真空度测试仪说明书382

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1、1目 录第一章 安全规则及注意事项 2第二章 仪器简介 2第三章 测试原理 3第四章 仪器面板图及外部接线图 3第五章 技术参数 4第六章 操作说明 4第七章 相关标准 6第八章 随机附件 6附录一. 7 附录二142第 一 章 安 全 规 则 及 注 意 事 项请 您 在 使 用 MVC 系 列 真 空 测 试 仪 前 仔 细 阅 读 本 手 册 。 在 开 机 之 前 请 先 接 好 所 有 测 试 连 接 线 ， 如 打 印 机 连 接 线 ； 测 量 前 ， 请 检 查 管 型 是 否 适 合 所 检 测 的 真 空 管 ， 以 便 准 确 测 量 。 开 机 、 关 机 及 测 量

2、时 ， 不 要 触 及 高 压 线 和 磁 控 电 流 线 ， 以 防 触 电 。 仪 器 在 使 用 过 程 中 ， 如 发 现 线 圈 发 出 异 常 响 声 ， 应 考 虑 测 试 线 短 路 或 接 触 不 良 ， 或 者 空 气十 分 潮 湿 ， 或 真 空 断 路 器 表 面 罩 有 灰 尘 等 因 素 。 请 不 要 使 用 汽 油 、 香 蕉 水 等 化 学 剂 擦 拭 机 器 ， 而 应 使 用 柔 软 干 燥 的 布 。 请 确 认 当 地 电 网 电 压 是 否 与 本 机 供 电 电 压 相 符 。交 流 22010% 50/60HZ 请 注 意 不 要 在 雷 雨 的

3、 情 况 下 使 用 机 器 。 请 不 要 破 伤 随 机 所 带 的 线 缆 ， 以 确 保 使 用 安 全 。 仪 器 出 现 故 障 时 ， 非 本 公 司 专 业 技 术 人 员 严 禁 擅 自 打 开 仪 器 进 行 检 修 。第 二 章 仪 器 简 介MVC-382 真 空 度 测 试 仪 是 真 空 灭 弧 室 的 真 空 度 的 鉴 定 设 备 。 多 次 经 西 安 高 压 电 器 研 究 所检 验 并 出 具 合 格 证 书 。 是 目 前 国 内 能 唯 一 的 真 实 检 测 真 空 含 量 的 少 数 品 牌 之 一 。 它 以 单 片 计算 机 为 主 控 单 元

4、 ， 测 试 过 程 完 全 实 现 自 动 化 。 该 仪 器 在 原 理 上 改 变 了 国 内 外 同 类 产 品 采 用 电 流峰 值 做 标 定 的 方 法 ， 而 采 用 离 子 电 荷 来 做 标 定 。 这 样 ， 在 物 理 原 理 上 有 更 好 的 准 确 性 ， 而 且 ，有 效 地 抑 制 了 测 试 过 程 中 脉 冲 电 源 的 干 扰 ， 使 测 试 稳 定 可 靠 。 该 仪 器 采 用 两 次 采 样 的 方 法 扣 除由 于 环 境 因 素 产 生 的 漏 电 电 流 ， 并 且 在 测 量 过 程 中 考 虑 了 完 全 漏 气 的 真 空 灭 弧 室

5、的 判 别 ， 真 正做 到 了 对 安 装 于 整 机 上 的 真 空 灭 弧 室 的 准 确 计 量 。 目 前 ， 该 仪 器 中 已 存 有 35 条 真 空 灭 弧 室的 测 量 标 准 曲 线 ， 涵 盖 了 国 内 外 绝 大 多 数 管 型 。 该 仪 器 质 量 可 靠 ， 造 形 美 观 ， 使 用 方 便 。性 能 特 点 ：1、 基 于 电 离 电 荷 的 采 样 技 术MVC 系 列 真 空 度 测 试 仪 均 采 用 基 于 电 离 电 荷 的 采 样 技 术 。 我 公 司 专 家 在 磁 控 放 电 的 研究 中 发 现 ： 在 外 激 励 电 源 、 真 空

6、灭 弧 室 的 几 何 尺 寸 、 所 用 材 料 一 定 时 ， 真 空 灭 弧 室 内 的 真空 度 与 电 离 的 电 荷 量 有 非 常 准 确 的 对 应 关 系 ， 而 与 电 离 电 流 的 峰 值 仅 有 概 率 上 的 相 关 性 。因 此 ， 我 公 司 首 创 了 基 于 电 离 电 荷 的 采 样 技 术 ， 显 著 提 高 了 真 空 灭 弧 室 的 真 空 度 计 量 的 准确 性 。32、 内 置 国 内 外 几 乎 所 有 真 空 灭 弧 室 的 测 量 曲 线真 空 灭 弧 室 由 于 其 几 何 尺 寸 、 材 料 的 不 同 ， 当 内 部 真 空 度 和

7、 外 加 激 励 电 源 一 定 时 ， 其 放电 电 荷 量 是 不 同 的 ， 并 且 有 相 当 的 差 异 。 为 准 确 测 量 ， 对 每 一 种 真 空 灭 弧 室 必 须 有 对 应 的从 电 离 电 荷 量 到 真 空 度 推 算 曲 线 。 我 公 司 的 专 家 通 过 与 国 内 主 要 真 空 灭 弧 室 生 产 厂 家 的 密切 合 作 ， 取 得 了 几 乎 国 内 外 所 有 真 空 灭 弧 室 的 电 离 电 荷 和 真 空 度 关 系 的 数 据 ， 通 过 数 学 处理 ， 将 其 特 征 参 数 送 入 MVC-382 系 列 产 品 。 因 此 ， M

8、VC-382 系 列 产 品 内 置 国 内 外 几 乎 所有 真 空 灭 弧 室 的 测 量 曲 线 。 这 是 国 内 外 同 类 产 品 中 绝 无 仅 有 的 。3、 漏 电 电 流 的 处 理对 处 于 分 断 状 态 的 真 空 灭 弧 室 两 端 加 高 压 时 ， 会 有 数 值 不 等 的 几 个 微 安 的 漏 电 电 流 ， 此漏 电 电 流 即 使 是 同 型 号 的 真 空 灭 弧 室 也 有 较 大 的 个 体 差 异 。 尤 其 是 对 于 装 在 整 机 上 的 真 空灭 弧 室 ， 由 于 其 周 边 的 绝 缘 支 撑 件 也 有 漏 电 ， 这 些 漏 电

9、 的 总 和 有 更 大 的 不 稳 定 性 和 不 可 预测 性 。 并 且 在 数 值 上 与 10E4Pa 数 量 级 的 真 空 灭 弧 室 的 电 离 电 流 相 当 。 我 们 采 用 两 次 起动 高 压 的 方 法 ， 扣 除 了 漏 电 电 流 ， 保 证 了 无 论 是 装 于 整 机 上 还 是 待 装 的 真 空 灭 弧 室 的 真 空计 量 精 度 。4、 判 别 完 全 漏 气 的 真 空 灭 弧 室在 MVC-382 型 机 中 ， 通 过 高 压 击 穿 的 方 式 判 别 真 空 灭 弧 室 是 否 完 全 漏 气 。5、 完 善 的 输 入 保 护 电 路当

10、 真 空 灭 弧 室 的 真 空 度 非 常 低 时 ， 测 量 时 真 空 灭 弧 室 会 被 高 压 击 穿 ， 瞬 间 的 高 压 直 接 加至 信 号 输 入 端 的 采 样 电 路 上 ， 使 其 承 受 十 分 强 的 电 冲 击 。 MVC-382 的 信 号 输 入 端 的 采 样电 路 增 加 了 完 备 的 保 护 电 路 ， 即 使 仪 器 由 于 输 入 端 的 高 压 冲 击 而 发 生 暂 时 工 作 不 正 常 时（ 重 新 开 机 即 可 ） ， 也 不 会 造 成 电 路 部 分 的 损 坏 。第 三 章 测 试 原 理将 灭 弧 室 两 触 头 拉 开 一

11、定 的 开 距 ， 施 加 脉 冲 高 压 ， 将 励 磁 线 圈 绕 于 灭 弧 室 外 侧 ， 向 线 圈 通以 大 电 流 ， 从 而 在 灭 弧 室 内 产 生 与 高 压 同 步 的 脉 冲 磁 场 。 这 样 ， 在 脉 冲 磁 场 的 作 用 下 ， 灭 弧 室中 的 电 子 作 螺 旋 运 动 ， 并 与 残 余 气 体 分 子 发 生 碰 撞 电 离 ， 所 产 生 的 离 子 电 流 与 残 余 气 体 密 度 即真 空 度 近 似 成 比 例 关 系 。 对 于 直 径 不 同 的 真 空 管 ， 在 同 等 真 空 度 条 件 下 ， 离 子 电 流 的 大 小 也 不

12、相 同 。 通 过 实 验 可 以 标 定 出 各 种 管 型 的 真 空 度 与 离 子 电 流 的 对 应 关 系 曲 线 。 当 测 知 离 子 电 流 后 ，就 可 以 通 过 查 询 该 管 型 的 离 子 电 流 真 空 度 曲 线 获 得 该 管 型 的 真 空 度 ， 这 一 过 程 由 计 算 机自 动 完 成 。第 四 章 真 空 度 测 试 仪 面 板 和 外 部 接 线 图4第 五 章 技 术 参 数 测 量 范 围 ： 10-5-10-1Pa 测 量 误 差 ： 10-4-10-1Pa 中 误 差 10% 测 量 分 辨 率 ： 10-5 Pa 漏 气 的 灭 弧 室

13、 在 测 量 中 将 发 生 电 击 穿 。 允 许 环 温 ： -20 -50 ， 如 在 0 以 下 测 试 时 请 先 将 机 器 通 电 20 分 钟 后 再 使 用 。 空 气 湿 度 ： 85%RH 输 入 电 源 ： AC22010% 50/60HZ 外 形 尺 寸 ： 350*320*225mm第 六 章 操 作 说 明1、 接 线 说 明将 面 板 上 的 磁 控 电 流 输 出 端 通 过 磁 控 电 流 输 出 线 （ 本 仪 器 附 带 ） 与 磁 控 线 圈 相 连 。1.1 灭 弧 室 若 没 装 在 开 关 整 机 上 ；将 灭 弧 室 两 触 头 拉 开 至 额

14、 定 开 距 ， 然 后 将 静 触 头 向 下 放 入 线 圈 中 ， 高 压 线 接 动 端 ， 信 号 线接 线 圈 外 壁 的 信 号 端 。1.2 灭 弧 室 若 已 装 于 机 关 整 机 ；使 断 路 器 处 于 分 状 态 ， 将 线 圈 套 于 灭 弧 室 外 ， 高 压 线 和 信 号 输 入 线 分 别 接 灭 弧 室 的 动 端 与静 端 。2、 按 键 说 明面 板 上 所 有 的 按 键 ， 若 其 上 的 小 指 示 灯 亮 则 表 示 按 键 有 效 ， 反 之 ， 则 无 效 。 若 该 键 有 效 时 ，5再 按 该 键 ， 则 指 示 灯 灭 ， 该 键

15、处 于 无 效 状 态 。3、 测 试 真 空 度3.1 开 机检 查 接 线 正 确 后 ， 方 可 开 机 。 将 仪 器 面 板 上 的 电 源 开 关 键 按 向 “开 ”位 置 ， 数 码 显 示屏 的 首 位 即 出 现 “P”字 ， 说 明 仪 器 运 行 正 常 ， 预 热 5 分 钟 后 便 可 进 行 测 量 。3.2 管 型 选 择3.2.1 测 量 时 ， 首 先 确 认 真 空 泡 管 型 。 参 照 说 明 书 内 附 录 一 或 附 录 二 。 将 真 空 泡 管 型 对 应 的 曲 线号 输 入 仪 器 显 示 窗 口 管 型 内 。3.2.2 若 说 明 书 中 没 有 标 明 所 测 量 的 管 型 时 ， 可 于 现 场 量 出 真 空 泡 直 径 （ 外 径 ） ， 寻 找 外 径 相对 应 的 曲 线 号 即 可 。 应 注 意 的 是 测 量 时 尺 寸 尽 量 相 近 ， 并 且 接 线 方 式 相 同 。3.2.3 使 【 选 择 键 】 有 效 ， 然 后 用 键 键 调 整 管 型 参 数 ， 调 出 所 需 的 曲 线 号 。3.2.4 如 果 没 有 可 代 用 的