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1、 3二5 SF 和7 “De兴纲sme洁净空调特性 7加结构有用人 党 本丰忆二加换气次数 3局 | 0 4 温湿度要求比一般空调低: 人四人攻守站6三光SI的和 微全粒子是构成半 导体制品发生缺 站 学离子要求也非常严格。 4 外气量与换气次数大: 在半导体次 AS 量的化学品和毒气， 而这些化学避和毒气所产生的些挥发卫帮汪A交光洁充大量的外气来维持室内的正压环境。 4 气流分布均匀;洁净室空调为带走室内所产生的微侍粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外CE 以适当的控 二全 区切 ET 人二极为敏咸， 博多斌部分区全 6内了与室内温差距不能太大。 可S4 运转成本高， 由于
2、洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成 后运转及维护费用也相当高，在设计 5昌 昌 空气循环系统功能 。风管系统嗓尼人| 和和 eFFU系统局 和全 这2全玫生气流方式 /党4 空气循环量0 ，完全由空气循环 2|及卫区大司二 SRRON区光区的换气系数为360次/小时。图示)* 普通空调比较: 办公室空间为300立方米，空调送eV大 本本| /尝汪汪|宝宝上 和罗必汪和上芭世|攻全卫生计着 忆大帮区区二全国ii 王 5守忆攻总站二4 气流三尖和帮个三二四0.7M/S均容易产生涡流，所以目前洁净室风速一般取0.25一0.5MS范围之间。nn 3. 障碍物对气流的影响: 制程设备、人员、照明器具等。过和|上访玉生和由二全不全二二， |攻宇| /放 UDWAUn3EU外气空调箱功能色原力之控制办湿度之控制 外气微鹿粒之预处理| 类 。 混空气性质及处理4 湿空气性质区人 百分比，%RH 。生生人20 5有7是间0 nr相对混度越低，室氟之吸浊能力则越强 芝c区 RS9国人 ，三下之绝对混度将提高 ; 因此，泥空 可时4平中如或 蓝球温度10
