e:/fileroot01/2017-7\24\c8779f9f-2e1b-425f-8621-cc1369805d50\96cd9b62d0c1032723ef450ed51ad49d.pdf1ME 事故 調查報告書 文件編號:文件傳送和做成.審核.批准收件 1#PLAT/QA(品保部)/1#LAB 作成 胡雄輝 2007/9/12抄送 高生、肖生、鄧生、鄧、張經理 審核FAX 批准 文件核心內容描述事故主題 2#PTIN 改平板后生產板孔內無銅原因調查責任部門 1#PLAT事故描述現狀：2#PTIN 線改平板生產 FB-8137/8242/7414 等系例板出現批量次孔內無銅及孔壁破洞，如下列圖片：原因調查1> 問題產生原因分析:a> 從微觀切片觀察，問題孔主要表現為個別孔整孔無銅，個別孔同時出孔口與孔中破洞，且每塊板表現為多孔無銅，經與沉銅孔內無洞圖片對比其表現不一致，沉銅孔無銅一般主要表現的孔中呈中間對稱的無銅，而此次孔無銅則為整個無銅或孔口無銅，因此可判斷此次批量孔無銅與沉銅無關，焦點可鎖定為 2#PTIN 的影響b> 2#PTIN 產生孔無銅可能原因分析：一> 為前處理（除油劑）的影響，除油劑受到污染其蝕銅量大;因沉銅的沉積厚度僅為 0.3~0.5um 左右，從而易被咬蝕掉二> 生產板進入銅缸后，由于整流機故障或生產飛巴未入銅座等原因導致生產飛巴 2~5MIN 無電流，加上沉銅后的板沉積銅較薄，在銅缸极易被咬蝕掉2> 產生原因調查：調查一：23/8 日生產板現孔無銅后，ME 對除油槽微蝕量檢測：結果其微蝕量為0.04um,同時取一塊沉積速率試板經正常沉銅后在除油缸浸泡一個 CYCLE,再分析其沉銅厚度為 0.26um,說明其蝕銅量并不大，調查二：對整流機的檢測與操作方面檢測觀察,只發現 4#銅缸 2#整流機電流顯示異常，實測為 0A，當設定電流 205A 時無電流，當設定電流 206A 時則正常，同時ME 試板 80 塊，16 塊/每塊，結果檢查并未發現孔無銅問題，產生原因一度死結e:/fileroot01/2017-7\24\c8779f9f-2e1b-425f-8621-cc1369805d50\96cd9b62d0c1032723ef450ed51ad49d.pdf原因調查調查三：生產維護后，28/8 生產把抗氧化槽藥水 0.5%的稀硫酸換成 1G/L 的檸蒙酸，生產早班批量做板，早班發現 7 塊孔無銅，在此過程生產中，行車故障頻頻，引生孔無銅原因依然不明朗，直至晚班生產 fb-8137 時再次批量爆發孔無銅，共計 104 塊，生產不得不停產調查四：29/8 為了由了查找孔無銅真正原因，與生產協商， ME 主導批量試板跟進，連續不間斷跟進几個 CYCLE,并且每個銅缸的板分幵檢查，同時對行車故障，板在除油槽及預浸槽作標識，結果生產第二個 CYCLE 時，行車出現翻車，除油槽與預浸槽各有一架生產板，其停留時間約 10MIN 左右,此兩缸板進入銅缸分別在 5#CU 缸和 4#CU 缸，電鍍后下架分缸檢查發現停留在除油槽時間長的進入 5#銅缸的那架板 16 塊 100%孔無銅，而在預浸槽停留長的進入 4#銅缸一架板并未發現孔無銅，因此焦點鎖定為除油槽的影響較大調查五：30/8 為進一步確認除油槽影響：a> 分別取 2#PTIN 與 1#PANEL 除油劑 S2 樣品標號 “1” “2”送 ATO 分析，看是不否受到 NO3- 的污染，結果樣品“1”含有 NO3- 55ppm,見 ATO 測試報告b> 取沉好銅同型號的板在 2#PTIN 除油槽分別浸泡 5MIN/10MIN/20MIN 后，作背光測試，同時在 1#PANEL 一塊浸泡 20 分鐘，同樣作背光測試 ;結果：生產線 浸泡時間 背光級別5min 95%10min 40~50%2#PTIN20min 20~30%1#PANEL 20min 95%下例圖片為 2#PTINB 除油槽浸泡不同時間的圖片 5MIN 10MIN 20MIN結論:通過調查四、五結果可斷定引起此次 2#PTIN 生產板孔內無銅及孔壁破洞原因是除油槽除油劑 S2 受污染蝕銅量大引起改善行動后續生產跟進：1> 2#PTIN 線停產，除油槽安排清缸處理（已執行） ，同時 ME 跟時后續生產品質2> 對挂具有破損現象，生產禁止使用，以免破損挂具藏硝酸藥水，污染除油缸及銅缸3> 維修對整流機進行全面檢修校正備注。