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1、洁净专用吸尘器将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用 IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用 BiologicalCleanRoo（BCR）。二、洁净专用吸尘器等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR 则多参考明定生物粒子限制值的 NASA 规格（美国航空署 5340.2 规格）。其 Fed.std 清洁度的表示法为：1ft 3空气中，含
2、有多少个 0.5m（micro）以上的微粒子，及称为等级。例如：空气中含有 10 个 0.5以下时，表示为“等级 10”。二自然界大气中通常含有 30000030000000 个微粒子。三、洁净专用吸尘器共分为 8 个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级 1、28，8 阶段。在 1 立方公尺的空气中，粒径 0.1 微米的灰尘若是在 10 个以下时为1；百个以下是 100=102 是等级 2；千个以下时是 1000=103 等级 3，一次类推。21 世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极
3、大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于 0.1 微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当洁净专用吸尘器金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或
4、缺的要素。 一、洁净专用吸尘器无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间 。 二、洁净专用吸尘器-等级 美国联邦标准（ USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3粒 径 (
5、um)洁净度级别0.1 0.2 0.3 0.5 5.01 35 7.5 3 1 NA10 350 75 30 10 NA100 NA 750 300 100 NA1000 NA NA NA 1000 710000 NA NA NA 10000 70100000 NA NA NA 100000 700中国药品生产无尘车间（区）的空气洁净度标准尘埃最允许数 /平方米 微生物最大允许数洁净度级别0.5um 5um浮游菌个 /立方米沉降菌个 /皿.30min 100 3500 0 5 110000 350000 2000 100 3100000 3500000 20000 500 10300000 1
6、0500000 61800 NA 15无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 GB50073-2001大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3)空气洁净度等级 (N) 0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10000 2370 1020 352 83 5 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 237000 102000 35200 8320 2937 352000 83200 29308 3520000 832000 293009 35200000
7、 8320000 293000三、洁净专用吸尘器 控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。2. 能防止微尘粒子之产生。3. 温度和湿度之控制。4. 压力之调节。5. 有害气体之排除。6. 结构物与隔间之气密性。7. 静电之防制。8. 电磁干扰预防。9. 安全因素之考虑。10. 节能之考量。 四、无尘车间标准-分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级 1,000-100,000 级。优点：构造简单、系统建造成本低，
8、洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。2.层流式(Laminar)： 洁净专用吸尘器层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率 100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为 Class 1100。其型式可分为二种：(1)无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构
9、造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 洁净专用吸尘器(2)无尘车间垂直层流式：房间天花板完全以 ULPA 过滤器覆洁净盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。3.复合式(Mixed Type)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以 HEPA
10、或 ULPA 过滤器将制程区域或工作区域 100%覆盖使洁净度等级提高至 10 级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI 制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)无尘车间洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100 级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。(3)无尘车间并装局部洁净
11、室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000100,000 之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为 101000 级以上，以为生产之用；即属此类。 洁净工作台：等级 Class 1100 级。洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之 HEPA 或 ULPA 及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为 101000 级，高度在 2.5 米左右，覆盖面积约 10M2 以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。五、洁净专用吸尘器-气流之流动无尘车间的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气
12、流的支配。 无尘车间系利用 HEPA、ULPA 过滤空气，其尘埃的收集率达 99.9799.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准是什么？ (2009/08/10 13:56)依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是 1 级、10 级、100 级、1000 级、10000 级、100000 级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是 0.5um
13、，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10 级在 0.2um（尘粒尺寸在 0.2um 或更大下，密度不大于 75 颗/立方英尺），1 级在 0.1um（尘粒尺寸在 0.1um 或更大下，密度不大于 35 颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于 1000 级。无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义一、洁净专用吸尘器无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用 IndustraialCleanRoom（ICR）
14、；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用 BiologicalCleanRoo（BCR）。二洁净专用吸尘器现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR 则多参考明定生物粒子限制值的 NASA 规格（美国航空署 5340.2 规格）。其 Fed.std 清洁度的表示法为：1ft 3空气中，含有多少个 0.5m（micro）以上的微粒子，及称为等级。例如：空气中含有 10 个 0.5以下时，表示为“等级 10”。二自然界大气中通常含有 30000030000000 个微粒子。三、在 JIS 标准下，无尘室清洁度，共分为 8 个等级一般清洁度是指空气的
15、洁净等级，分为等级 1、28，8 阶段。在 1 立方公尺的空气中，粒径 0.1 微米的灰尘若是在 10 个以下时为1；百个以下是 100=102 是等级 2；千个以下时是 1000=103 等级 3，一次类推。21 世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小洁净专用吸尘器 于 0.1 微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。
