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1、分裂器械和消气剂的综合泵复合泵结构所示（SIP+NEG ）复合泵所用的 SIP 为北京科仪厂的商用 200L/s 二极泵。阳极组件和阴极均在 500 真空除气约 24h.该泵极限真空为 1110-8Pa.在 SIP 的抽气法兰连接管内侧焊接螺钉，用于悬挂和固定 NEG 组件，组件正好占领 SIP 中心空腔。在连接管上增开一个法兰孔，安装电极引线法兰，为 NEG 组件加热供电和引出贴在 NEG 带上的热电偶的信号。组件复合泵采用了意大利 SAES 公司的 NEG 组件WP1250（St707 ） 。组件由 St707/CTAM30D 吸气剂带折叠成型，带的展开长度 3m，带宽 30mm，基带为
2、02mm 厚的康铜带，二面各辗涂厚度约 007mm 的一层吸气剂粉，吸气剂带总厚度约 035mm，涂层宽度 27mm，组件含吸气剂总量约 70g，单面单位面积吸气剂约40mg/cm2，吸气剂带的电阻约 90m/m，WP1250 组件电阻 014，组件总重量约 460g.暴露过大气的 NEG，表面和高密度活性气体分子化合，生成钝化层，阻挡气体分子和 NEG 的进一步反应，NEG 失去抽气作用。为此，必须在真空中加热激活 NEG，使表面化合物层中的气体分子扩散进 NEG 体内，使表面层新鲜，恢复抽气性能。NEG 在室温时对 H2、CO、CO2、N2、O2、H2O 等气体都有相当高的抽速。 NEG的
3、一个显著特点是抽速不随气体压强而变，但随吸气量的增加而下降。当抽速降至一定值，不能维持系统所要求的抽速和真空度时，表明 NEG 已饱和，即体内的 H2 浓度较高或表面已被 H2 以外的活性气体所钝化。这时也须对 NEG 加热再生，使体内的 H2 向体外扩散释放，同时使表面钝化层内的 H2 以外的活性气体向体内扩散。释放的 H2 应由 SIP 或分子泵抽除。对 St707，推荐的激活和再生方式为 450、加热 45min.激活再生后的 NEG 能恢复初始抽气性能，但抽速可能略有下降。NEG 允许多次激活再生，只要尽量减少 NEG暴露大气的次数，并主要利用 NEG 在 UHV 条件下的高抽速特点，
4、NEG 的寿命是相当长的。NEG 激活再生的加热方式加热 NEG 的方法有多种。一是对整个复合泵烘烤。主要问题是温度超过 350 时，SIP 的磁铁发生不可逆的退磁，SIP 工作失败。如烘烤温度较低，则加热时间长，且NEG 可能不被完全激活。二是只对复合泵内的 NEG 带直接通电加热或用加热元件加热，SIP 不烘烤，受 NEG 的热辐射，泵的局部温度可能高于室温。该法采用较高温度、较短时间组合，如 500、10min 就可完全激活 St707.由于 NEG 带电阻小，温度要高，故加热电流要大，电极引线要粗，组件结构和安装的电稳定性要可靠。采用较低温度较长时间组合，如 SAES 公司推荐的450、45min，可减小加热电流和电源功率。三是 SIP 烘烤后期对 NEG 通电加热。该法既使 NEG 利用了泵的烘烤热量，又进一步减少 NEG 的热辐射损耗，可降低 NEG 的加热电流，缩小电源和电极引线直径。同时，较高温度的 SIP 内壁减少了对 NEG 放出气体的吸附，分子泵可以更有效地抽除放气，减少 SIP 的抽 H2 量，有利于延长 SIP 阴极寿命，也有利于系统真空度提高。
