《传感器与检测技术5.3 压电式传感器》由会员分享，可在线阅读，更多相关《传感器与检测技术5.3 压电式传感器（32页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、,5.3 压电式传感器,5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器,5.3.1 压电式传感器的工作原理,电势型传感器 以压电效应为基础压电效应可逆 “双向传感器”正压电效应 加力 变形 产生电荷逆压电效应 施加电场 电介质产生变形 应力 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。,1. 石英晶体的压电效应,X轴：电轴或1轴；Y轴：机械轴或2轴；Z轴：光轴或3轴。,“纵向压电效应”：沿电轴（X轴）方向的力作用下产生电荷“横向压电效应”：沿机械轴（Y轴）方向的力作用下产生电荷在光轴（Z轴）方向时则不产生压电效应。,
2、晶体切片,当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷,d11压电系数（C/N）,作用力是沿着机械轴方向电荷仍在与X轴垂直的平面,切片上电荷的符号与受力方向的关系,图（a）是在X轴方向受压力，图（b）是在X轴方向受拉力，图（c）是在Y轴方向受压力，图（d）是在Y轴方向受拉力。,石英晶体的压电效应,（a）正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。（b）在X轴方向压缩，表面A上呈现负电荷、B表面呈现正电荷。（c）沿Y轴方向压缩，在A和B表面上分别呈现正电荷和负电荷,石英晶体,一种天然晶体，压电系数d112.311012C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750、膨胀系数仅为钢的1/30。
3、优点： 转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550（压电系数不随温度变化而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。,2. 压电陶瓷的压电效应,人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。,压电陶瓷的极化,陶瓷片极化,压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图,自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用，因此陶瓷片对外不表现极性。,压电陶瓷的正压电效应,压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、
4、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。,放电电荷的多少与外力的大小成比例关系,常见压电陶瓷 ：,（1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。（2）锆钛酸铅Pb（ZrTi）O3系压电陶瓷（PZT）压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。（3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN）具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。,5.3 压电式传感器
5、,5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器,5.3.2 等效电路及信号变换电路,1. 压电元件的等效电路2. 压电式传感器的信号调节电路,1. 压电元件的等效电路,压电式传感器的等效电路,(a)等效为一个电荷源Q与一个电容Ca并联的电路 (b) 等效成一个电源U = Q/Ca 和一个电容Ca的串联电路,两个压电片的联接方式,（a） “并联”，Q=2Q，U=U，C=2C并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方，（b） “串联” Q=Q，U=2U，C=C/2而串联
6、接法输出电压大，本身电容小。适宜用于以电压作输出信号，且测量电路输入阻抗很高的地方。,2. 压电式传感器的信号调节电路,压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能使测量误差小到一定数值以内。因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。测量电路关键在高阻抗的前置放大器。前置放大器两个作用:把压电式传感器的微弱信号放大；把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。,（1）电压放大器,Ca：传感器的电容 Ra：传感器的漏电阻 Cc：连接电缆的等效电容Ri：放大器的输入电阻Ci：输入电容,前置放大器输入电压,压电元件的力 F=Fmsint压电元件的压电系数为d11，产生
7、的电荷为Q = d11F。,输入电压的幅值,当作用力是静态力（=0） 时，前置放大器的输入电压为零。原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。压电式传感器突出优点：高频响应相当好。,传感器的低频响应范围,如果被测物理量是缓慢变化的动态量，而测量回路的时间常数又不大，则造成传感器灵敏度下降。因此为了扩大传感器的低频响应范围，就必须尽量提高回路的时间常数。但这不能靠增加测量回路的电容量来提高时间常数，因为传感器的电压灵敏度与电容成反比的，切实可行的办法是提高测量回路的电阻。由于传感器本身的绝缘电阻一般都很大，所以测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常
8、数就越大，传感器的低频响应也就越好。,电压放大器应用限制,压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。电压放大器与电荷放大器相比，电路简单，元件少，价格便宜，工作可靠，但是电缆长度对传感器测量精度的影响较大，在一定程度上限制了压电式传感器在某些场合的应用。,解决电缆问题的办法,将放大器装入传感器中，组成一体化传感器。,（2）电荷放大器,压电式传感器另一种专用的前置放大器。能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达10101012，输出
9、阻抗小于100。使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。,压电传感器与电荷放大器连接等效电路,K是放大器的开环增益，（-K）表示放大器的输出与输入反相，若开环增益足够高，则放大器的输入端的电位接近“地”电位。,充电电压接近等于放大器的输出电压,几点结论：1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关， 而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系，2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成 线形关系的输出电压。3、反馈电容Cf小，输出就大，4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择适当的反馈电容。5、输出电压与电缆电容无关条件： （1+K
10、）Cf（Ca+Cc+Ci）,5.3 压电式传感器,5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器,5.3.3 压电式加速度传感器,压缩式压电加速度传感器结构,测量原理,当传感器感受振动时，质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样，质量块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片压电效应，两个表面上就产生交变电荷，当振动频率远低于传感器的固有频率时，传感器的输出电荷（电压）与作用力成正比，亦即与试件的加速度成正比。输出电量由传感器输出端引出，输入到前置放大器后就可以用普通
11、的测量仪器测出试件的加速度，如在放大器中加进适当的积分电路，就可以测出试件的振动速度或位移。,5.3 压电式传感器,5.3.1 压电式传感器的工作原理5.3.2 等效电路及信号变换电路5.3.3 压电式加速度传感器5.3.4 压电式测力传感器,5.3.4 压电式测力传感器,压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。变形方式：利用纵向压电效应的TE方式最简便。材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。晶片数目：通常是使用机械串联而电气并联的两片。晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。,单向压电式测力传感器,用于机床动态切削力的测量。,压电式压力传感器,测量均布压力的传感器,End the 5.3,
