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1、1合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD 六代线玻璃减薄配套项目环境影响报告书（简本）目 录（一） 建设项目情况简述；（二） 建设项目对环境可能造成影响的概述；（三） 预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点；（四） 环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点；2一、建设项目情况简述合肥京东方半导体有限公司拟在合肥新站综合开发试验区（合肥京东方半导体有限公司厂址内）建设 TFT-LCD 六代线玻璃减薄配套项目，项目总投资4176 万元人民币。项目新建 1 栋生产厂房，新建 1 座废水处理站，配套建设危险废物暂存库及一般废物暂存库、纯水制备系统、废气处理系统、废水处理系统等配套设施，部分设施依
2、托现有工程。项目建成后从事 TFT-LCD 六代线玻璃减薄。项目产品方案及规模见表 1。表 1 产品方案及规模六代线蚀刻产能序号 产品名称G6 规格型号 产能1 TFT-LCD 玻璃面板减薄 15001850mm 7.2 万片该项目位于合肥新站综合开发试验区建设，符合国家当前产业政策和园区的产业发展规划。二、建设项目对环境可能造成的影响概述本项目产生的主要污染物有：生产废水（W1 清洗废水、W2 高浓度含氟废水、W3 低浓度含氟废水、W4 悬浮物废水、W5 酸性废气洗涤塔排水、W6 纯水制备废水、W7 冷却塔循环水排水）和 W8 生活污水；生产废气（ G1 有机废气、G2 酸性废气）；动力配套
3、设施运行产生的噪声；固体废物（包括危险废物和一般废物）。（一）废水本项目生产废水排放量 963.2m3/d。1、W1 清洗废水：废水排放量 250 m3/d，排放方式为连续排放。清洗废水主要来源于前清洗、抛光后清洗工序，废水中含有清洗剂，本项目新建一般废水处理系统一套，清洗废水全部排入其中处理。2、W2 高浓度含氟废水、W3 低浓度含氟废水（1）W2 高浓度含氟废水：排放量 4.2m3/d，间断排放。自蚀刻槽定期倒槽，废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质。（2）W3 低浓度含氟废水：废水排放量 500m3/d，连续排放。含氟废水主要源自蚀刻减薄线的清洗工序，废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质。（
4、3）W5 酸性废气洗涤塔排水：废水排放量 15m3/d，间断排放。酸性废气3洗涤塔排水主要来源于蚀刻减薄线产生的的酸性废气通过洗涤塔处理后的排水。3、W4 悬浮物废水：废水排放量 32m3/d，排放方式为连续排放。主要来源于抛光工序，废水中含有少量抛光粉（主要成分为氧化铈）。4、W6 纯水制备排水本项目新建纯水制备系统，根据纯水制备工序，在制备的过程中将产生RO 浓缩水和反洗废水。（1）RO 浓缩水：排放量 140m3/d。RO 浓缩废水指反渗透工艺中未通过半透膜的废水，主要含原自来水中的离子（盐类）。为了节约水资源，本项目将RO 浓缩水收集后，用作部分用作厂区卫生间冲洗水；部分用作酸性废气洗
5、涤塔补水；多余的 RO 浓水通过厂区废水总排口排放。（2）反洗废水：废水排放量 47m3/d。纯水制备过程中，需通过反洗来恢复其过滤能力。反洗水就是反洗介质过滤器和活性炭过滤器排水。5、W7 冷却塔循环水排水：废水排放量 40m3/d，排放方式：连续排放。常温冷却水用来冷却空压机系统，由于水质较清洁，直接经废水总排口排放。6、W8 生活污水本项目厂区不设食堂，设置就餐区，采用配餐制，餐具不在厂区清洗。项目产生的生活污水主要为卫生间盥洗污水，排放量为 8.5 m3/d。（二）地下水本项目给、排水均不会与地下水直接发生联系，项目的建设基本不会对地下水水位造成明显影响，仅有可能对地下水的水质造成一定
6、影响。拟建项目可能对地下水造成污染的途径主要有：生产车间（蚀刻生产区）、化学品库、储酸区（含配酸区）、危废暂存库、废水处理设施（包括废水处理池体及管道）、事故应急池等污水下渗对地下水造成的污染。（三）废气主要包括一般性废气（废热）、酸性废气、有机废气。为了使本项目所排放的废气得到有效治理，根据废气性质，将废气处理系统分为一般废气（废热）排风系统和酸性废气处理系统，由于项目产生的有机废气量极少，可直接通过一般废气（废热）排风系统排风。(1) 一般废气（废热）4本项目车间一般废气（废热）排风通过车间设置的风机抽排。(2) 有机废气项目产生有机废气的工序为 UV 固化和清洁工序。固化主要采用紫外线照
7、射，此过程仅会产生微量的有机废气；清洁工序采用无尘布蘸乙醇进行擦拭，由于乙醇的使用量较小，因此挥发产生的有机废气量也很小。由于有机废气产生量很小，污染物浓度极低，可直接通过车间一般废气（废热）排风系统排出。(3) 酸性废气酸性废气主要来源于蚀刻减薄工序中使用各种刻蚀液，主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾等。（四）噪声本项目生产设备位于密闭厂房内，厂房有较好的隔声作用。因此，项目噪声源主要为动力设备噪声。本项目动力辅助设备中除供水系统、现有工程废水站外，其余的均为新增系统。新增的产噪设备主要为风机、空压机、冷却塔、水泵等动力设备。（五）固体废物本项目生产过程中产生的固体废物分为危险废物和一般固体
8、废物两类。危险废物主要包括：S1 不合格玻璃、 S2 废弃无尘布（含乙醇）、 S3 蚀刻槽渣、S4 废 UV 胶、S7 沾染化学试剂容器、S9 含氟污泥。一般废物主要包括：S5 废靶材、 S6 废包装材料、 S8 办公生活垃圾、S10一般废水处理系统污泥等。三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施要点为了预防和减轻本项目建成投产后产生的污染物可能对周围环境的影响，本项目对产生的废水、地下水、废气、噪声和固体废物，拟分别采取的主要防治措施如下：1、废水处理措施及对策本项目新废水处理站 1 座，其中新建 1 套含氟废水预处理系统、1 套含氟废水处理系统、1 套悬浮物废水处理系统，1 套最终中和处理
9、系统。高浓度含氟废水首先经含氟废水预处理系统处理，处理后与低浓度含氟废水、酸性废气洗涤塔排水一并排入含氟废水处理系统，最后再排入最终中和处理系统；悬浮物5废水排入悬浮物废水处理系统，最后再排入最终中和处理系统；一般清洗废水，纯水制备反冲洗废水和冷却塔排水，水质均较清洁，均直接排入最终中和系统处理。项目产生的生活污水首先经化粪池预处理后再排入现有工程废水处理站进一步处理。表 2 本项目废水排放口污染物排放浓度情况放量废水排 (m3/d) 名 称 COD BOD5 NH3-N氟化物（以 F）氯化物（以 Cl 计） SS LAS 磷酸盐(以 P 计 ) pH排放浓度(mg/L) 150.2 61.9
10、 8.0 13.5 358.6 100.4 4.0 0.03 69排放标准(mg/L) 380 180 30 20 600* 200 20 4 69971.7达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标注：（1）标准执行GB 8978-1996）三级标准和小仓房污水处理厂接管标准；（2）氯化物参照执行污水排入城镇下水道水质标准（CJ 343-2010）B等级标准。生产废水和生活污水经处理达到污水综合排放标准（GB 8978-1996）三级标准和小仓房污水处理厂接管标准要求后，经市政污水管网排入小仓房污水处理厂，处理达标后排入南淝河。本项目的建设对南淝河的水质影响较小，项目的建
11、设不会造成南淝河的水质进一步恶化。2、地下水防渗措施项目的地下水污染预防措施应按照“源头控制、分区控制、污染监控、应急响应”的主动与被动防渗相结合的防渗原则。将全厂按物料或者污染物泄漏的途径和生产功能单元所处的位置划分为重点污染区防治区、一般污染区防治区以及非污染防治区三类地下水污染防治区域：重点污染防治区是可能会对地下水造成污染，风险程度较高，需要重点防治的区域，主要包括生产车间（蚀刻生产区）、化学品库、储酸区（含配酸区）、危废暂存库、废水处理设施（包括废水处理池体及管道）、事故应急池。一般污染防治区生产车间（除蚀刻生产区外）、一般废物暂存库、生产区路面 。非防渗区主要为：办公、生活区。对重
12、点污染区防治区防渗措施：（1）生产车间（蚀刻生产区）：地面全部进行防渗、防腐处理。（2）储酸区（含配酸区）：地面全部进行防渗、防腐处理。储存区四周设置经过防渗、防腐处理的地沟，并设置自动抽水泵。6（3）化学品库：化学品库用于储存UV胶、乙醇、清洗剂、抛光粉等物质。地面全部进行防渗、防腐处理。（4）危废暂存库：危废暂存库需严格按照危险废物贮存污染控制标准GB 18597-2001的要求设计，地面与裙脚均进行防渗，四周设置经过防渗、防腐处理的地沟。（5）废水处理站及废水管道：所有废水处理池基础进行防渗处理。废水输送全部采用管道，视废水水质的不同选择合适材质并作表面防腐、防锈蚀处理，减轻管道腐蚀造成
13、的渗漏；并进行定期检查，确保消除跑、冒、滴、漏现象发生。废水处理站内设一座经过防渗、防腐处理的应急事故池1座（容积360m 3）。在采取上述措施后重点防渗区的渗透系数1.010 -10cm/s。对一般污染防治区地面用在抗渗混凝土面层中掺水泥基渗透结晶型防水剂，其下铺砌砂石基层，原土夯实达到防渗目的。通过上述措施使一般污染区各单元防渗层渗透系数1.010 -7 cm/s。综上所述，在采取上述防渗、防腐处理措施后，项目对地下水基本不会造成明显影响。3、废气处理措施及对策废气包括 G1 有机废气、G2 酸性废气和 G3 一般废气（废热）等。一般废气（废热）通过厂房风机直接抽排；有机废气产生量很小，污
14、染物浓度极低，直接通过车间一般排风系统排出；项目新建 2 套酸性废气处理系统（1 用 1 备），酸性废气采用“ 碱液喷淋吸收处理 ”，酸性废气中各污染物指标均能达到 大气污染物综合排放标准（GB 16297-1996）中二级标准的要求。排放的废气对项目所在区域大气环境影响甚微。表 3 本项目生产废气主要污染物处理及排放情况处理后 评价标准废气种类 排气总量(m 3/h)排气筒数（个） 污染物名 称 排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)处理措施 排放速率(kg/h) 排放浓度 (mg/m3)达标情况氟化物 0.06 1.56 0.1 9 达标氯化氢 0.07 1.86 0.26 100 达
15、标G2 酸性废气 36000 1硫酸雾 0.10 2.86 碱液湿式洗涤塔 1.5 45 达标74、噪声防治措施项目噪声的治理拟采取以下主要措施：(1) 优化设备选型，合理布置总平，高噪声设备布置尽量使用远离厂界；(2) 除冷却塔、废气处理设备风机设置于室外，其余产噪设备均布置于室内，厂房墙体起到了明显的隔声降噪作用；(3) 风机采用减振台基础，空调净化排风系统的主排风管设消声器，排风管道进出口加柔性软接头；排风机外壳设隔声罩；(4) 水泵基础设橡胶隔振垫，水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振；(5) 对空压机设置隔音门窗，墙面装修材料采用吸音板。空压机设备基础设计减振台，管道进出口
16、加柔性软接。(6) 在冷却塔的进风口和排风口安装消声器，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫，减小淋水噪声。通过上述隔声、减振等降噪措施后，本项目厂界处噪声排放可达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类标准要求。5、固废污染防治措施项目固体废物按其毒理性质鉴别分为危险废物和一般废物。固废的处置情况见表 4。表 4 固体废物处置情况统计表序号 废物种类 性质产生量(t/a) 处理处置去向1 S1 不合格玻璃 HW49 其他废物 2 交由客户厂商回收2 S4 废 UV 胶 HW13 有机树脂类废物 13 S2 废弃无尘布（含乙醇） 0.9 4 S7 沾染化学试剂容器 HW42 废有机溶剂 1.55 S3 蚀刻槽渣 3056 S9 含氟污泥HW32 无机氟化物废物 8532.8 由有危险废物处理资质的单位处置 小计 8843.2 8 S5 废靶材 0.04 生产厂商回收9 S6 废包装材料 2 废品回收站10 S8 办公生活垃圾 1
