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1、真空碳管炉说明书型号：ZT-18-22制造商：上海晨华电炉有限公司1用途真空碳管炉是用碳管作发热元件的立式实验用真空电阻炉，炉体与控制柜一体化结构，炉底装料丝杆升降，供金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛中烧结制品。2技术规格21 额定功率： 18KW22 电源电压： 380V 50Hz23 加热器电压： 0-16V24 最高温度： 220025 工作区尺寸： 8010026 极限真空度： 6.67*10-3Pa27 最大充气压力： 0.03MPa28 炉底升降： 丝杆方式29 压升率： 2Pa/h210 冷却水水压： 0.20.4Mpa211 冷却水要求： 水质按 GB1
2、0067.1-88 国标，总硬度 CaO10212 使用要求： 海拔 1000M 以下、环境温度 0-45 度、湿度 15%-85%213 保护气氛： 1800-2200 度高纯氩或高纯氮， 2200 度以上露点60 度的高纯氩3结构简介31 炉体 为立式炉壳，其内层为 304 做成的圆筒，外壳为碳钢。两层之间形成夹套可以通水冷却，将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体，中间开有电极孔、抽气孔、及观察孔等。32 炉体上部是炉盖，它是有内外钢板和法兰焊成，中间可通水冷却炉盖，炉盖与炉体通过螺栓联接，安装发热体与保温层时才打开炉盖。33 炉底部分也是有内外钢板法兰组成，中间通水冷
3、却，与炉体通过丝杆联接，丝杆升降时应平稳上升，特别注意料台要上升平稳与炉底的同心度(可用钼片放在底座不锈钢的间隙中来调节)，防止工件或料台撞坏发热体。炉底在上升到位后应将锁紧装置锁紧，特别是在充气烧结时更应注意。34 炉内隔热屏由碳毡及 1Cr18Ni9 板组成，最内层为石墨管，底部隔热屏由碳毡及 1Cr18Ni9 板组成。隔热层中间是发热体(易损件)，正常使用严禁搬运炉体，如果搬运设备应先拆下发热体。特别炉体电极与发热体处的电极夹头要在首次烧过两炉后应再调紧电极夹头，防止松动，发生短路。35 真空系统由一台 2X-8 机械泵和 TK-100 扩散泵以及真空阀等组成， ，真空阀门为手动蝶阀。真
4、空测量粗真空由热偶真空计测量。有关真空计的使用请参照真空计使用说明书。36 电气系统调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节，也可自动控制， 380V 两相电源经过降压变压器，电压降到 18V，然后经过电缆再送到电极上。温度控制由进口程序控温仪控制等。37 水冷系统冷却水由总管进入，经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方，然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门，可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表，当水压低于 0.1Mp 时，可自动切断加热器。4设备安装41 安装：安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工
5、作场地不易扬起灰尘等。42 检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。43 控制柜安装在相应的地基上，并固定。44 安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。45 检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。46 绝缘电阻应不低于 2 兆欧姆。47 真空电炉各阀门必须在关闭位置。48 控制电源开关放在关位。49 手动调压旋钮逆时针旋动头。410 报警钮放在开位。411 按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水（可用自来水） ，防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。5 设备调试51 按设备平面布置图将设备就位，联接好所有的真空
6、管路、阀门，注意机械泵最好与地面固定或四角垫减震橡胶板减震，检查所有的配件是否与发货清单相符。52 用户应完成水、电、的连接，气泵用户应及时备齐，当使用升降时应调整进气压力，将升降速度调到最慢。53 将有关的外部设施电源线联接好。上电后检查仪表是否显示、机械泵的转向是否正确，热电偶自动进出是否正常，阀门是否正常工作。有条件最好先抽一下真空，等第二天可检查是否有漏气。54 打开炉盖，将保温层放入炉内，调整其高度及对中性，观察炉体周围三个孔的位置是否正确。否则应调整好。55 松开电极压紧装置，取出电极联上石墨电极。试放电极、石墨发热体及保温屏。一切无误后，可加工发热体。安装电极并放置发热体，保温层
7、等应测量其与炉壳的绝缘性，短期试一下手动加温（时间不能太长、功率不宜太大）仪表是否正常。热电偶自动进出是否正常。56 安装完毕后，抽真空，在抽真空前应注意关闭充气阀，等水路接通后可试烧一炉，加热手动/自动升温，温度不低于 1600，加热时间不少于 4 小时。注意：如预先要加热的温度超过 1800，最好充保护气氛加热，这样发热体寿命长。(保护气氛为高纯氩气，氢气)6设备使用61 电炉抽真空：电炉抽真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运转正常后，打开通向炉体的上下小真空阀，对炉体抽气，此阀打开时应缓慢，以免机械泵排气口处有油喷出，之后关闭上部小真空阀，打开大真空阀，真空度很快到 10-1Pa
8、 以下。62 新炉第一次加热因放气较多，真空度容易下跌，另外工件加热放气也使真空下跌，所以要慢慢升温。另外电炉在不用时抽真空状态下保存，下次抽气快些。63 欲停止抽真空，应先关闭真空阀，然后停止加热，关闭真空阀，停止机械泵运转。64 通电前，检查各开关放在（关）位，升温方式“手动” ，功率调节逆时针旋到头（低端） 。65 控制电源开：根据工艺要求顺序来启动机械泵。66 炉内真空度测量 ：根据真空计的操作说明进行，当达到要求的真空度时，才能加热升温。67 手动升温：在炉温 200以下先用手动方式升温，否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮，缓慢调节手动功率调节（顺时针方向） ，使电流慢慢上升
9、，禁止超过次级额定电流 530A，电炉温度随之上升。 1000-1900，可采用红外仪自动控制炉温。68 降温可按预先设定的程序控制降温，也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水，否则炉体密封圈会烧坏。7设备维护71 电炉外表应经常保持整洁，不用时应保持真空，否则下次使用会导致抽真空效率降低。真空炉及真空系统使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂，轴向密封指观察窗挡板座、真空蝶阀等部位，自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。72 真空炉的观察窗玻璃（特别是红外仪用的观察窗）在使用一炉后应卸下清洁。73 如在使用中发现机械泵按下启动按钮后不能正常转动，一般是
10、电动机过载保护了，可打开控制柜观察热保护器是否过载保护，如自动保护了，则按RESET 按钮解除，再启动机械泵就正常了。74 用户应自备坩埚，为提高烧结温度的准确性，坩埚底部最好用 5-10mm高的石墨块垫高坩埚。75 红外仪工作时应调整其发射率，温控仪表及红外仪使用一年后应送交厂家校对。8使用中常见故障及排除方法常见故障 可能原因 排除方法 备注真空抽不上但不漏气（指真空表长时间数值不动） 。1 低真空规管工作电流不正确。2 机械泵油老化3 充气阀未关闭1 调整真空规管工作电流。2 更换机械泵油3 关闭充气阀在充气烧结时才打开充气阀热电偶自动进出失灵，报警灯报警1 内、外限位失灵。2 进出电机
11、不转。1 调整或更换内外限位装置。2 测试电机是否己坏，如坏更换同一型号的电机。电炉加温前应观察内限位指示灯是否亮，应亮着。使用一段时间后温度升不上去加热器电阻值变大。1 根据仪表说明书调大仪表输出功率。2 严重老化只能更换新的加热器控制柜面板上的过流指示灯亮着并报警。加热器有短路 1打开炉盖观察加热器是否有短路，排除故障。超温报警灯亮着并报警1炉温超温2仪表设定有误按说明书重设超温报警参数断水指示灯亮着并报警1没打开水阀2水压过低1打开水阀2调高水压以上是常见故障，当然有些故障在控制柜面板上分类报警灯己提供指示。如自行不能排除请联系我们。9特别提醒91 热电偶为钨铼型，使用过会发脆，不能接触。如损坏应及时更换。其型号是 W2 型。92 冬天应注意循环水的保暖问题，否则易发生水管爆裂。93 使用后炉体应保持真空，因炉内保温层易受潮，保真空这样下次抽真空会快些。94 石墨发热体较脆，放置坩埚及拆卸保温层时应小心，否则会损坏发热体。95 本设备较复杂，建议专人使用，专人负责，对新手严格实行用前培训，用后检查，操作使用要有记录等设备使用规定。设备制造商：上海晨华电炉有限公司电话：021-69595342，69595347，69596387传真：021-69596938，地址：上海市嘉定区黄渡工业园区春浓路 278 号
