《电子厂房净化空调改造设计》由会员分享，可在线阅读，更多相关《电子厂房净化空调改造设计（3页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、电子厂房净化空调改造设计方案工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简朴的先容. 1 简况该厂房位于某市开发区，建于 1995 年，主要出产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图 1 所示。系统总面积 1510中空调面积 385化面积 1125化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。系统存在的主要题目(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；(2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达 50，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足题目，造成扩散
2、炉附近区域的温度高达 37，并且回风轮回使用，不利于节能；(3)酸洗槽的排风量不足，均匀断面风速为 s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严峻影响室内的卫生和出产环境；(4)在厂房洁净区进口处的风淋室风速为 12m/s 的要求，需要更换轮回风机。2 改造方案针对系统运行中泛起的的以上情况，经与甲方协商，提出了改造方案。净化空调系统改造方案 3 改造后的使用效果系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。4 结论本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不公道(未对净化区及非净化区时行明确划分) 、混用净化及非
3、净化区空调系统，不符合“规范”的要求；酸洗槽排风量不足；护散炉区因送风少及未设局排举措措施导致环境温度超标；改造后将出产工艺布局做了适当调整，按照规范的要求，对净化区及非净化区单独设置空调系统；加大酸洗槽排风量，同时采用了热排风回收装置，对增补新风进行预热（预冷），节约能源，降低运行用度。建议在今后的空调工程设计中，对于出产环境有要求的工艺，既应该按照出产过程布置工艺，同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制，保证出产环境的可靠性。四种洁净室方案比较(顶送顶回) 适用洁净度：万级、十万级 优点：结构简单、造价低 缺点：气流阻截差，难以有效控制灰尘 (顶送侧回)适用洁净度：千级、万级、十万级优点：结构比较简单、设备占用空间小，易扩展 缺点：易产生涡流(混合半层流式)适用洁净度：百级、千级优点：效果好、布置灵活可满足局部较高级别净化区域缺点：造价高(层流式)适用洁净度：一级、十级、百级优点：效果好、易管理缺点：设备造价高、运行、维护费用高
