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無塵室(Clean Room) 的級數標準規格無塵室又稱潔淨室，是將一定空間範圍內空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等之污染物控制在一定的數量內。無塵室的等級是以一立方英呎含有多少大於0.5um 的微塵粒子來定義的。下表是根據美國聯邦標準 209D 規格定義的無塵室級數。一般人大概很難了解 Micron (微米，u) 的大小，這裡有一些實際的比較可以讓你更進一步的了解 Micron (u) 的大小。 一個細菌大約有 2 um 大。 一個香菸的煙霧顆粒大約有 5 um 大。 一顆紅血球大約有 8 um 大。 一顆白血球大約有 25 um 大。 一個花粉大約有 30 um 大。 一根成人的頭髮的直徑大約有 80 um 大。 微塵污染的來源根據統計，無塵室中的微塵污染來源大部分來自於【人】。比如說人員進入無塵室，灰塵沾附於衣服上順便帶進無塵室，還有人體皮膚的角質層掉落等等。所以嚴格管控無塵衣的穿著的正確性，以及人員進出無塵室時的清潔度就非常重要。 另外，吸完煙者需等三十分鐘以上才能進無塵室，因為香菸的顆粒有 5 微米，而且剛完吸菸者所產生的微塵為非吸煙者的 90 倍，經過三十分鐘後才降為 15 倍。
