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1、上海大学公开邀请招标购置 “金属及合金薄膜用磁控溅射设备”的公告招标编号：SDSB-14002根据中华人民共和国政府采购法 上海市政府采购招标暂行办法和上海大学仪器设备招、投标管理办法 ，上海大学材料科学与工程学院 先进无机材料制备工艺教研室因教学、科研发展需要，现公开邀请招标采购金属及合金薄膜用磁控溅射设备。一、 设备需求1. 设备名称： 金属及合金薄膜用磁控溅射设备。2. 技术要求：2.1 设备功能：射频溅射、直流溅射、垂直溅射、斜靶共溅射、全自动控制。2.2.样品反溅清洗：样品台可加负偏压，进行样品反溅预清洗及辅助沉积。2.3.真空获得及真空隔断系统：2.3.1.极限真空度：910 -5
2、Pa；*2.3.2.溅射室： 600 升/秒分子泵、进口真空机械泵，150mm 口径插板阀；*2.3.3.溅射室带有恒压控制能力，配有进口可在工作状态在线测量的进口真空规及压力调节阀。靶基距可调，可调范围 60-100mm。2.4.电源系统：*2.4.1.射频电源：600W 射频电源及自动匹配器 1 套，必须为进口产品；2.4.2.直流电源：1000W 直流电源 1 台；2.4.3.偏压电源：-100V -800V 连续可调直流脉冲电源 1 台。2.5.气路系统：配有 2 台质量控制器，控制 Ar、O 2独立进气。2.6.加热系统：共溅射工位样品加热温度600；一个直溅射工位样品加热温度300
3、。2.7.工件台及样品尺寸:*2.7.1.样品台可放置 6 英寸 1 片或 2 英寸样片 6 片；*2.7.2.垂直溅射、共溅射模式的工件盘为一个整体工件盘，不采用两个工件盘互换安装方式。工件台可自转，转速可调 0-30rpm 可调。*2.8.溅射均匀性：在 4 英寸范围内，溅射膜厚均匀性5%。2.9.功率加载控制：提供电源功率的梯形、分段线性耦合加载控制模式。2.10.提供膜厚仪接口。2.11.控制系统：采用全自动控制方式。控制单元须采用进口 PLC；控制软件运行在工业控制计算机上，采用触摸屏操作。带有安全保护手段。3. 主机、附件详细清单3. 1、金属及合金薄膜用磁控溅射设备 2 台4.
4、易损、易耗件清单和价格表请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表，并承诺在质保期后3 年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件。二 . 投 标 方 资 质 要 求 ：1、 符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币 100 万元（含 100 万元）以上。3、投标方须有完善的质量管理体系及详细说明（如果有的话） 。三、设备报价1. 报价单位应根据设备需求的规定进行报价，其报价在采购过程中是不可以改变的（除非买方对设备提出新的要求） 。2. 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价。
5、报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价。3. 进行报价的设备必须同时附设备图样，主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料。4. 报价以人民币报价。四、交货时间中标厂商须在合同签约之日起 90 天内保质保量交付所有设备和附件。五、验收方式：设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，在系统整体调试完成后，买方认为合格后，签订系统安装验收报告。卖方应在设备到货前一个月，对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。验收一般应在二周之内完成，超过视作延期交货。延期多少
6、天，相应地质保期延长延期天数的三倍（双方另有约定除外） 。六、付款方式：设备到后付 90%，验收合格后付 10%。七、质量保证与售后服务1. 质保期为自用户签署最终验收报告之日起 24 个月，在质保期间出现故障，供货商在接收到用户通知后于 1 小时以内予以回应、提出解决方案，4 小时内维修人员到场，72 小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外） 。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的 3 倍。同时，提供软件免费升级。2. 货
7、物到达学校后 7 天内由卖方负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供货方自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员 35 人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供货方公司专职技术人员，不得派出学生或供货方用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。3. 卖方根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。投标方提供详细的中文操作、维护指南。4. 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。八、供货方式：中标单位与上海大学按招标文件规
8、定签订购货合同，国产设备卖方根据买方提供的使用单位名称、地址以及设备品种、数量和时间等，按时送货到指定实验室，并根据使用单位的要求调试合格，送货等费用应包含在报价中。九、投标人须知1. 投标方应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。2. 投标方应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我处不接受不确定报价。3. 投标方应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。4. 投标报价中标明的价格或在议标后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非招标方对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更
9、。5. 投标方应在投标文件中注明投标货物的交货期，交货期超过招标方可接受时间范围的投标将视为非响应性投标。6. 带“*”的技术要求（参数）必须满足，否则不与中标。若投标人少于二家，则中标人的投标价不做最终价。若中标人的投标价超出本次的设备经费预算，发标人有取消本次招标采购的权利。质保期的年限要求必须满足，否则以废标论处。7. 投标方如对技术要求有质疑，须在开标日前三天以书面报告给招标人，招标人可作修改，也可不作修改。如作修改，招标人将以公告形式在网上公示。十、投标书内容及要求投标单位提供加盖公章的投标书正本一份，副本三份。 （投标方应将投标文件正本和副本分别用信封密封，并标明招标编号、投标货物
10、名称、投标单位名称及正本或副本。如果投标文件通过邮寄递交，投标方应将投标文件用内、外两层信封密封。并在外层标明招标编号、投标货物名称、投标单位名称）投标书应包含以下内容：1. 投标书（见附件 1） 、投标一览表（见附件 3） 、投标分项明细表（见附件 5） 、偏离表（见附件 7） ，投标设备样本资料。2. 投标方资质文件、资格证明（法人代表授权书（见附件 8） 、营业执照复印件、税务登记证明复印件、原生产厂商授权书正本及复印件、制造厂家资格声明、贸易公司资格声明（如果有的话）等） 。3质量、服务保证承诺书、备品备件、易损、易耗件清单和价格表等。4. 法人代表授权书（见附件 8） 、营业执照复印
11、件、税务登记证明复印件、原生产厂商授权书（如果有的话） ，除装订在标书外还需另外再单独用小信封密封一份（与标书分开） ，以备投标前查验，符合的接受投标。（注：具体附件下载详见网页：http:/ 投标单位请在 2014 年 3 月 11 日下午 14：30 前将标书送达上海大学招投标科(请提前20 分钟提交标书,便于做好开标准备工作） 。（地址：上海市延长路 149 号北大楼 105 室，邮编 200072）2. 开标时间：与投标截止时间相同3. 开标地址：上海市延长路 149 号北大楼会议室开标当场核验参加开标会议的投标人授权代表的授权委托书和有效身份证，确认授权代表的有效性，法定代表人出席开
12、标会的要出示其有效证件。十二、评审费中标供应商需支付专家评审费 1800.00 元十三、评审结果通知组织专家评审小组进行评审，本次招标采用“百分制评标法” （投标单位三家及以上） 。满分 100 分，其中技术部分 65 分，商务部分 35 分。评审结果在上海大学网站上公示(上海大学主页实验设备处招投标中标通知)注：本招标书的内容与要求的解释权归上海大学招投标科联系地址：上海市延长路 149 号北大楼 105 室邮编： 200072联系人： 曹 兰 电话：021-56333478徐春生 电话：021-56333478技术要求联系人：陈宏飞电话：13816939419 上海大学招投标科2014-2-24
