纳米材料与技术-纳米结构与器件

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1、第八章 纳米结构与器件一、纳米结构概述二、人工纳米结构组装体系三、纳米结构和分子自组装体系四、厚膜模板合成纳米阵列五、介孔固体和介孔复合体六、MCM 41 介孔分子筛七、单电子晶体管八、碳纳米管有序阵列体系的 CVD 合成一、纳米结构概述1. 定义纳米结构是以纳米尺度的物质单元为基础，按一定规律构筑或营造的一种新的体系。该体系是当前从纳米材料领域派生出来的含有丰富科学内涵的一个重要分支科学。 2. 学科特点以原子为单元的有序排列，相对独立，有其自身的特点： 有许多奇特的理化现象和性质 与下一代量子结构器件密切相关 3. 主要内容 纳米级物质单元：纳米微粒、团簇、人造超原子；纳米管、棒、丝、线、

2、缆线、带状结构；纳米尺寸的空位、孔洞等 构筑过程中的驱动力：外因人工纳米结构组装体系内因纳米结构自组装体系；分子自组装体系。 4. 研究意义将对于纳米材料中的基本物理效应的认识不断引向深入 可研究单个纳米结构单元的行为、特性 可对纳米材料基元的表面进行控制，认识其间的耦合、协同效应 可建立新原理，构筑纳米材料体系的理论框架，为自由利用纳米材料的理化特性、创造新的物质体系和量子器件打下基础。二、人工纳米结构组装体系按人类的意志，利用物理、化学的方法，人为地将纳米尺度的物质单元按一定的规律组装、排列，构成一维、二维和三维的纳米阵列结构体系。 体系的特性 纳米微粒的特性：小尺寸、量子尺寸、表面效应等

3、 组合后的新特性：量子耦合效应、协同效应等 可通过外场控制光、电、磁场操控体系的性能 纳米超微型器件 创造出新的物质体系：纳米结构、量子效应原理性器件等。通过对纳米材料基本单元的行为、特性的研究、控制，可建立新的原理。 是纳米材料研究的前沿。三、纳米结构和分子自组装体系1. 定义 纳米结构自组装体系是指通过弱的和较小方向性的非共价键（氢键、Van der Waals 键和弱离子键）的协同作用把原子、离子或分子连接在一起，构筑成一个纳米结构或纳米结构的花样。 该过程是一种整体的、复杂的协同作用。两个条件：足够数量的弱键；体系能量较低。 分子自组装（ Molecular Self-assembly

4、）体系是指分子与分子之间在平衡条件下，依赖分子间的非共价键力自发地结合成稳定的、结构上确定的分子聚集体。 分三个层次： 有序的共价键形成复杂、完整的中间分子体； 非共价弱键协同形成大的分子聚集体； 作为结构单元，重复自组织、排成纳米结构体系。2. 内容 胶体晶体的自组织合成包含表面活性剂的量子点（纳米微粒）与溶剂通过协同作用形成自组装纳米结构的平面胶体晶体（量子点超点阵） 。 PtFe 合金纳米粒子（尺寸 3-10nm） ，在表面活性剂的作用下自组织成三维的超晶格结构，这种自组织结构在力学、化学上都很稳定，有可能用于高密度可逆磁存储。 半导体量子点阵体系的自组织合成量子点表面包敷层与辛醇协同作

5、用，可在固体表面形成 CdSe 量子点有序阵列。 （相比于 MBE、电子束刻蚀）工艺简单，价格便宜 金属胶体自组装纳米结构金属微粒表面经处理连有官能团，可在有机环境下形成自组装纳米结构。 石墨、MoS 2 等光滑衬底上，Au 的胶体纳米粒子间通过有机分子链形成自组装体。 有机膜覆盖的衬底上，Au 胶体粒子与有机膜中官能团协同作用，形成纳米单层膜结构。 在共聚物衬底上，Au 纳米粒子在退火后经定向运动形成 Au 颗粒自组装体，得到 Au 颗粒镶嵌的共聚物纳米结构膜。 多孔的纳米结构自组织合成利用微乳液滴中的自组织过程，可得到具有纳米空心结构的文石。 分子自组织合成纳米结构分子在一定条件下自组装，

6、自发产生复杂有序且具有特定功能的聚集体（超分子）组织的过程为分子自组织。普遍存在于生物系统中，由其构成千姿百态、结构复杂的生命体。 用于材料合成，其主要原理是分子间力的协同作用和空间互补。 组成自组装体系的分子之间应具有弱相互作用力（静电相互作用、氢键及范德华力等）才能保持稳定，且在组装的结构中具有内在的自我纠错过程。当一个自组装体系达到热力学平衡状态时，它会自动驱除组装结构中任何错误的分子或错误的位置，这样就使自组装过程可以创造十分相似的结构拷贝，并且使体系相当稳定。 分子自组装技术不仅可用于有机纳米材料的合成，而且可用于复杂形态无机纳米材料的制备：如纳米微粒、纳米棒、纳米管、多层膜、纳米网

7、、孔洞材料等。四、厚膜模板合成纳米阵列 阵列纳米结构高度取向的纳米阵列是以纳米颗粒、纳米线、纳米管为基本单元，采用物理和化学的方法在两维或三维空间内构筑的纳米体系。涉及到的几种类型（按照单元的维度，及放置情况分类）： 零维的纳米点单元阵列 平面结构单元阵列，如纳米盘、纳米环 平行排列的一维的纳米阵列，如纳米管、纳米线 纳米孔阵列，介质较薄时，也称为纳米反点或纳米网络结构用模板合成纳米结构单元（纳米粒子，纳米棒、管）和纳米结构阵列体系，可提供更多的自由度来控制纳米结构体系性质，为设计下一代纳米结构元器件打下基础。人们可以根据需要设计、组装纳米结构的阵列，从而得到常规体系所不具备新物性。它是多种物

8、理、化学方法的集成，是纳米结构制备科学上的前沿技术。 模板组装纳米结构的优点： 利用模板可以制备各种材料的纳米结构 可合成分散性好的纳米丝、管以及它们的复合体系：p-n 结、多层管等 许多工艺参数可控，如可通过改变模板柱形孔径的大小来调节纳米丝、管的直径，获得直径极小的丝、管 可制备种类繁多的纳米结构阵列体系 可根据模板内被组装物质的成分及结构，对纳米结构的性能进行调制。1. 模板的制备和分类厚膜模板是厚度为几十到几百微米厚的膜，内含高密度的纳米级柱形孔洞。纳米阵列的制备，主要采用有纳米孔洞阵列的厚膜作为模板，通过电化学法、CVD 法、溶胶凝胶等方法，将被组装的物质引入纳米孔洞阵列而得到。内含

9、纳米孔洞的模板的获得是前提。常用的厚膜模板有 Al2O3 模板、高分子模板和金属模板（Pt，Au） 。 Al2O3 模板Anodic Aluminum OxideTemplate 阳极氧化铝（AAO ）常用的多孔模板：经退火的高纯 Al 片，经电解阳极腐蚀，移去障碍层，得到具有贯穿纳米孔洞的 Al2O3 模板。结构特点：绝缘，孔洞为六角柱形，垂直于膜面呈有序平行六角排列。孔胞参数可调：孔径在 5-200nm范围内，孔密度达 1011 个/ cm 2。 高分子模板6-20m 厚的高分子膜 聚酯(PET)和聚碳酸酯(PC)膜，经核裂变碎片的轰击出现损伤痕迹，再用化学腐蚀法使损伤痕迹变成孔洞。结构特

10、点：孔洞呈圆柱形，总体上无序分布，很多与膜面斜交，有孔洞交叉现象（可制备 nm 丝结） ，孔密度约为 109 个/ cm 2 。起源于核技术为探测核粒子径迹而开发的固体径迹探测器。固体径迹探测技术目前都采用高分子聚合物材料来探测高能粒子。当高能粒子穿过高分子聚合物时，在粒子经过的路径上留下一条狭窄的损伤通道径迹，这种径迹虽然无法用显微镜和电子显微镜直接观测到，但由于径迹处的高分子链被破坏，形成很多自由基，其化学活性很高，很容易被化学试剂腐蚀，形成微孔，这种微孔则可以通过显微镜观察到。这样，在一定的蚀刻条件下，用显微镜观察和测量微孔的大小和长度，就可以测量核粒子的质量、能量、方向。 高分子聚合物

11、中的核径迹经过适当的处理和化学蚀刻后，核径迹便形成一条圆柱型的孔道。如果高分子聚合物是塑料薄膜，当带电粒子完全穿过薄膜时，则化学蚀刻后就形成通孔。控制辐照的强度和化学蚀刻条件，就可以控制孔的多少和孔径的大小。这种微孔薄膜称为核径迹蚀刻膜，国外商品名 Nuclepore，在我国称核孔膜。 金属模板（Pt，Au）利用对 Al2O3 模板的两阶段复型：i) 有机高分子在 Al2O3 孔洞聚合 Al2O3 模板的负复型；ii) 无电金属沉积填满负复型孔洞 Al2O3 模板的正复型（Pt、Au 金属纳米孔洞阵列模板）此外，还有纳米孔洞玻璃、多孔 Si 模板、介孔沸石和 MCM41 分子筛等。2. 模板合

12、成纳米结构阵列的方法和要点 技术要点i) 化学前驱溶液与孔壁是否浸润ii) 在孔洞内的沉积速度不能过快，以防孔洞通道口堵塞iii) 保持模板的稳定性，避免模板参与化学反应。 合成方法（一般为化学方法）i）电化学沉积（电解电镀）适合在 Al2O3 和高分子模板内组装金属和导电高分子的丝、管。模板一面涂上金属膜作为电镀阴极，被组装金属的盐溶液作为电解液，在一定条件下电解、沉积、组装。 控制沉积量，可调节金属丝的长短。 模板孔壁经处理，可使金属在孔壁优先成膜，得到金属纳米管。 对于导电高分子，通过聚合时间的控制，可控制纳米管的壁厚。ii）无电沉积（无电电镀法、无电还原）敏化剂+还原剂 金属在孔内组装

13、得管、丝阵列 孔壁经敏化处理（Sn 2+） ，放入含有 Ag+的溶液，使孔壁被不连续分布的纳米 Ag 覆盖（催化剂） ； 含有还原剂的金属盐溶液，可在敏化的孔壁处还原出金属，金属管壁的厚度由浸泡时间来控制。 可控制管的内径，但不能调节管的长度。iii）化学聚合通过化学或电化学法，使模板孔洞内的单体在一定温度或紫外光下聚合成高聚物的管或丝。Al2O3 模板 聚丙烯腈纳米管阵列 石墨化得到碳纳米管阵列；去模得碳纳米管 聚丙烯腈纳米丝阵列 碳纳米丝阵列 碳管为模板，组装聚丙烯腈管，再组装 Au 丝，得碳/聚丙烯腈/Au 复合丝。iv）溶胶凝胶法Al2O3 模板浸入溶胶中（纳米粒子） ，沉积在孔壁上的

14、溶胶经热处理后形成管或丝（浸泡时间短为管，长为丝） 。v）CVD 法含碳气体（乙烯，丙烯）通过 Al2O3 模板孔洞时发生热解、在孔壁上成膜，得到碳纳米管阵列。应控制沉积速度，避免堵塞孔洞口。管壁厚度取决于气体压力和反应时间。 模板法是合成纳米结构的简单方法，既可以合成阵列体系，又可去掉模板，得到一维的纳米管和纳米丝。五、介孔固体和介孔复合体不仅可使纳米微粒的特性得到充分发挥，还可产生许多新的光、磁、电特性；通过对纳米微粒尺度、表面状态、介孔固体的孔径、孔隙率等进行控制，可调节复合体系的物性。1. 介孔固体具有显著表面效应的多孔固体为介孔固体。国际纯化学及应用化学组织 Internationa

15、l Union of Pure and Applied Chemistry (IUPAC)：微孔（ 1m）固体。根据孔的分布：可分为有序介孔固体（孔在空间呈规则排列）和无序介孔固体。 介孔固体的表征参数孔径：2nm 以上（2-50 nm ）孔径分布：影响不大孔隙率：平均孔径越大，孔隙率也应越大 表面效应显著的判据i）比表面积 S比表面积或与比表面积有关的性质将取决于平均孔径 DP 和孔隙率 P 的大小，孔径分布宽度的影响较之DP、P 对 S 的影响可忽略。ii）表面原子分数（表面原子数与总原子数之比） 0 时，多孔固体具有显著的表面效应，多孔固体定义为介孔固体。 0 为一临界值，大小取决于所研

16、究的具体性能。 一般 0 应大于 20 %，相应于颗粒的直径小于 100nm。2. 介孔复合体(mesoporous composite)根据孔的分布，介孔固体可分为：有序介孔固体（孔在空间呈规则排列）和无序介孔固体；相应的，介孔复合体也分为有序介孔复合体和无序介孔复合体。 有序介孔固体（孔在空间呈规则排列）分子筛（ 孔径 80%） ，纳米颗粒/孔壁间有AgSiO3 界面相形成，573973K 加热又使 AgSiO3 分解。界面相的形成和分解，也表现出可逆的透明/不透明光学转变现象。六、MCM 41 介孔分子筛一种新型有序介孔固体，是分子筛发展史上里程碑式的工作，它将有序的多孔结构从微孔领域（ 2nm） 。1. 微孔分子筛沸石沸石是一种无机硅酸铝晶体，具有可逆吸附脱附，筛分不同大小分子、离子交换能力和表面酸碱性。到 1992 年，已知结构的分子