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1、等离子清洗机在 LCD-COG 组装工艺中的应用等离子清洗-等离子刻蚀- 等离子去胶-等离子活化- 等离子改性-等离子去胶渣 一、前言 目前组装技术的趋势主要是 SIP、BGA、CSP 封装使半导体器件向模块化、高集成化和小型化方向发展。在这样的封装与组装工艺中，最大的问题是粘结填料处的有机物污染和电加热中形成的氧化膜等。由于在粘结表面有污染物存在，导致这些元件的粘接强度降低和封装后树脂的灌封强度降低，直接影响到这些元件的组装水平与继续发展。为提高与改善这些元件的组装能力，大家都在想尽一切办法进行处理。提高实践证明，在封装工艺中适当地引入等离子清洗技术进行表面处理，可以大大改善封装可靠性和提高
2、成品率。 二、等离子体 离子体通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，就存在于我们周围。 离子体尽管在宇宙的别处非常丰富，但在地球上只存在于某种特定环境。离子体的自然存在包括闪电、北极光。就好像把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。 当温度升高时，物质就由固体变成液体，液体则会变成气体。当气体的温度升高时，此气体分子会分离成为原子，若温度继续上升，围绕在原子核周围的电子就会脱离原子成离子（正电荷）与电子（负电荷），此现象称为“电离” 。因电离现象而带有电荷离子的气体便称为“等离子（PLASMA ）”。因此通常将等离子归类为自然界中的“固体” 、“
3、液体”、“气体”等物态以外的“ 第四态”。 三、等离子清洗原理 等离子清洗一般是利用激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。 在等离子清洗应用中，主要是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2 等）在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子，自由基等多种活性粒子。一般在等离子清洗中，可把活化气体分为两类，一类为惰性气体的等离子体（如 Ar2、N2 等）；另一类为反应性气体的等离子体（如 O2、H2 等）。等离子产生的原理如下：给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产
4、生等离子体。活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。 等离子清洗的清洗过程从原理上分为两个过程 过程 1 为：有机物的去除 首先是利用等离子的原理将气体分子激活，然后利用 O，O3 与有机物进行反应，达到将有机物排除的目的； 过程 2 为：表面的活化 首先是利用等离子的原理将气体分子激活，然后利用O，O3 含氧官能团的表面活化作用，来改善材料的粘着性和湿润性能。 四、等离子清洗机在 COG-LCD 组装技术中的应用 LCD 的 COG 组装过程，是将裸片 IC 贴装到 ITO 玻璃上，利用金球的压缩与变形来使
5、 ITO 玻璃上的引脚与 IC 上的引脚导通。由于精细线路技术的不断发展，目前已经发展到生产 Pitch 为 20m、线条为 10m 的产品。这些精细线路电子产品的生产与组装，对 ITO 玻璃的表面清洁度要求非常高，要求产品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有机与无机的物质残留在 ITO 玻璃上来阻止 ITO 电极端子与 IC BUMP 的导通性，因此，对 ITO 玻璃的清洁显得非常重要。在目前的 ITO 玻璃清洁工艺中，大家都在尝试利用各种清洗剂（酒精清洗、棉签柠檬水清洗、超声波清洗）进行清洗，但由于清洗剂的引入，会导致由于清洗剂的引入而带来其他的相关问题，因此，探索新的清洗方法成为各厂家
6、的努力方向。通过逐步的试验，利用等离子清洗的原理来对 ITO 玻璃进行表面清洁，是比较有效的清洁方法。 下面是经过等离子清洗前后的效果差别： 1.使用设备: 等离子大气压等离子清洗机；气体:无油干燥空气 2.将 20pcs IC Bump 向上放置（粘在黄胶纸上），进行 Plasma 清洗，然后再将IC 正常热压到 LCD 上，进行测试，观察产品显示状况。 3.将 23pcs 显示白条，并且未封硅胶的产品，进行 Plasma 清洗，然后再测试，观察白条显示状况。 4.取 2pcs 显示 OK 的产品，在同一位置裸露的 ITO 上沾上汗渍（不戴手套，直接戴手指套，约 15 分钟后手指套内的汗渍）
7、，将其中 1pcs 进行 Plasma 清洗，然后产品一起通电，观察腐蚀状况（车间温度管控范围:22 +/-6，湿度控制范围 55+/-15）。 产品 A 经过等离子清洗；产品 B 不进行等离子清洗。通过连续的通电实验（200 小时）后，情况如下：产品 A 在通电 71.5H 时出现第一条缺线，通电77H 时出现第二条缺线； 而产品 B 在通电 4.5H 时，显示缺四条线。 从上面的实验数据可以看出： 1、等离子清洗时产生的静电不会对产品造成不良； 2、等离子清洗机可清洗 ITO 表面的微量导电脏污，可以改善由于漏电导致的白条现象； 3、等离子清洗可以降低被污染产品的腐蚀速度和腐蚀程度。 从上面的原理分析及实验数据可以得出： 等离子清洗可用于 LCD 玻璃及LCDCOG 半成品玻璃组装过程的清洗，来改善产品的质量及其稳定性。 以上资料由烟台金鹰科技提供
