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1、吉时利 (Keithley) 仪器公司在其 4200 型半导体特性分析系统中新增加了脉冲信号发生和测量功能，支持脉冲式的半导体特性分析功能。新的 PIV（脉冲 I-V）子系统，更便于进行高介电（Highk）材料、热敏感器件和先进存储芯片等的前沿技术研究，使其测量更加准确，产品投入市场更加快速。据称这是第一款商用化的集成了精确、可重复的脉冲和 DC测量于一体的解决方案，而且使用非常方便。 脉冲 I-V （简称 PIV）子系统是吉时利公司Model 4200-SCS 系统的一个新增选项。Model 4200-SCS 系统适用于实验室级别的精准 DC特性测量和分析，具有亚飞安级的微电流分辨率和实时绘
2、图、数据分析和处理能力。该系统集成了目前最先进的半导体特性分析性能，包括一台带有 Windows XP 操作系统和大容量存储器的嵌入式 PC 机。 脉冲 I-V （PIV ）子系统建立在一个新的双通道脉冲发生器卡上，该卡的特点是拥有两个独立的通道，频率范围从 1Hz 到 50MHz。它能够产生短到 10纳秒的脉冲，允许对 SOI 和其他 65nm 以及更小尺寸的器件和过程进行真实的等温脉冲测量。精细的脉冲边缘的缓慢控制允许对界面态、AC Stress 测试和存储器测试进行精确的源和测量。用户能够控制几个脉冲参数，例如：脉冲宽度、占空比、升降时间、幅度和偏移量。把脉冲式的功能和测量同 Model
3、 4200-SCS 世界领先的 DC 特性结合起来，这在市场上尚是唯一的。 与脉冲 I-V （PIV）子系统捆绑在一起的新的、正在申请专利的软件，无论在准确度还是在可重复性方面都带来了更好的效果。集成的软件和面向用户的友好界面都是很容易学习和使用的，所以即使是非专业的用户都能快速上手并且得到很好的脉冲 I-V测量结果。PIV 软件控制着脉冲发生器和测量，设置和驱动双通道脉冲发生器的脉冲产生、触发、进行脉冲测量，并收集和提交数据。 新的 PIV 软件套装，具有为保证测量完整性而设置的电缆补偿算法和为精确的脉冲极限电压提取设置的 Load-line 校正方案。 PIV 子系统内包含了一些样例方案（
4、Sample Projects）和代码，用于执行脉冲 I-V 和界面态测试，节省软件开发的时间和费用。完整的 PIV 子系统缩短了脉冲测量的学习曲线，还允许在单一系统中进行多种测试。主要特点及优点:直观的、点击式 Windows 操作环境独特的远端前置放大器，将 SMU 的分辨率扩展至 0.1fA内置 PC 提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能支持 Keithley590 型与 Agilent 4284 型 C-V 仪、Keithley 开关矩阵与 Agilen
5、t 81110 脉冲发生器等多种外围设备硬件由 Keithley 交互式测试环境（KITE）来控制用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是 KITE 功能的扩充包括驱动软件，支持 Cascade Microtech Summit12K 系列、 Karl Suss PA-200、micromanipulator 的 8860 自动和手动探针台容易使用的 4200-SCS 型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚 fA 级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式 PC 机，Windows NT 操作系统与大容量存储器。其自动记
6、录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。4200-SCS 提供了很大的灵活性，其硬件选项包括开关矩阵、Keithley 与 Agilent C-V 仪以及脉冲发生器等多种选择。4200-SCS 为模块化结构配置非常灵活。系统最多可支持八个源测量单元，包括最多四个具有 1A/20W 能力的大功率 SMU。远端前置放大器选件 4200-PA，可以有效地减少长电缆所贡献的噪声，且使 SMU 扩大五个小电流量程，使其测量能力扩展到 0.1fA。前置放大器模块同系统有机地组合成一体，从使用者看来，相当于扩充了 SMU 的测量分辨率。应用 半导体器件： 片上参数测试
7、晶圆级可靠性 封装器件的特性分析 使用 Model4200-SCS 控制外部 LCR 表进行 C-V、I-V 特性分析 高 K 栅电荷俘获 易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试 电荷泵方法分析 MOSFET 器件的界面态密度 电阻式或电容式 MEMS 驱动特性分析 光电器件： 半导体激光二极管 DC/CW 特性分析 收发模块 DC/CW 特性分析 PIN 和 APD 特性分析 科技开发： 碳纳米管特性分析 材料研究 电化学 美商吉时利仪器公司推出全新业界领先 4200-SCS包含整合式 C-V 模组和软体 使得 C-V/I-V/PULSE 测试更精确更迅速台北讯 2007 年 10 月 2
8、5 日 - 新兴量测方案领导厂商美商吉时利仪器公司 (Keithley Instruments； NYSE:KEI)针对其功能强大的 Model 4200-SCS 半导体元件特性分析系统发表新款C-V 量测仪器。 Model 4200-CVU 仪器可将 CV 量测模组，插入 Model 4200-SCS 的插槽，快速且轻易地量测 fF 至 nF 的电容，支援 10kHz 至 10MHz 的频率。Model 4200-CVU 其创新设计含有 8 项申请中的专利。这项设计提供直觉式点选的操作介面、及内建的元件模组以取得有效的 C-V 量测数据。让每个使用者都能更轻松的执行 C-V 量测。详细资讯请
9、浏览 http:/ 。 Model 4200-CVU 内含最完备的测试资料库，大幅提升测试的效率。运用 Keithley 的 Model 4200-LS-LC-12，这款特制交换矩阵、扩充卡搭配缆线及转接器的组合，仅须一次量测就能完成紧密整合的 C-V/I-V 测试。选购的 Model 4200-PROBER-KIT 套件，让 Model 4200-SCS 能轻易连结至最普及的探针，建构一个全面的 C-V 测试系统，易于设定与执行 I-V 测试。广泛的应用支援透过这些 4200-SCS 系列最新产品，吉时利在 C-V 量测方面取得领先地位，如今能透过单一半导体测试仪器满足范围最广的应用，涵盖探
10、针的配置、元件类型、制程科技、及量测方法，包括 pulse I-V。Model 4200-CVU 和选购模组能解决其他特性曲线分析系统面临的许多问题 不是无法提供整合式 C-V/I-V/pulse 功能，就是其使用者操作介面与软体资料库的支援有限。此外，系统的弹性与强大的测试执行引擎，可把 I-V、C-V、及脉冲测试整合在相同测试流程。因此，Model 4200-SCS 能以一个紧密整合的特性曲线分析解决方案，取代各种电子测试工具。吉时利的 Model 4200-SCS 也能支援 C-V/I-V/pulse 并搭配其他仪器等测试方法，这些特色让 4200-SCS/CVU 解决方案适合支援：半导
11、体技术开发 / 制程开发 / 可靠度实验室材料与元件研究实验室与联盟 需要桌上型 DC 或 pulse 仪器的实验室 大多数需要多重用途 / 多重仪器小型设备的半导体实验室与使用者 功能强大的软体Model 4200-SCS 比起市面上的半导体特性曲线分析系统、拥有更简易操作的 Windows 介面(GUI)。根据累积多年顾客互动与意见回馈进行研发，使用的简易性扩及新款 Model 4200-CVU 硬体与软体模组，是其互动测试环境与执行引擎的自然延伸方案。吉时利为支援 Model 4200-CVU 硬体，推出众多样本程式、测试资料库、以及内建能立即执行的参数撷取范例。八个软体资料库提供范围最
12、广的 C-V 测试与分析。它们涵盖所有标准应用，包括 C-V、C-t、及 C-f 量测与分析，支援高与低 K 介电系数结构、MOSFET、BJT、二极体、快闪记忆体、光伏特元件、III-V 族复合元件、以及奈米碳管(CNT) 元件。除了接合面、针脚对针脚、和互连电容外，分析与参数撷取软体还能计算出掺杂情况、 氧化层厚度、移动电荷、载子生命周期等资料。这些测试结果包括各种不同的线性和客制化的 C-V 扫瞄、以及 C 对时间和 C 对频率扫描。有别于其他特性曲线分析系统，吉时利 C-V/I-V 会在一个纪录详尽的开放式环境中进行分析与撷取程式运作，让使用者能轻易修改与客制化设定其运作程序。整合型的
13、范例程式，是根据吉时利工程师累积的应用知识所规划，协助缩短开发时间。 Model 4200-CVU 还含有各种先进的侦测工具，协助确保 C-V 测试结果的有效性。若不确保测试结果是否精确呢？仅须点选萤幕上的 “Confidence Check” 按钮，或使用即时前方面板，隔离测试区域以便进行验证。Model 4200-SCS 提供最佳的使用者经验，带来最短的学习曲线。它能解决半导体实验室管理者面临的许多问题，协助他们提高元件特性分析与模型建构时的生产力与效率。为更高的量测效率打造Model 4200-CVU 最受称赞的是其优异的量测准确性、速度、效率，这归因于 Model 4200-SCS 的
14、高速数位量测硬体，以及紧密的硬体与软体整合，还有吉时利秉持的低杂讯系统设计原则。这些优点的组合，意谓 Model 4200-CVU 能大幅增进使用者的生产力，不论工作是简单的设定单一量测作业，或透过滑鼠点选的方式执行一连串的预设测试程序、或是像触发与执行多个 C-V 扫瞄等复杂作业。系统的高速数位架构，意谓着 Model 4200-CVU 能以即时模式执行与设定 C-V 扫瞄，速度超越任何其他厂商的 C-V仪器。 高度多元化的测试环境 除了把 I-V/C-V/pulse 测试功能整合至一个弹性化、完全整合的测试环境外， Model 4200-SCS 使用者还有许多其他方案可选择。其中包括最多
15、8 个中或高功率 SMU，双通道脉冲与波形产生器、以及一个整合式数位示波器。和 Model 4200-CVU 一样，这些仪器都能插入至 Model 4200-SCS 插槽，并透过功能强大的 Keithley Test Environment Interactive (KTEI，7.0 版)软体环境来控制。这个点选式介面能加速测试设定流程、测试程序控制、以及资料分析的作业。KTEI 还能控制各种外部仪表，包括大多数探针台、加温基座、测试治具、以及吉时利高完整性矩阵式切换开关，提供业界最高的连结弹性。避免设备快速淘汰 许多仪器制造商持续推出的产品，彼此之间可能无法相容，新产品的问市，经常代表前一代
16、设备必须走入历史 完全无法保护客户的投资。Keithley 持续将硬体与软体升级至 Model 4200-SCS 的策略，意谓 Model 4200-CVU 模组，以及所有相关的软体与选购硬体，都能更新至首款 Model 4200-SCS。这种轻易升级的管道，让客户不必每隔几年就须购买新的参数分析仪，以配合元件或材料技术的创新发展。客户仅须以低廉的成本就能升级系统，以配合业界持续演进的测试需求，让投入至 Model 4200-SCS 的资金能进一步延伸， 超越其他厂商的测试解决方案。此外，外部硬体与开发测试程式的需求，也减至最低程度。 详细资讯有关 Model 4200-CVU 的详细资讯请浏览 http:/ Model 4200-SCS 是最多元化的工具，协助所有半导体实验室满足 DC、C-V、以及脉冲测试等方面的需求，并能运用吉时利其
