《特气及毒气Detector侦测器验收标准》由会员分享，可在线阅读，更多相关《特气及毒气Detector侦测器验收标准（9页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、特气扩充及毒气 Detector 侦测器扩充验收标准一.气体管路要求及验收标准1.气体管路测试标准气体种类 耐压测试 饱压测试 Helium leak Particle moisture OxygenGN2keep the pressure 2hr,and the pressure is 9kg/cm2keep the pressure 24hr,and the pressure is 8kg/cm2- 50pc/cft at 0.1m- -SiH4keep the pressure 2hr,and the pressure is 9kg/cm2keep the pressure 24hr,a
2、nd the pressure is 8kg/cm2 210 -9atm cc/sec 20pc/cft at 0.1m10 Inlet+10ppb10 Inlet+10ppb0.5%PH3H2keep the pressure 2hr,and the pressure is 9kg/cm2keep the pressure 24hr,and the pressure is 8kg/cm2 210 -9atm cc/sec 20pc/cft at 0.1m10 Inlet+10ppb10 Inlet+10ppbNF3keep the pressure 2hr,and the pressure
3、is 9kg/cm2keep the pressure 24hr,and the pressure is 8kg/cm2 210 -9atm cc/sec 20pc/cft at 0.1m10 Inlet+10ppb10 Inlet+10ppb0.5%TMBH2keep the pressure 2hr,and the pressure is 9kg/cm2keep the pressure 24hr,and the pressure is 8kg/cm2 210 -9atm cc/sec 20pc/cft at 0.1m10 Inlet+10ppb10 Inlet+10ppb2.气体管路验收
4、标准1.检查各系统管线之路径是否正确。2.检查各系统管线数量、规格及管径大小是否正确。3.检查各系统管线是否配置整齐及确实依规定固定。4.检查各系统管线之标示是否详尽及正确，管线材质是否正确。5.检查各系统管线之垫片材质是否使用正确，固定是否良好。6.检查各系统管线之尺寸、高度、路径是否符合设计规格。7.检查各系统管线之管支撑之间距是否符合规定。8 目视检查各系统管线是否水平或垂直无歪斜。9 竣工数据须包含现场各系统供应之会签纪录及测试记录窗体。10 竣工资料须包含每一气柜之配管示意图。11 竣工数据须包含工程相片。13 竣工资料须包含承包商自主检查表。14 所有竣工图面及竣工数据皆须有电子磁
5、盘档案Auto CAD 200415 检查新增设备功能是否完全按照业主方进行设定，设备位置是否按图纸规划二 气柜要求及测试标准1. 功能要求Name Qty Cyl Purge PigtailCylinder connectorAuto Guard0.5%PH3H2 GC3 2+1 Auto CGA NF3 BSGS 1 4Y Auto Diss SiH4 BSGS 1 4Y Auto Diss 0.5%TMBH2 GC3 2+1 Auto CGA NameAuto switchSprinkerTouch ScreenController Exh.sensorProcess Filter0.5
6、%PH3H2 GC PLC Pre40m Post0.003 mNF3 BSGS PLC Pre40m Post0.003 m0.5%TMBH2 GC PLC Pre40m Post0.003 mSiH4 BSGS PLC Pre40m Post0.003 mNamePanel piping sizeLocal ScubberTest port UV/IRExcess Flow SwitchFlow Meter Display on Screen0.5%PH3H2 GC NF3 BSGS SiH4 BSGS 0.5%TMBH2 GC NameHeat blockPanel heaterCyli
7、nder heaterPurifiers Pipe TypeVacuum Gauge0.5%PH3H2 GC dual NF3 BSGS SiH4 BSGS 0.5%TMBH2 GC dual 2. 盘面阀件要求阀件名称 解释 1%PH3H2 NF3 SiH4AS Autoswitch CFG Conical filter gasket EFS Excess flow switch HPA High pressure access HPI High pressure isolation HPV High pressure vent LPI Low pressure isolation LPV
8、Low pressure vent MLPV Manul LPV PRV I Regulator Stage I PRV II Regulator Stage II PGBV Purge gas bleed valve PLI Process line isolation SP Simple Port VGM Vacuum generator module ESO Emergency shutoff Vavle PTPV Pigtail Purge vavle VBV Vent Bleed Vavle HP PT 1 High pressure PT 1 HP PT 2 High pressu
9、re PT 1 LP PT Low Pressure PT 1 V PT Vent PT1 3. 盘面管径要求NF3 BSGSHeater Inlet A: 1/2” Female VCR-TypeHeater Inlet B: 1/2” Female VCR-TypeProcess Outlet:1/2” Female VCR-TypeVac Gen Vent: 1/4”Male VCR-TypeVac Gen N2 Inlet: 1/4”Male VCR-TypeN2 Purge Inlet: 1/4”Male VCR-TypeHPA Inlet: 1/4”Male VCR-TypeSys
10、tem Exhaust: 150-100-400 flangeLabels: VerfiedSiH4 BSGSHeater Inlet A: 1/2” Female VCR-TypeHeater Inlet B: 1/2” Female VCR-TypeProcess Outlet: 1/2”Female VCR-TypeVac Gen Vent: 1/4”Male VCR-TypeVac Gen N2 Inlet: 1/4”Male VCR-TypeN2 Purge Inlet: 1/4”Male VCR-TypeHPA Inlet: 1/4”Male VCR-TypeSystem Exha
11、ust: 150-100-400 flangeLabels: Verfied0.5%PH3H2 GCProcess Outlet: 1/4Female VCR-TypeVac Gen Vent: 1/4”Male VCR-TypeVac Gen N2 Inlet: 1/4”Male VCR-TypeN2 Purge Inlet: 1/4”Male VCR-TypeHPA Inlet: 1/4”Male VCR-TypeSystem Exhaust: 150-100-400 flangeLabels: Verfied0.5%TMBH2 GCProcess Outlet: 1/4Female VC
12、R-TypeVac Gen Vent: 1/4”Male VCR-TypeVac Gen N2 Inlet: 1/4”Male VCR-TypeN2 Purge Inlet: 1/4”Male VCR-TypeHPA Inlet: 1/4”Male VCR-TypeSystem Exhaust: 150-100-400 flangeLabels: Verfied4. 气柜测试要求(厂商提供出厂报告 )Particle Test: 1particles/ft3 0.1mMoisture Test: 100ppb H2OOxygen Test : 100ppb O2Pressure Decay T
13、est: 50psi0%Helium Leak Test: 110-9 atm cc/sec Helium5. 相关认证厂商需要提供设备通过 SEMI S2 认证的证书及相关详细资料 三 气体侦测器及监控系统要求及测试标准1.气体侦测器要求及验收标准1)产品测试:提供产品出厂之校正报告,测试方法采用标准气体进行测试(标准气体需要有通过国家质量监督检验检疫总局批准的标准物质证书)2)现场测试:A 测试 AI 信号是否与现场相符B 现场调高 DT 数值观察图控是否符合(侦测点 0.5ppm 1ppm)并是否发出报警2.图控要求及验收标准1)监控计算机 SCADA 计算机名称路径与文件名原则A PC
14、 名称：PC 名称 计算机位置 网络 IP 地址GAS1_S1 气体控制室 SCADAGAS1_S2 化学控制室 SCADAGAS1_V1 1A VIEWB Node 及图形文件的命名2)在 PLC 站名及图形文件名之前加系统别，其系统别如下：系统缩写 系统别GAS IVO GAS System3)监控 Tag 编码原则单位别(A) 种类(B) 设备名称(C) 状态主旨(D) 状态(E)单位别 (三码) : 若为 Array 则显示 F1A、若为 Cell 则显示 F1C、若为 CF 则显示 F1F。种类 (七码或少于) : PH3 、GN2、SiH4 、TMAH25% .etc。设备名称 (
15、六码或少于) : BSGS01、CDS01 、VMB01 .etc。状态主旨 (八码) : 这个字段在叙述发生何种事故，例如泄漏则显示 LEAK、 。状态 (四码) : 这字段是表示状态设备状态，例如重量、压力的 HIHI、HI 等等，或是阀门状态的 ON、OFF 等等。范例：F1A-SiH4-VMB01-Pressure-HiHi属于 1A Array 厂内 SiH4 气体 VMB 之入口压力（PT）超过紧戒值。CUB-Cl2-BSGS03L-Weight -Lo属于 CUB 内之 Cl2 供应系统编号 BSGS01 左侧钢瓶重量偏低。4)图控数据库 DATABASEA 数据库命名方式与长度需依照本规范 “监控 TAG 编码原则 ”. B 各 TAG 点均需详细注明 DescriptionC 各 TAG 点 (Digital & Analog Tag)可依状况需求定义为警报点，且可设定报点延持时间 (13 sec)，以避免非必要突波讯号5)图形显示规划监控画面尺寸及编排位置
