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1、扩散工序作业指导书1 目的为了保证扩散工序的质量，指导操作人员规范操作，特制定本指导书。2 适用范围本指导书适用于扩散工序操作人员。3 职责3.1 扩散工序操作人员按本指导书正确操作。3.2 确保本工序加工质量，对完成半成品进行自检确认，才能流到下道工序。4内容4.1生产前准备 4.1.1着装要求4.1.2用具和材料用具要求：石英舟（见下图）正确穿戴好洁净服、帽子、鞋子、汗布手套、乳胶手套和口罩 石英舟 四探针用料：三氯氧磷（纯度 99.9999） 、氧气（纯度 99.999） 、氮气（纯度99.999） 、CDA（干燥无油） 。4.1.3硅片检查确认硅片数量，并检查是否有缺角，表面是否有色斑
2、、是否吹干，如有异常通知上道工序。4.1.4开机准备(1)确认扩散设备已开机升温，无报警信息，炉温已达到工艺设定温度。(2)确认恒温槽温度在 201，检查恒温槽中源的液位。(3)确认工艺气体 O2的压强 0.31.0Mpa，确认工艺气体 N2的压强0.31.0Mpa，确认压缩空气压强 0.50.7Mpa。(4)确认石英管、石英舟已清洁待用，并且设备已完成饱和工艺。4.1.5开机程序(1)检查主电源电压是否正确，确认没有问题后打开主电源。(2)开启冷却风扇开关。(3)依次打开各炉管电源开关。(4) 开启磷源温度控制器电源开关。4.2操作要求及步骤(1)打开进料传递窗（图 4.2.1），检查实物与
3、流程卡是否一致（图4.2.2）。 图4.2.1 图4.2.2 (2)将装有硅片的承载盒从传递窗取出放在货架上，关闭传递窗。(3)两人搬一石英舟到“Slider”上。注意放舟方向。尽量使舟在“Slider”在中间位置；(4)将承载盒从货架转移到上料装置上，启动上料装置进行装片； (5)电脑操作界面，在 TSC2软件，从下拉菜单或者屏幕上“Overview”处选择对应的炉管，选择“Operations”进入操作屏幕，下拉菜单中选中需要运行的程序，按“Start”从“Step 0”开始选中的程序；按钮“Continue”用来开始已经停止或操作员指定的程序，按“Yes”确定；按钮“Pause”用来停止
4、选中的程序的当前步；按钮“Abort”用来中断选中的程序，按“Yes”来确定提示“Sure to abort?”以中断；(6)触摸屏上面，从屏幕出现：MAIN MENU，按 4进入“Tube control”，按 6进入“Select a process Recipe”，选择需要的程序以进入其序号，按“Yes”确定；返回到“Tube control”，再按 2进入“Start/Stop Process Recipe”，按“Start”开始选中的程序，按“Stop”来停止选中的程序；返回到“Tube control”，按 3进入“Abort Process Recipe”，按“Yes”来确定提示
5、“ABORT(Yes/No)” ，按“Yes”来确定提示“Are you sure you want to abort(Yes/No)” ；再按“Yes”可激活中断命令；(7)启动工艺程序，碳化硅桨会按照设定的速度进入扩散炉管，然后退出，炉门自动关闭，扩散工艺程序自动运行，待程序结束，炉门自动开启，碳化硅桨会自动将硅片从炉管取出，自动加载系统会将石英舟放到操作台上；(8)扩散过程中，出现温度异常，气流不稳定情况，请报告当班工艺工程师和设备工程师进行处理；(9)扩散结束后，从冷却后“Slider”舟上从右往左取 5片放在卸片盒中。(10) 将卸片盒拿到四探针测试仪处，从卸片盒中取出硅片，将硅片放
6、在测片台上，按 R /e按钮将电流值至 4.530mA（每 2h校准一次）（图十九）。(11) 按 R /e按钮切换读取稳定值并做数值记录。(12) 启动自动装置将硅片由石英舟导入承载盒。(13) 填写流程卡及扩散数据记录。打开刻蚀传递窗，将卸片盒中的硅片送至刻蚀传递窗，关闭刻蚀传递窗。(14) 本班作业结束时必须清理工作现场，并为下班的顺畅运转做好充分的准备。(15) 做好每天的交接工作4.3操作注意事项(1)石英舟必须由 2人搬运，且搬运时只能握舟的两端，不能触碰到石英舟的其他部分。(2)当扩散炉处于自动状态时，禁止打开扩散炉移门。(3)如遇特殊情况（例如停电）应及时将源瓶关闭，防止源泄漏。(4)在测硅片方块电阻过程中动作要轻缓，绝对不能把四探针针头弄断。(5)填写流程卡和数据记录,内容完整、字迹清晰、数据准确。(6)做好 6S工作。
