制备石墨烯的cvd设备方案

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1、郑州成越科学仪器有限公司 联系人:郑祥攀 手机:18137195609 电话:0371-55982908传真:0371-86036875 网址:产品用途主要用作石墨烯制备。产品参数 产品型号 可选:单温区 CY-O1200-100-IC双温区 CY-O1200-100-IIC三温区 CY-O1200-100-IIIC炉体结构 高纯 Al2O3 保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性.炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.密封法兰系统全不锈钢制作整机功率 单温区 5KW双温区 5KW三温区 7.5KW供电电压 208-240VAC, 50/60Hz, 单相 最高工作温度 1100连续工作温度

2、 1000炉管材质和尺寸 石英管 OD100 x ID 96 x 1400mm(单温区)石英管 OD100 x ID 96 x 1500mm(双温区)石英管 OD100 x ID 96 x 1600mm(三温区)加热区长度 单温区加热区长度: 440mm双温区加热区长度: 220mm+220mm三温区加热区长度: 220mm+440mm+220mm控温精度 +/- 1 温控系统 采用 PID 方式调节,可设置 30 段升降温程序带有过热和断偶保护升温速率 建议 10/min真空法兰 一对 SS304 不锈钢法兰,通过用两个高温“O” 型圈紧密密封可获得高真空。炉子底部装有一对滑轨炉子可以手动从

3、一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入样品所在的位置。混气系统 3 路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.MFC 1 范围: 0100 sccmMFC 2 范围: 0200 sccmMFC 3 范围: 0200 sccm气路: 3 路流量精度: 0.2%进气和出气接口: 1/4 卡套郑州成越科学仪器有限公司 联系人:郑祥攀 手机:18137195609 电话:0371-55982908传真:0371-86036875 网址:一个混气罐.每路气路都有一个独立的不

4、锈钢针阀控制。真空泵 安装在移动架底部的分子泵,真空度达 133.32 X 10-5 Pa.真空泵与手动挡板阀之间用 KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .设备结构:公司简介郑州成越科学仪器有限公司是一家集研制、生产、销售于一体的综合性公司,公司位于河南省省会郑州。主 营 箱式电炉、管式电炉、高温电炉、钟罩炉、升降炉、真空炉、电炉配件 等。多年以来,坚持以客户 需求为导向,致力于不断提高产品的质量和完善的服务,努力确保客户满意。 在坚持自主创新的基础上吸收国内外优秀产品的先进技术,结合国内实际情况研究开发、生产加热设 备和实验仪器。产品广泛用于大专院校、科研院所,各类企业等;广泛用于陶瓷、化工、电子、冶金、 新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产。

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