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1、 【摘要】随着科学技术的发展，光学仪器已普遍应用在社会的各个领域。光学仪器的核心部分是光学系统，光学系统成像质量的好坏决定着光学仪器整体质量的好坏，一个高质量的的成像光学系统是要靠好的光学设计去完成。在实际应用中我们要为一个光学仪器设计一个光学系统，大体上可以分为两个阶段：第一阶段为“初步设计”或称“外形尺寸计算”阶段；第二阶段为“像差设计”阶段。这两个阶段的工作在不同类型的仪器中所占的地位和工作量不尽相同。例如在本次平像场显微物镜设计过程中，初步设计相对简单，所以课程设计工作主要集中在像差设计阶段。光学设计的方法有：一是把已有物镜的结构型式作为初始结构进行像差校正；二是根据所选定的结构型式按
2、照初级像差理论求解初始结构，再进行像差校正。像差校正方法有：一是人工单因素校正，即有设计者根据系统像差情况，改变系统的一个结构参数（r、d、n）,再进行光路计算，重复这样的过程，直至达到满意的成像质量。另一种是用电子计算机，按优化理论和统计理论对光学系统各个参数同时给出不同的该变量，进行像差校正，重复多次运算（每次运算称为一次迭代） ，可达到满意的像质，称为像差自动平衡，也有人对初始结构做像差自动平衡，再做人工单因素自动校正。针对所选课题的特点和工作量，本次课设采取第一种光学设计方法，即将已有物镜的结构型式作为初始结构，运用“缩放法”得到要求的设计参数，再利用电子计算机优化理论进行像差校正，最
3、终达到设计目的和要求。关键字：光学设计 显微物镜 缩放法 像差校正 目录引言第 1 章 确定初始结构型式1.1 初始结构型式图1.2 初始结构原理分析1.3 初始结构参数表第 2 章 缩放法设计显微物镜2.1 焦距缩放 2.2 ZMAX 数据输入62.3 优化前系统结构及数据分析72.4 优化细节与过程2.5 优化后系统结构与数据对比、分析第 3 章 课程设计总结3.1 优化前后物镜系统分析对比73.2 关于本次课设的心得体会7参考文献 引言本次课程设计主要任务是设计出如下表 1 中要求的显微物镜系统：主要参数结构放大率 2 5 倍共轭距离2 5 2 . 5 m m数值孔径0 . 4表 1数值
4、孔径（NA） 、放大率（） 和线视场（y）是三个表征显微物镜性能的主要参数。放大率越高，数值孔径越大，分辨率也越高，其结构就越复杂。倍率高的显微物镜往往焦距很短，所以尽管它的视场不大但仍会有严重的场曲存在，所以一般显微物镜的清晰视场是十分有限的，实际应用中为了看清视场中的不同部分，只能用分别调焦的方法来补救。对于某些特殊用途的显微系统，如显微照相、显微摄影、显微投影灯，除了要求校正轴上点像差（球差、轴向色差、正弦差）以及二级光谱外，还必须严格校正场曲来获得较大清晰视场。为了满足实际使用的要求，出现了校正场区的平像场物镜。这些物镜中场曲的校正往往依靠若干个弯月形厚透镜来达到，同时物镜的孔径角越大
5、，需要加入的弯月形透镜数量越多。第 1 章 确定初始结构型式本次课程在显微物镜设计过程中从一些专利文献和镜头手册中选出一些光学特性与所设计的物镜尽可能接近的资料作为初始结构。根据各种类型物镜基本光学特性之间的关系，我们知道物镜的焦距越长，对于同样结构型式的物镜，其相质的相对孔径数值越是良好，且视场角越小；相同焦距、相同结构型式的物镜，相对孔径越大，所能提供的视场角越小。所以选型是否合适，关系到整个显微物镜设计的成败。 1.1 初始结构型式图ABAByy图 1初始结构主要参数：放大率 数值孔径 共轭距离 250.4NA195Lm物方线视场 工作距离大于 1mm1ym1.2 初始结构原理分析1）按
6、照设计要求，当 ， ，即 ,相250.4NA11sin0.4uUNA应的像方孔径角 ，得到物镜的总偏角 。为避免引起0.16u0.46大量的高级像差，通常在实际应用中消色差的双胶合物镜所能承载的偏角小于0.15，一个单透镜所能承载的偏角小于 0.20，可以考虑到最简单的结构是有两个双胶合透镜加上一个单透镜组成。2）由于两个双胶合透镜加上一个单透镜系统属于正光焦度分离的结构，其匹兹伐和数 是较大的正值。因为正负光焦度分离是校正匹兹伐和数的唯IVS一而有效的方法，所以为了平视场，系统中应该引入能产生负值 的弯月形IVS厚透镜，同时还要求其能承载一定的正偏角。3）弯月形厚透镜引入之后，会使物镜的工作
7、距离大大减小。为达到工作距离的要求，可选择将后一个双胶合透镜分离，且将负透镜放在后面，使系统合成主面外移，从而获得较大的工作距离。经过理论分析，初始系统最终确定为图 1 所示，因为正的高级球差总是由 胶合透镜面所产生，适当增加正透镜的偏角负担，以产生负值高级球差与之相平衡。若各透镜偏角选择合适，则物镜的高级球差将得到很好的控制。1.3 初始结构参数表本次课设所选定的初始结构及各参数不是查自光学设计手册 ，而是选自于效果较好的实例，初始结构是经 PW 法进行初始计算然后用软件 ZMAX优化之后得到的数据。其参数如表 2：面数 r/mm d/mm 材料Object 165.3581 -5.999
8、1.869 ZF72 -8.026 7.7023 8.966 1.962 ZK34 30.582 9.11stop 0.2396 9.5 2.38 ZK97 -4.639 1.19 ZF78 -67.158 0.329 3.068 3.6 ZBaF310 2.5 1.011 0.17 K912 0.1Image表 2第 2 章 缩放法设计平场显微物镜在第 1 章中完成初始结构选型之后，设计要求的结构参数由缩放焦距来实现。2.1 焦距缩放设初始结构焦距为 ，缩放后结构焦距为 ，计算公式为：f *f （1）*iifr（2）*iifd其中： 、 分别为初始和缩放后结构的曲率半径；ir*i、 分别为初
9、始和缩放后结构的透镜厚度和间隔idi根据设计技术要求知： ,将初始结构参数带入（1） 、 （2）式中，得到5.*f缩放后 和 。列如表 3：*irid面数 r/mm d/mm 材料Object 248.0371 -8.9985 2.8035 ZF72 -24.078 11.5533 13.448 2.943 ZK34 45.873 13.665stop 0.35856 14.25 3.57 ZK97 -6.9585 1.785 ZF78 -100.737 0.489 4.602 5.4 ZBaF310 3.75 1.511 0.255 K912 0.15Image表 32.2 ZMAX 数据输
10、入1）打开 ZMAX 软件，添加 Surface 个数，将上表中计算好的 、 值分别输*irid入 radius 和 thickness 列，所选玻璃输入至 glass 列。 2）点击 Gen（general ） ，先将入瞳直径设为 3，在之后的优化过程中再进行调试和变更。3）点击 Fil(field data),选择 Angel,设定 y 视场分别为 0、8.85、12.5，即选择光轴光线，0.707 带光线和边缘光线三类光线。4）点击 Editors Merit Function Tools，加入 EFFL 项，选择第 2 波长，设定 Target 为 390-330.716=59.284
11、，Weight 值为 1。至此，数据输入工作基本完成，出现了镜头数据编辑窗口 1，如下：窗口 12.3 优化前结构与图像分析2.3.1 透镜输出 点击工具栏中 Lay 图标，出现优化前物镜系统平面剖面组，如下图 2 示： 图 2图像分析：上显微物镜系统图显示，缩放后结构基本满足设计结构要求，没有出现设计结构的变形和不合理现象。2.3.2 像质评价报告1） 点击工具栏中 Ray 图标和 Opt 图标，出现表征透镜系统各种像差的曲线图，如图 3 和图 4 示：图 3 Ray Fan 图 图 4 Opt Fan 图图像分析：观察各组曲线，发现透镜各种像差曲线偏离横轴幅度较大，说明本物镜系统， 像质不
12、够好，需要进一步优化。3） 点击工具栏中 Spt 图标，对系统的点列图进行分析，如图 5 示：图 5图像分析：光线经系统成像后，其弥散图像分布在一定范围内，进行优化以期达到较 理想效果。4） 点击 Fcd 图标，观察系统相对畸变情况，如下图 6：图 6图像分析：系统相对畸变在 20%范围内，超出光学设计基本要求范围。5） 点击 Mtf 图标，得到系统光学传递函数图，如下图 7： 图 7图像分析：Mtf 曲线所围面积大小表征光学系统所传递信息量的多少，面积越大，所传递的信息量越多，光学系统的成像质量越好，图像越清晰。所以，我们希望通过之后的优化可以使 Mtf 曲线所围面积增大。2.4 优化细节与过程2.4.1 选取优化变量一般来说，透镜组的全部结构参数都是可以设定为优化变量参与优化，但在本次课程设计过程中，选择优化过程为：首先人为变动结构参数，观察各参数变动对系统结构变化和像差、点列图、光学传递函数变化的影响；然后综合分析各个影响较大的参数，选其作为优化变量，由 ZMAX 进行最后的自动优化。在分别改变参数，观察变化的过程中，发现如下几个细节：1）观察发现，变化该系统各个
