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1、拉晶操作规程一、 开炉前准备工作穿上清洁的工作服，戴上工作帽、口罩，换上工作鞋，拿上所需的工具，放在工作台上以备用。二、 清扫炉子1首先拧开副室门螺丝，打开氩气流量计的阀门，然后把减压阀找开，往炉内充氩气，直至充满，打开炉门，关掉氩气。关氩气时，先关减压阀，后关系流量计。取出单晶后，彻底清扫过滤网及过滤筒，清理完后，关上插板阀，升上副室，依次拿出导流筒、保温盖、上保温筒、圆环等，把余料拿出，然后把三瓣石墨坩埚取出，彻底并仔细清扫拿出的石墨件。清理后，把炉筒、炉盖清理干净，然后升上主室友，仔细查看电板是否有打火的现象，如发现有异常，需拿出加热器，进行彻底地处理。没有异常现象，应把电极螺丝紧一遍，
2、然后吸尘器清理炉底有及抽气管道。2全部清理完后，要认真仔细小心地依次把石墨件装入，注意查看加热器与石墨坩埚和保温筒内壁四周的否均匀，确定完好后，把炉筒密封圈及炉底密封圈清理干净，然后降下主室把热偶取光孔及保温筒石墨套管对准，然后把圆环装入。三、 装料及封炉1把事先准备发了的多晶料放在工作台上备用，戴上无尘手套，打开石英坩埚包装，仔细检查石英坩埚，确定无异常小心地放入石墨坩埚内（注意要放平衡） ，然后把最大块的多晶料小心轻放入石英坩埚内。装料时应注意：（1）最大的料先埚底；（2）细料不要装在石英坩埚上部的内壁边沿，以防挂边；（3）装料时应切断锅转电源，以防多晶料把导流筒内壁石墨刮入石英坩埚内，沾
3、污硅料或使伊尔根透视槽移位，放上保温筒、保温盖、导流筒，然后再把余料往导流筒内装入，直至全部装完。2装料完后，仔细查看炉盖的密封圈，观察窗的挡光玻璃等确定符合要求时，再副室合上，接着把副室彻底地清扫一遍，查看籽晶，确定无异常情况，打开插板阀，关上炉六，启动机械泵，缓慢地打开抽空截止阀，开始抽空。四、 抽空当炉内的真空抽以一定高度时，因内有潮气，不能抽上去，此时需充氩气来带走炉内的潮气，充氩气时应注意：（1）首先把流量计阀门打开，然后再把减压阀打开，保持 3kg 压力入炉内充气；（ 2）当充气 3-5 分钟后要关闭氩气时，把流量计阀门关掉，如此反复，直到真空达到 3 Pa 之内；（3）当真空长时
4、间抽不上去，确定是炉子漏气，应及时地向车间主管及老板汇报。直到找出原因，真空正常方可升温。五、 升温、化料当真空达到要求时，开始升温。首先把氩气打开，往炉内充氩气，然后严格按规定的程序升温。当发现炉内有有现象，及时地汇报给老板及车间主管，必要时可以停止加热，以保设备的安全。当料完全下榻时，应及时地把锅位升上来，但不能让余料碰到导流筒，此时要仔细地观察液面变化情况，一旦发现液面不上升反而下降时，可能会出现漏硅。当确定是漏硅时，首先马上关掉总电源，然后抽空截止阀关掉，再把氩气关掉，最后把所有的控制开关及电位器关闭、还原。保持炉子冷却水通畅，以确保炉子的安全，处理完后马上报告老板及主管。六、 引晶、
5、等径1当全熔挥发完后，温度稳定，此时就要引晶。首先要查看减压阀与流量计压力表的压力显示是否一致，通常拉晶时的压力为 3kg,如果不一样，要查看总管压力是否低于 3.5kg, 低于 3.5kg 时应及时地提高总管的压力，特殊情况应及时地汇报。2引晶的拉速不能太快，但也不能太慢。太快容易使放肩马上脱拔，太慢也能使放肩脱拔，放肩的快慢靠实践的经验积累来完成。3当放肩到一定大时，要进转肩。转肩时应根据放肩的速度来提升拉速，并跟上埚升（按比例） ，等到固液交汇接面的光圈四周均匀到一定宽度时，马上回降拉速到正常等径的拉速，并投入自动。4等径投入自动后，时刻注意拉速的变化和晶体生长的情况，发现问题能及时处理
6、。5等径到三分之二后要时刻注意液面及拉速的变化，要及时地补充温度以防液面结晶。一旦发现结晶，要及时地升温，并收尾。必要时吊起，以免单晶棒掉下来，损坏热系统。6当晶体吊起脱离液面升到安全位置，此时功率应三次下降。首先降到中高温，5 分钟之后降至中温，5 分钟之后降至低温，10 分钟之后停止加热。整个过程氩气流量需减少一半，以保证晶体件慢慢冷却，避免晶体内部开裂。七、 中途取单晶当晶体生长到一定长度时可能会脱拔，此时需要把晶体取出。取晶体时要严格按照车间的规定“操作” 。取完单晶后，副室友需要抽空，抽空必须要达到 3Pa 以内。抽空时要反复充氩气三次以上，以便把副室残留的空气、潮气带走，以确保正常拉晶。八、 停炉、水泵运行1. 当拉晶完毕停炉后，要实事求是、认真仔细地做好拉晶记录，以确保下炉拉晶的正常。2. 停炉后必须要守冷却水，注意水泵的运行，等到正常运行 6 小时以上方可离岗。一旦发现水泵故障应及时更换备用水泵进行借水。如停电则要及时打开备用水，然后把总出水口的阀门关小，用手感觉水温，看炉子进水压力来调节水量。一切做完后，即使把发生的情况报告给老板或车间主管，以便及时解决。浙江盛荣德电子科技有限公司二 0 一一年三月
