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1、 SJ6000 激光干涉仪 产品 解决 方案 目录 1. 简介 . - 1 - 1.1. 产品简介 . - 1 - 1.2. 产品配置 . - 2 - 2. 静态测量 . - 3 - 2.1. 线性测量 . - 3 - 2.2. 角度测量 . - 7 - 2.3. 直线度测量 . - 9 - 2.4. 平行度测量 . - 11 - 2.5. 垂直度测量 . - 13 - 2.6. 平面度测量 . - 14 - 2.7. 回转轴测量 . - 16 - 3. 动态测量 . - 17 - 3.1. 动态测量概述 . - 17 - 3.2. 动态测量应用 . - 18 - 4. 产品功能特点 . -
2、20 - 5. 技术指标 . - 22 - 6. 配件与证书 . - 25 - SJ6000 激光干涉仪 - 1 - 1. 简介 1.1. 产品简介 激光干涉仪 以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且 可以 溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000 激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体 ， 产品 采用 进口高性能 氦氖激光器，其寿命可达 50000 小时； 采用 激光双纵模热稳频技术 ， 可实现高精度、 抗干扰能力强、长期稳定性好的激光 频率 输出； 采用高速 干涉信号 采集、调理及细分技术，可实现最高 4m/s 的测量速度
3、，以及纳米级的分辨率；采用 高精度环境补偿模块 ，可实现激光波长和材料的自动补偿； 采用 高性能计算机控制系统 及软件技术， 支持中文、英文和俄文语言， 友好的人机界面、向导式的操作流程 、 简洁 化的记录管理 。 SJ6000 激光干涉仪外观图 SJ6000 激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大 、 测量速度快、最高测速下分辨率高等优点 ，结合 不同的光学 镜组 ， 可 实现线性 测长 、角度 、 直线度、垂直度、平行度 、 平面度等几何 参量 的 高精度 测量 。 在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件 配合下 ，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量 与性能检测 ，以及进行位移、速度、
4、加速度 、振幅与 频率的动态分析 ，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 SJ6000 激光干涉仪 - 2 - 1.2. 产品配置 SJ6000 激光干涉仪系统具有丰富的 模块化 组件 ， 可 根据具体测量需求 而 选择不同 的 组件。主要 镜组 如 下图 所列 ，依次为 线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜 组、自动精密转台 。 主要 镜组 图 其中， 线性镜组 为标配， 由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。 可 满足 线性位移 设备的定位精度、重复定位精度 、反向间隙的测量 与分析， 以及 反向间隙修正和螺距补偿 。 SJ6000 激光干涉仪
5、- 3 - 2. 静态测量 2.1. 线性测量 线性测量原理 迈克尔 逊干涉原理 线性测量 的光路 原理 构建 图 (1) 从 SJ6000 激光干涉仪主机 出射 的激光束 （圆偏振光） 通过 分光镜 后 ， 将分成两束激光（线偏振光） ； (2) 两束 激光 分别 经由角锥反射镜 A 和角锥反射镜 B 反射后 平行于出射光 （红色线条） 返回，通过 分光镜 后 进行 叠加， 由于 两束 激光 频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足 干涉条件； (3) 角锥反射镜 B 每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以 激光 半波长 。 线性测量配置 及使
6、用方法 线性测量 （线性轴位置精度测量的简称） 配置主要由 SJ6000 主机、 EC20 环境补偿单元、线性 镜组、 SJ6000 静态 测量软件 等组件构成 ，可满足 080m 范围 内的 线性 测量 。 其中，线性测量包括 定位精度 测量 、重复定位精度 测量和 设备反向间隙 测量等 。 SJ6000 激光干涉仪 - 4 - 线性镜组 可以针对不同方向的运动轴而 搭建 相应 的 测量光路，如下图： 水平轴的线性测量 示意图 垂直轴的线性测量 示意图 SJ6000 静态测量软件可以将 线性 测量结果生成 指定的 误差补偿表，该表涵盖了各个 测量 点的补偿值 ， 运动控制系统 制造商 允许通
7、过 修改指 定运动 轴的补偿值来消除 该运动轴 的 位置 误差 ，精确的 补偿，可以 有效地降低运动轴的位置误差 。 线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供 SJ6000 测量软件进行当前点的数据采集。 线性测量 应用 SJ6000 激光干涉仪 广泛应 用于 机床、三坐标、机器人、 3D 打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器 等领域 的 线性测量 。 SJ6000 激光干涉仪 - 5 - 机床 线性导轨 三坐标 激光切割机 线性测量 附件 轻型线性 镜组 特殊场合的应用 轻型线性 镜组包括缩光镜和 小角锥反射镜 ，其中 小角锥反射镜 的 重量仅为 8g，可以直接吸附 在被测物体 上，最大限度 地 降低 线性反射镜的 重量影响。 轻型线性 镜组的 光路 原理构建图
