有毒气体特性介绍MSDS培训大纲1. 各模块使用特气情况2. 气体化学性质分类3. 特气供应系统4. 特气报警系统5. 车间特气泄漏应急处理6. 员工安全注意事项各模块使用特气情况扩散 HCL注入 ASH3 BF3 PH3 Ar刻蚀 CL2 HBr SF6 C2F6 CHF3 CF4 He Ar 溅射 ArLPCVDPECVD15%PH3/SIH4 SIH4 NH3 N2O BCL3 C2F6 HCL SIH2CL2 气体化学性质分类类别 特气名称毒性 15%PH3/SIH4 SIH4 SIH2CL2 NH3 ASH3 PH3 HCL HBr CL2 BCL3 BF3 易燃易爆性 15%PH3/SIH4 SIH4 SIH2CL2 NH3 ASH3 PH3助燃性 CL2 N2O腐蚀性 HCL HBr CL2 BCL3 BF3 SIH2CL2 NH3无毒/窒息性 SF6 CF4 CHF3 C2F6 He Ar N2O特气供应系特气钢瓶装入特气柜中,通过特气柜降压、过滤后送至车间内的 VMB/VMP(有毒气体使用 VMB,无毒气体使用 VMP).特气进入 VMB/VMP 后根据设备所需压力多少再次进行降压使得达到设备所需压力.最后,经降压后的特气分成若干支路送入对应设备.特气报警系统对于毒性气体,设备上有毒特气都安装有特气报警器,每模块都装有一个声光报警器.正常情况下，特气报警器上显示器显示为”0”,声光报警器上无报警音发出.监控室安装有特气报警控制系统,报警系统的各个检测点与设备是一一对应.如果发生特气泄漏报警,除了对应模块的声光报警器发出报警,还有监控室也会发生报警.另外特气值班人员每隔一段时间对特气报警系统进行检查,看是否有异常现象.特气泄漏紧急处理步骤1、当车间发生特气泄漏报警时，特气处理人员应立即进入该泄漏区域查看是否特气泄漏。
2、若发生特气泄漏，查看泄漏浓度大小确定是否需要全厂撤离或区域撤离3、若需要进行人员撤离，立即通知广播处等候人员进行广播4、听到广播要求撤离时，车间主任、各模块负责人因立即组织人员进行撤离撤离到安全区域时清点人数确认后向上级领导汇报5、撤离人员尽量用湿巾类似物质捂住口鼻进行撤离6、处理人员穿戴好防护用品进入现场进行处理7、处理完成后过半小时以上方可通知人员进入车间车间设备特气泄漏应急处理当模块设备有毒气体发生泄漏，特气报警系统立即发出警报音并显示哪台设备哪种气体泄漏，特气人员立即通知设备人员进行处理确认设备停止运行后，当班设备人员立即穿戴好空气呼吸器等防护用品关闭设备端特气供应阀门,打开 N2 阀门进行吹扫和稀释吹扫和稀释完成后，模块设备人员进行修复修复完成后保压 12H 以上保压无异常后方可供气，供气后对该特气所有管路接头处进行检测，确认无异常后方可作业以上应急处理，特气人员与模块设备人员进行配合，帮助设备人员进行处理对于车间内特气供应区域声光报警器发生报警时,由特气人员进行处理.但需对应模块人员进行配合.员工安全注意事项1.车间内特气供应气柜和设备内部特气阀门不能随意乱动.2.发生特气泄漏时,不要惊慌失措,尽量用湿毛巾类似物质捂住口鼻,听从安排进行撤离.3. 建议设备人员对设备内部特气管路定期进行检查和检测,尤其是腐蚀性气体和烷类气体.4. 每位员工需要正确、合理使用防护用品. 氨 气 （ Ｎ Ｈ ３ ） 比 重(对 空 气 )：０．６ 形 态 无 色 气 体 气 味 ：刺 激 味 爆 炸 范 围 15.0～ 28.0％ 容 许 范 围 ：２５ｐｍ 人 体 危 害 长 时 间 吸 入 引 发 眼 睛 、 支 气 管 、 肺粘 膜 的 炎 症 。
操 作 注 意 ：在 通 风 良 好 的 条 件 下 ， 远 离 火 源 氯 气 （ Ｃ Ｌ ２ ） 比 重(对 空 气 )：．４７ 形 态 黄 色 （气 体 ）、橙 色 （液 体 ） 气 味 ：刺 激 性 气 味 爆 炸 范 围 无 （助 燃 性 ） 容 许 浓 度 ：０．５ｐｍ 人 体 危 害 15～ 35pm刺 激 喉 、40～ 60pm /0～ 60分 危 险 1几 次 的 呼 吸 可 致 命 操 作 注 意 ：钢 瓶 周 围 不 放 置 易 燃 、 易 爆 品 磷 烷 （ Ｐ Ｈ ３ ） 比 重 (对 空 气 ) :１．８ 状 态 ：无 色 ・气 体 气 味 腐 烂 的 鱼 味 爆 炸 范 围 ：1.32～ 98.0% 容 许 浓 度 ０．３ｐｍ 人 体 危 害 ：头 痛 、贫 血 、 食 欲 不 振 呼 吸 困 难 腹 泻 、痉 挛 操 作 注 意 事 项 ：在 通 风 良 好 的 情 况 下 使 用 、 远 离 火 源 。
砷 烷 （ Ａ ｓ Ｈ ３ ） 比 重 （对 空 气 ）：２．６９ 形 态 无 色 ・气 体 气 味 ：大 蒜 气 味 爆 炸 范 围 5.1～ 78% 容 许 浓 度 ：０．５ｐｍ 人 体 影 响 破 坏 红 血 球 、尿 蛋 白 头 痛 、呕 吐 呼 吸 困 难 操 作 注 意 事 项 ：在 通 风 良 好 的 条 件 下 使 用 、 三 氟 化 氮 （ Ｎ Ｆ ３ ） 比 重 (对 空 气 )：２．４６ 形 态 无 色 气 体 气 味 ：无 爆 炸 范 围 无 （助 燃 性 ） 容 许 浓 度 ：１０ｐｍ 人 体 危 害 形 成 变 异 血 红 蛋 白 影 响 血 液 带 氧 能力 ， 导 致 头 晕 、恶 心 操 作 注 意 ：周 围 不 放 置 易 燃 性 、 自 燃 性 、 可 燃性 物 质 三 氟 化 硼 （ Ｂ Ｆ ３ ） 比 重 (对 空 气 )：２．３７ 形 态 无 色 气 体 气 味 ：刺 激 性 气 味 爆 炸 范 围无 容 许 浓 度 ：１ｐｍ 人 体 危 害 刺 激 皮 肤 、 眼 睛 、气 管 ， 引 发 肺 水肿 、 肝 炎 、 大 脑 神 经 、 心 脏 、 肝脏 、 肾 脏 、 骨 、 齿 、 胃 肠 障 碍 。
操 作 注 意 事 项 ： 操 作 时 务 必 穿 戴 防 护 用 品 二 氯 氢 硅 （ Ｓ ｉ Ｈ ２ Ｃ Ｌ ２ ） 比 重(对 空 气 )：３．５２形 态 无 色 气 体 气 味 ：刺 激 性 爆 炸 范 围 4.1～ 98% 容 许 浓 度 ：５ｐｍ（HCL） 人 体 危 害 刺 激 眼 鼻 喉 、喉 部 痉 挛 、引 发 支 气管 炎 操 作 注 意 ：避 免 与 水 接 触 、火 源 附 近 严 禁 使 用 三 氯 化 硼 （ Ｂ Ｃ Ｌ ３ ） 比 重(对 空 气 )：４．１２ 形 态 无 色 液 体 气 味 ：干 草 相 似 的 刺 激 味 爆 炸 范 围 不 燃 性 容 许 浓 度 ：５ｐｍ（ＨＣＬ） 对 人 体 危 害 与 氯 化 氢 相 同 ， 刺 激 上 呼 吸 道 、 眼睛 、 皮 肤 ， 灼 伤 粘 膜 操 作 注 意 ：腐 蚀 宜 受 潮 金 属 ， 务 必 在 干 燥 条 件下 使 用 。