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1、 毕业设计（论文）题目： 柔性氧化锌铝透明导电薄膜电学稳定性改进方法研究 学 院： 光 电学院 专 业： 光信息科学与技术 班 级： 01440702 姓 名： 黄凯凯 指导教师： 喻志农 北京理工大学本科生毕业设计（论文） - 1 - 摘 要 氧化锌铝（ AZO）薄膜具有宽带隙、光透过率高以及优异的导电性能，使其在太阳能电池、平板显示、热镜、电磁屏蔽、气敏传感器以及电致变色等方面都发挥其透明导电的特性。由于 AZO 透明导电薄膜具有十分优异的光电性能而被广泛应用于各种光电器件中，例如平板显示终端、太阳能电池等等。 本课题 采用射频磁控溅射法制备了 Al 掺杂 Zn（ AZO）薄膜，研究了真空
2、 、空气和氮气环境下 退火对其组织结构和光电性能的影响规律。 并且研究 讨论 了退火对相同环境不同 的 AZO 薄膜的组织结构 、 光 学 性能 和电学性能 的影响规律。 结构表明，最佳制备条件 为：溅射功率为 400W，溅射气体仅为氩气（ 0.5Pa）。 关键词： AZO，透明导电薄膜，磁控溅射，透射率，电阻率 , 柔性沉底 北京理工大学本科生毕业设计（论文） - 2 - Abstract AZO films are of interest for various applications such as transparent electrodes for solar cells and
3、displays, surface acoustic wave devices (SAM), acousto-optic devices, window coatings and gas sensors. It has wide band gaps, good electrical and optical properties. As AZO transparent conductive film has very good optical performance and is widely used in various optoelectronic devices, such as fla
4、t panel display terminals, solar cells, and so on . Al-doped ZnO (ZAO) thin films were prepared by RF magnetron sputtering and followed by vacuum、 air and nitrogen annealing for different time. And the effect of annealing processes on the optical and electrical properties of different AZO films in t
5、he same atmosphere were discussed in detail .The results show that the best sample is fabricated at room temperature with the following preparation conditions : sputtering power of 400 W , sputtering with only argon gas(0.5Pa) . Key Words： AZO, Transparent conducting oxide (TCO), Magnetron sputterin
6、g, Transmittance, Resistivity， Flexible substrate北京理工大学本科生毕业设计（论文） - 1 - 目 录 摘 要 . - 1 - Abstract . - 2 - 第 1 章 引 言 . - 1 - 1.1 应用背景 . - 1 - 1.2 薄膜研究概述 . - 2 - 1.2.1 透明导电薄膜的概述 . - 2 - 1.2.2 透明导电氧化物薄膜的种类和特点 . - 2 - 1.2.3 透明导电薄膜的应用 . - 3 - 1.3 AZO 薄膜的制备方法 . - 5 - 1.3.1 化学气相沉积法 ( CVD) . - 5 - 1.3.2 物理气
7、相沉积 ( PVD ) 法 . - 5 - 1.3.3 溶胶 凝胶法 ( Sol - Gel) . - 6 - 1.3.4 脉冲激光沉积法 ( PLD ) . - 6 - 1.3.5 喷雾热解法 ( Spray pyrolysis) . - 7 - 1.4 国内外研究成果 . - 7 - 第 2 章 AZO 薄膜的理论分析及应用 . - 8 - 2.1 ZnO： Al 薄膜的结构 . - 8 - 2.2 ZnO： Al 薄膜的光电特性 . - 9 - 2.3 薄膜的应用 . - 11 - 2.3.1 氧化锌类薄膜透明导电性质的应用 . - 11 - 2.3.2 氧化锌薄膜压电性质的应用 . - 12 - 2.3.3 缓冲层 . - 13 - 2.3.4 发光器件 . - 13 - 2.3.5 氧化锌薄膜气敏和湿敏性质的应用 . - 13 - 2.3.6 压敏电阻 . - 14 - 2.4 ZAO 薄膜的应用 . - 14 - 2.5 AZO 膜的发展展望 .
