《[设备管理]洁净室设备》由会员分享，可在线阅读，更多相关《[设备管理]洁净室设备（25页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、1 空氣浴塵機 2 緩衝室 3 傳遞箱 4 衣架及鞋櫃 5 洗手台及烘乾機 6 沖身洗眼機,無塵室設備,1,潔淨廠房空間組成分析圖,人員,物料,人員淨化用室 1.緩衝室 2.衣櫃及鞋櫃 3.洗手烘乾機 4.三叉管制機,空氣浴塵室A/S,氣閘室A/L,傳遞箱P/B,物料淨化化用室,空調機房,輔助室 1.鍋爐機房 2.超純水站 3.空氣壓縮機房 4.真空幫浦室 5.變電/配電站,化學區- 沖身洗眼機 潔淨室 一般區,垂直管線間/ 水平夾層,2,空氣浴塵室 (AIR SHOWER) 為作業者或物 品進入 CLEAN ROOM 時，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功能。 空氣浴塵室 (AI
2、R SHOWER)同時具有 AIR LOCK 氣鎖功能可以有效控制人員進出作用，並作為不同等級清淨室的緩衝室，達到防止交叉污染產生,2.1 空氣浴塵機,3,2. 法規需求無 3. 用途與分類 用途 使用於跨越不同潔淨等級區域使用 分類 1.單座式A/S 2.隧道式A/S 3.階梯隧道式A/S,門扇又可分為 手拉門式A/S 自動門式A/S,2.1 空氣浴塵機,4,4. 結構說明,2.1 空氣浴塵機,5,1. 前置過濾網(PRE-FILTER) 將尼龍不織布網材裝入鋁框內,其以除去較粗大之塵埃為目的。可用水洗或真空吸塵器吸塵方式再生使用。 2. 主濾網(MAIN FILTER)-HEPA FILT
3、ER 採用高性能過濾網,於0.3um以上的粒子,有99.99%以上的過濾效率。阻塞時，需重新更換。 3. 噴氣口(AIR NOZZLE) 將加壓之潔淨空氣經特別設計之噴氣口噴出23MS以上的風速，達到粒子剝離之效果，並可依需求調整吹氣方向，可有效的去除人體衣服上之較大微粒子塵埃。 4. 送風機 使用高靜壓送風機,並採2極與4極之變極方式,以供給噴氣及循環時之使用。2極運轉時為強力噴氣模式，4極運轉時僅做空氣潔淨循環模式,2.1 空氣浴塵機,6,1. 控制不同潔淨等級區域人員之進出 2. 排除一定粒徑以上之灰塵粒子 3. 防止不同潔淨等級區域之交叉污染 4. 人員更衣室入口的朝向，避開主要經常風
4、向入口。 5. 進入無塵室間，空氣浴塵室之位置宜適中，以方便人流進出動線。 6. 空氣浴塵室旁，應設置側門，供緊急使用。 7. 單體式空氣浴塵室，自進入A/S且門關閉後，至另一側門扇可開啟之標準程序，共歷時30秒。因此，設置台數，須根據通過頻率最高時段之人數，作為選取空氣浴塵室尺寸規格之依據。 8. 若通過頻率最高時段之人數，超過單體式空氣浴塵室之負荷時，則建議使用隧道式空氣浴塵室，但通道兩側門扇，不建議使用互鎖型式，以利人員動線之暢通。 9. 隧道式空氣浴塵室之兩側門扇外，建議使用燈號及反射鏡，教育通道兩側人員之進出行為，以避免兩側門扇同時打開，產生交叉污染情形。18,2.1 空氣浴塵機,7
5、,A/S數量計算,2.1 空氣浴塵機,8,氣密緩衝室 (AIR LOCK ROOM) 為作業者或物品離開 CLEAN ROOM 時，利用互鎖功能，以有效控制人員進出時，防止交叉污染產生,2.2 緩衝室,9,用途 1.使用於跨越不同潔淨等級區域使用，由潔淨等級高至等級低處 2.利用門扇互鎖之機制，防止氣流的干擾及交叉污染 分類 1.單座式A/L 2.組合式A/L,2.2 緩衝室,10,1. 門扇(具有互鎖功能) 2. 氣密室 基本設計原則 1. 控制不同潔淨等級區域人員之進出 2. 防止不同潔淨等級區域之交叉污染 3. 氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢,2.2 緩
6、衝室,11,傳遞箱 (PASS BOX) 為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓。 更可減少作業人員走動時，防止外區塵埃的進入。 傳遞箱(PASS BOX)的進出口應具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染之功能,2.3 傳遞箱,12,2. 法規需求無 3. 用途與分類用途 1.物流使用於跨越不同潔淨等級區域使用 2.利用門扇互鎖之機制，防止氣流的干擾及交叉污染 分類 1.手動式P/B 2.自動式P/B,2.3 傳遞箱,13,4. 結構說明 1. 門扇(具有互鎖功能) 2. 氣密室 5. 基本設計原則
7、1. 控制不同潔淨等級區域人員之進出 2. 防止不同潔淨等級區域之交叉污染 3. 氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢,2.3 傳遞箱,14,人在進出無塵室間，人往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，穿上包覆全身的無塵衣，則是控制無塵室污染的重要指標。 為了控制無塵衣的潔淨度，配備衣櫃(Garment stocker)，存放無塵服及鞋子，藉以控制無塵室之污染源,2.4 衣架及鞋櫃,15,2. 法規需求無 3. 用途與分類用途 1.防止無塵衣存放時遭到 外界汙染 2.控制無塵衣之潔淨度與 乾躁度 分類 1.無塵式衣櫃,2.4 衣架及鞋櫃,16,4. 結構說明 衣櫃
8、由空調過濾設備SS-MAC及衣櫃本體，兩者組合而成。其空調過濾設備可除去0.3um以上粒子99.99%以上之效率，吹出口潔淨度為CLASS 100 (US.Fed.Std.209d)，且具低噪音及低消耗電力之特性。 1. 主過濾器(MAIN FILTER) 2. 前置過濾器(PRE FILTER) 3. 電源 3. 保險絲 5. 基本設計原則 1. 設置於Gown Room 2. 依據使用人員數量，設置無塵衣櫃及鞋櫃 3. 以方便人流使用動線位置設置,2.4 衣架及鞋櫃,17,人在進出無塵室間，手部的往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，手部的清潔，則是控制無塵室污染的重要指標。 為了防止
9、手部汙染的情形產生，配備洗手烘乾機(Hand washer and dryer)，已是無塵室潔淨度控制的基本設備需求,2.5 洗手台及烘乾機,18,2. 法規需求無 3. 用途與分類 用途 1.防止無塵室與非無塵室間的手部的接觸汙染 2.控制人員手部之清潔度與乾躁度 分類 1.落地單體式洗手烘乾機(富泰) 2.壁掛洗手台式洗手烘乾機(TOTO,2.5 洗手台及烘乾機,19,1. 洗手-水過濾器 2. 烘乾功能-風機 5. 基本設計原則 1. 設置於Gown Room 2. 依據使用人員數量，設置烘乾洗手機 3. 以方便人流使用動線位置設置 4. 需先行考量水電管路預留位置,2.5 洗手台及烘乾
10、機,20,沖身洗眼器一般分為沖身及洗眼設備二種，主要依化學品噴濺身體位置選擇適當沖身或洗眼設備，現今緊急沖淋裝置常一起設置沖身及洗眼設備，可供現場作業人員第一時間沖淋化學品濺傷之位置。一般來說，緊急沖淋裝置主要是以清水提供人員清洗，清洗建議時間約需15分鐘至30分鐘。而針對化學品噴濺，另外有六氟靈（Hexafluorine）及敵腐靈（Diphoterine）急救用品進行處理,2.6 沖身洗眼機,21,2. 法規需求 a.勞工安全衛生設施規則第三百十八條：雇主對於勞工從事其身體或衣著有被污染之虞之特殊作業時，應置備該勞工洗眼、洗澡、漱口、更衣、洗濯等設備。 前項設備，應依左列規定設置： (1)刺
11、激物、腐蝕性物質或毒性物質污染之工作場所，每十五人應設置一個冷熱水沖淋設備。 (2)刺激物、腐蝕性物質或毒性物質污染之工作場所，每五人應設置一個冷熱水盥洗設備。 b.鉛中毒預防規則第三十五條：雇主使勞工從事粉狀之鉛、鉛混存物或燒結礦混存物之處理作業者，應設置淋浴設備。 c.特定化學物質危害預防標準第三十六條：雇主使勞工從事製造、處置或使用特定化學物質時，應設置洗眼、沐浴、漱口、更衣及洗衣等設備。但丙類第一種物質或丁類物質之作業場所並應設置緊急沖淋設備。 d.四烷基鉛中毒預防規則第五條第一款第六項：設置休息室、盥洗設備及淋浴設備供給勞工使用,2.6 沖身洗眼機,22,3. 用途與分類 用途 可使工作人員於意外噴濺到危害化學物時，能立即如瀑布般的沖洗全身。 分類 1.手推式 2.手推+腳踏式,2.6 沖身洗眼機,23,4. 結構說明,洗眼器,開關,沖身器,2.6 沖身洗眼機,24,5. 基本設計原則,2.6 沖身洗眼機,25
