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1、ICS17.020A52备案号： DB 23黑 龙 江 省 地 方 标 准DB 23/ XXXXXXXXX光学气浮隔微振平台技术基本要求Optical platform with air floating vibration technology basic requirements（报批稿）XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施黑 龙 江 省 质 量 技 术 监 督 局 发 布DB23/ XXXXXXXXXI目次前言 .III1 范围 .12 规范性引用文件 .13 术语和定义 .14 型式与基本参数 .24.1 分类 .24.1.1 控制类型 .24.1.2
2、 平台结构类型 .24.2 基本参数 .24.2.1 供气气源参数 .24.2.2 供电电源参数 .25 技术要求 .25.1 正常工作环境条件要求 .35.2 外观和结构要求 .35.3 固有频率 .35.4 振动传递率 .35.5 平台表面平面度 .35.6 承载 .35.7 平台浮起不感带范围 .35.8 平台浮起稳定时间 .46 检验条件 .47 检验方法 .47.1 外观质量 .47.2 外形尺寸 .47.3 隔振性能指标检验方法 .47.3.1 固有频率检验 .47.3.2 振动传递率： .57.4 平台浮起不感带 .57.5 平台表面平面度 .58 产品出厂检验 .59 标志、包
3、装和使用说明书 .59.1 标志和标签 .59.1.1 每个产品应有铭牌或相当于铭牌的标志，应清晰、牢固地标明下列内容 .69.1.2 所有标志均应规范、清晰和持久 .6DB23/ XXXXXXXXXII9.2 产品使用说明书 .69.3 包装和运输 .69.3.1 包装 .69.3.2 运输 .7DB23/ XXXXXXXXXIII前言本标准编制过程中主要依据GB/T1.1-2009进行。本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。本标准
4、的目的在于帮助读者对光学气浮隔微振平台标准的使用有一个基本了解。本标准提出并定义了用于光学气浮隔微振平台的通用概念。本标准对制造商进行光学气浮隔微振平台特性评价并提出技术要求有指导意义。本标准对制定光学气浮隔微振平台标准有指导作用。在阅读或使用光学气浮隔微振平台标准时应随时参考本标准。本标准由黑龙江省质量技术监督局提出并归口。本标准负责起草单位：哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心。本标准参加起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。本标准主要起草人：谭久彬、王雷、韩正阳。本标准参加起草人：赵勃、崔俊宁、田丰。DB23/ XXXXXXXXX1光学气浮隔微振平台技术基本要求1范围本
5、标准规定了光学气浮隔微振平台的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验方法、标志与包装等。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 23717.1-2009 机械振动与冲击 装有敏感设备建筑物内的振动与冲击 第1部分：测量与评价。GB/T 23717.2-2009 机械振动与冲击 装有敏感设备建筑物内的振动与冲击 第2部分：分级。GB/T 14412-2005 机械振动与冲击 加速度计的机械安装。GB 50463-2008 隔振设计规范。GB/T 2002
6、9仪器、设备用橡胶隔振垫。GB/T 12085.13-2010 光学和光学仪器环境试验方法第13部分：冲击、碰撞或自由跌落与高温、低温综合试验。GB/T 11337-89 平面度误差检测。3术语和定义JJF1001-2011、GB/T 17163-2008 及International vocabulary of metrology-Basic and generalconcepts and associated terms(VIM)中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3.1隔振器 vibration isolator具有衰减振动功能的支承元件。3.2阻尼器 damper能量损耗的方法减小
7、振动幅值的装置。3.3振动传递率 vibration transmissibility在正弦扫描振动时，某一频率下振动系统的输出量（力、位移、速度或加速度）与同量纲的输入量的比值。对于非线性隔振系统还应注明振动输入的量级。3.4固有频率 natural frequencyDB23/ XXXXXXXXX2由系统本身的质量和刚度所决定的频率。3.5平台浮起不感带 non-operation band of air bearing vibration isolation 平台浮起后各支撑点的高度差。4型式与基本参数4.1分类4.1.1控制类型a) 主动控制类型 设备装置中包含有位移执行器、位移传感器、加速度传感器和气压压力计等；控制系统根据平台台面或地面上的振动信号（幅值、速度或加速度）控制位移执行器抑制振动信号。b) 被动控制类型 设备装置中包含有位移传感器和气动元件等，控制系统依据位移传感器控制气动元件给隔振器冲放气，仅实现平台的浮起与落下功能。4.1.2平台结构类型a) 平板型平台台体形状为长方体。b) “T”型平台台体横截面为“T”型结构，如图 1 所示。1平台； 2 空气弹簧隔振器图 1 “T”型隔振平台示意图4.2基本参数4.2.1供气气源参数a) 供气压力范围：0.08MPa 0.90MPa。b) 干燥洁净的压缩空气。4.2.2供电电源参数交流电源
