热等广众的领域。 80年代以前，年代以前，Comdel一直为美国海军提供低噪声远距离通讯电源，一直为美国海军提供低噪声远距离通讯电源，80年代以后，军方允许向民品市场提 供各种高频设备。年代以后，军方允许向民品市场提 供各种高频设备。 ? 首创的全固态 RF 射频电源用于等离子体放电驱动电源，确立了他在行业中

2、一直处于领先地位。 ? Comdel 持有射频电源的一项“S”技术专利，使得高频传输线不再受长度限制。 ? Comdel 全部产品安全及质量标准符合“美国国家认证检验实验室标准” 。公司通过 ISO9001:2000 质量认证体系。 产品种类 产品种类 ? 单频射频电源 ? 双频射频电源 ? 直流电源 ? ESC 静电卡盘电源 ? 自动调谐匹配网络 产品选型表 产品选型表 中国区代表处：深圳市利方达科技有限公司 TEL：0755-26066939；FAX：0755-26454315；Mo b i l e :13570829883,EMAIL：LBTl e y f o n d .n e t ,

3、w w w .c o m d e l .c o mCLX 系列低频电源 CLX 系列低频电源 在世界范围内广泛认可，应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源在世界范围内广泛认可，应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源 产品性能 产品性能 CLX 系列可提供 600W 到 10,000W 功率输出，频率范围为 20KHz 到 2MHz, 可调谐范围为 10。其固态设计使得产品价格低、可靠性高。 应用对象 应用对象 CLX 产品系列可作为射频驱动等离子体系统的电源。该系统可应用于半导体工业。 应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD 和 PVD 等系统，也可作为工业系统中

4、感应加热和电介质加热设备的电源。 产品特点 产品特点 ? 可靠的放大器设计，世界范围内应用驱动等离子系统无故障时间达百万小时。 ? 通过译码器和软键输入的局部控制。 ? 标准的 RS232 串口和模拟/数字控制接口。 ? 在高 VSWR 情况下，可以保证一致性的控制电路。 ? 卓越的功率监控设计，可测量负载为任何阻抗值下的输出功率。 ? 前面板控制和可编程控制。 可供选择项 可供选择项 ? 多种可供选择的输入交流电压工作模式 ? 主从操作模式 ? 外频控制 ? 协议 普通技术指标 普通技术指标 ? 功率控制：0-10VDC，可监控 0 到最大额定功率输出 ? 功率控制线性度：设定功率大于 10

5、额定功率下小于 2 ? 频率：20KHz-2MHz 间任意频率（可选择频率灵敏度为中心频率+/-10的产品） ? 频率稳定度：350KHz+/- 1 电参数指标 电参数指标 型 号 输出功率 谐波失真 输入电压/电流 控制 I/O 连接 标准输出连接 CLX 600/H 600W 30000hrs. 可选配件可选配件 ? 多种可供选择的输入输出电压（输入：90-132V 或者 180-252V；输出：最高 3000V） ? 防电弧保护线路 电输入指标电输入指标 ? 输入交流电压：220VAC；50/60Hz ? 输入交流电流：6.25A 电输出指标电输出指标 ? 输出功率：1000W 连续直流

6、输出 ? 输出电压：最高可达 3000V（正或负电压） ? 输出波动：1p-p（若需更高指标，可以用户提出） ? 电压校准：0.1 空载和满功率方式 ? 电流控制校准：整个输入范围内为 0.1 ? 输出电压精度：全刻度的 0.1 ? 极性：正极或负极 普通技术指标普通技术指标 ? 安装：3.5”前面板，标准 19”EIA 机架安装，前面板紧贴 ? 电源底盘底面 ? 输出连接：绝缘 500V ，MHV 连接 ? 冷却方式：强迫风冷 ? 工作环境温度/湿度：040，湿度为 10-80，无冷凝 ? 尺寸：3.5”H19”17”D ? 重量：18Ibs（8Kg） 控制和保护控制和保护 ? 连续过电压和

7、过电流限制 ? 温度过热保护 ? 输出功率安全互锁连接 ? 防电弧保护电路 中国区代表处：深圳市利方达科技有限公司 TEL：0755-26066939；FAX：0755-26454315；Mo b i l e :13570829883,EMAIL：LBTl e y f o n d .n e t , w w w .c o m d e l .c o mMatch Pro 自动调谐网络 Match Pro 自动调谐网络 极快的调谐速度、准确的调谐结果、可重复性的过程数据 极快的调谐速度、准确的调谐结果、可重复性的过程数据 产品性能产品性能 ? 每一款 Match Pro 系统均嵌入 Comdel 公

8、司专有的 PROTRAK 算法，当接近调谐点时， 这种高速调谐算法逐渐的减缓系统的速度，即使在 “Q”值很高时也很容易找到匹配点。 在调谐过程中，这种比例控制线路体现了 Match Pro 和其它匹配网络的区别。 ? Match Pro 可以很快的将输入阻抗调整到 50Ohms，调整的准确性和可靠性可以很快 的响应负载特性变化。 ? Match Pro 工作功率范围为 50-50000W。 产品特点产品特点 ? 可远程手动控制和部分控制功能的自动化 ? 电容定位输出显示过程变化中匹配点 ? 高功率、Hbridge、Mos 驱动线路提高了可靠性 客户定制客户定制 为了优化调谐 Match Pro

9、 系统的调谐范围，Comdel 公司会为用户绘制了阻抗图，阻抗图可根据你的要求显示可选的最佳元件。用户化量身订做可以满足用户对电压电流的处理能力、调谐范围、调谐时间和外形尺寸的要求。 普通技术指标普通技术指标 ? 频率范围：2-40MHz ? 输入电压/功率：220VAC ;单相；50/60Hz（其它输入电压需特殊定制）调谐时最大功率为 50W ? VSWR：在 50-Ohm 系统中注波比通常在 1.5-1 之间 ? 冷却方式：强迫风冷或水冷 ? 安装：为了得到最大工作性能，Match Pro 工作单元必须靠近真空室。用户安装与其相适应。 标准配置标准配置 Comdel 公司会为用户绘制了阻抗

10、图，从而可以根据你的要求进行设计和优化元件。 Match Pro 网络系统可以提供下面的技术指标： CPMX-50 CPM-50 CPMX-25 CPMX-8* 负载电流 50A 50A 25A 8A 尺 寸 8”H17”W16”D 8”H14.5”W16”D 5”H10”W12”D 5”H12”W8”D 重 量 30.4Kg 30.4Kg 7.3Kg 3.6Kg 远程控制单元远程控制单元 Comdel 公司的遥控单元为 CPMX 系列 Match Pro 自动调谐网络提供了远程遥控的能力。该单元可以起到监控功能，例如自动/手动模式、预复位、电容位置、直流偏压等。该单元体积为 3.5”H9.5

11、”W6.25”D，有 halfracked 包装，重量大约 5Ibs。 中国区代表处：深圳市利方达科技有限公司 TEL：0755-26066939；FAX：0755-26454315；Mo b i l e :13570829883,EMAIL：LBTl e y f o n d .n e t , w w w .c o m d e l .c o mESC 系列静电夹盘电源 ESC 系列静电夹盘电源 具体型号包括：1，2，3 和 5KV 具有多种可供选择的外形和包装具体型号包括：1，2，3 和 5KV 具有多种可供选择的外形和包装 产品性能产品性能 Comdel ESC 系列静电夹盘电源拥有多种多样

12、的包装和稳定的电设计，具有体积小、重 量轻等优点。该系列电源拥有 NRTL 产品安全认证，为了设备的安全，产品安装了 RF 滤波器。而突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。 应用对象 应用对象 ESC 系列静电夹盘电源可为半导体晶片转移所使用的静电夹盘提供稳定的功率输出 产品特点产品特点 ? 通过输出极性转换，降低了夹盘上永久电荷的风险 ? 寄存能量低，内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧损害 ? 短路和开路验证设计增加设了设备的可靠性 ? 产品符合 ETL 和 SEMI F47 安全标准 ? 内置射频滤波器 可选配件 可选配件 ? ESC OEM：lmbedded m

13、odel ? ESC Dual：单独输出连接和内置电源电流监控器 ? ESC Mini：x-small 外包装设计（2.5”H4.75”9.5”D） ? ESC 5：5KV 单极输出（正极或负极输出） ESC 系列标准技术指标ESC 系列标准技术指标 ? 输出、输入隔离度：500 Meg Ohm 输出电压/电流 输出电压/电流 ESC1 ESC2 ESC3 ESC4 双 极 +/- 500V +/- 1000V +/- 1500V N/A 单 极 1KV 2KV 3KV 5KV 最大电流 10mA 3mA 2mA 1mA ? 输出校准：小于或等于从 0 到满负载输出的 0.1 ? 输出波动：小

14、于 0.2 ? 输出线性度：小于满刻度的 0.1 ? 输出电压平衡：负载匹配时小于 0.5 ? 输入线的要求：单独 24VDC，0.5A（最大 1A） ? 直流功率输入连接：3-pin Molex 型，非可逆快速分离 ? 直流输出连接：MHV 连接在 HV 终端上，BNC 在中心抽头上 ? 遥控界面连接：25-pin 凹型（DB25f） ? 冷却方式：无要求 ? 产品认证：产品符合 ETL 和 SEMI F47 安全标准 控 制控 制 ? 所有控制参量均可由前面板和遥控（25-pin D 型连接器）控制 ? 所有模拟设置点和监控信号均在 0-10V 全刻度范围内，输入最小为 200K Ohm。

15、在 10V 最大输出时输出可达 1K Ohm。 ? 所有控制线和状态指示均为不受约束的、光隔离数字信号 ? 连续可变的输出电压、输出电流限制 ? 高电平启动命令和启动指示 ? 输出电极极性反转命令和放电命令（自动或手动） 中国区代表处：深圳市利方达科技有限公司 TEL：0755-26066939；FAX：0755-26454315；Mo b i l e :13570829883,EMAIL：LBTl e y f o n d .n e t , w w w .c o m d e l .c o m机械技术指标机械技术指标 ? 尺寸：3.5”H8”W6.25”D ? 重量：2Ibs（0.9Kg） 可选

16、择的包装件 可选择的包装件 ? 输入线要求请查阅标准模型技术指标（ “standard model specifications”） ，输出电压、电流、校准和冷却方式如下： ESC OEMESC OEM ? 可供选择的型号：1、2、3KV ? 有模拟控制和 RS-232 串口的嵌入型 ? 产品符合 ETL 和 CE 安全标准 ESC Dual ESC Dual ? 可供选择的型号：1、2、3KV ? 简易连接的单极功率输出 ? 自动或手动极性转换开关 ? 内置电压和电流监控器 ? 可选偏压/补偿 ? 产品符合 ETL 和 CE 安全标准 ESC MiniESC Mini ? 可供选择的型号：1、2、3KV ? 有模拟控制和 RS-232 串口的 lmbedded 型号 ? x-small 包装设计 2.5”H4.75”W9.5”D ? 功率输入和控制采用 15-pin D 型连接 ESC 5ESC 5 ? 5KV 功率输出