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1、防静电技术要求主题内容及适用范围本标准规定了电子设备研制生产全过程中，对静电放电危害的防护技术基本要求，静电敏感器件的采购、检测、储存、运输、装配过程中的防静电操作要求，对防静电工作区的管理以及人员教育培训等内容。本标准适用于研制、生产、维修电子设备的部门及采购、储运、检测电子元器件，也适用于其它任何涉及静电敏感元器件的部门。1 术语1.1静电：物体表面过剩或不足的静止电荷。1.2静电放电：静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象。英文缩写ESD。1.3静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压值。静电放电敏感（的）英文缩写ESDS。1.4静电敏感器件：（承受静电放电电压较低的
2、器件）对静电放电敏感的器件。1.5泄放：将静电荷安全传导到地。1.6中和：利用导性电荷（异性离子）使静电消失。1.7静电导体：表面电阻率在105108范围内的物体。1.8接地：电气连接到能提供或接受大量电荷物体上。（如大地、舰船或运载工具金属外壳。）接地连接点英文缩写：EBP。1.9防静电工作区：用各种防静电设施、器件及明确区域的界限形成的工作场地。（用必要的防静电防护材料和设备建立和装备起来有明显标志的区域能防护静电损害。）英文缩写：EPA。1.10静电放电保护材料具备以下特征：1.10.1防止产生摩擦起电。1.10.2免受静电场的影响。1.10.3防止与带电人体或带电物体接触而产生直接放电
3、。1.11静电放电损伤：由静电放电造成的电子元器件性能退化或功能失效。1.12静电耗散材料：其表面电阻率等于或大于1*1051012或体积电阻1041011的材料。2 静电放电造成电子元器件失效及对静电放电敏感性分类2.1 静电放电造成电子元器件失效： 静电放电对电子元器件的损伤可造成功能失效和损伤。 失效的主要机理有：a 热二次击穿 b 金属镀层融熔 c 介质击穿 d 气弧放电 e 表面击穿 f 体击穿 2.2电子元器件易遭受静电放电损伤的敏感结构见附录A（参考件）附 录 A对ESD敏感的元器件组成部分元器件组成部分元 器 件 类 别失 效 机 理失 效 标 志MOS结构MOSFET（分力的
4、）MOS集成电路有金属跨接的半导体器件数字集成电路（双极和MOS）线性集成电路（双极和MOS）MOS阻容器混合电路线性集成电路电压引起的介质击穿和接着发生的大电流现象短路（漏电大）半导体二极管（PN、PIN、肖特基）双极晶体管结型场效应晶体管可控硅数字、线性双极集成电路、输入保护电路：用于分力MOS场效应管和MOS集成电路由过剩能量和过热引起的微等离子体二次击穿的微扩散由SI和AL的扩散引起电流束的增大（电热迁移）薄膜电阻器混合集成电路：厚膜电阻 薄膜电阻单片集成电路：薄膜电阻器密封薄膜电阻器介质击穿、与电压有关的电流通路，与焦耳能量有关的微电流通路的破坏电阻漂移金属化条混合集成电路单片集成电
5、路梳状覆盖式晶体管与焦耳热能量有关的金属烧毁开路场效应结构和非导电性盖板采用非导电石英或陶瓷封盖板的集成电路和存储器，特别是EPROM由于ESD使正离子在表面积垒。引起表面反型或栅阀值电压漂移工作性能退化压电晶体晶体振荡器声表面波器件当所加电压过大时由于机械力使晶体破裂工作性能退化电极间的间距较小部位声表面波器件无钝化层覆盖的薄膜金属无保护的半导体器件和微电路电弧放电使电极材料熔融工作性能退化2.3静电放电敏感器件的分类：按敏感度电压被分级为：1级：损坏敏感的放电电压从0V1999V。2级：损坏敏感的放电电压从2000V3999V。见附录B（参考件）附 录 B静电放电敏感电子元器件分类（参考件
6、） I级静电敏感度的元器件（11999V）序号元 器 件 类 别条 件 及 说 明1微波器件包括肖特基二极管、点接触二极管、工作频率大于1GHZ的检测二极管2分力MOS场效应晶体管包括VMOS及VDMOS管等3表面声波（SAW）器件4结型场效应晶体管5电荷藕合器件6精密稳压二极管7运算放大器包括双极型工艺及MOS工艺8超高速集成电路包括ECL、HCMOS、FAST等工艺9其他集成电路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜电阻器11混合电路使用I级静电敏感元器件组装的混合电路12可控硅TA=1000C IO0.175AII级静电敏感度的元器件（20003999V）序号元 器 件 类
7、别条 件 及 说 明1分力MOS场效应晶体管包括VMOS，VDMOS等2结型场效应晶体管3运算放大器包括双极工艺和MOS工艺4超高速集成电路5其他集成电路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密电阻网络包括ECL、HCMOS、FAST等工艺7混合电路使用II极静电敏感元器件组装的8低功率双极工艺晶体管PT100mW，IC100100mA3 基本要求3.1 静电防护的基本原则 ：3.1.1抑制静电荷的积聚3.1.2迅速、安全有效地消除已经产生的静电荷。3.2 对静电放电进行有效地控制，以使电子元器件免受静电放电的危害。防止静电放电造成电子元器件、电子整机等产品功能失效与可靠性下降。3.3
8、 具体要求如下：3.3.1防静电工作区场地：3.3.1.1禁止直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板等。 3.3.1.2选用静电导体材料构成的地面。如防静电活动地板或在普通地面铺设防静地垫，并有效接地。3.3.1.3允许使用经特殊处理过的水磨石地面。如事先敷设地线网，渗碳或在地面喷抗静电剂等。 3.3.2接地： 3.3.2.1防静电系统必须有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10，埋设与检测方法符合SJ/T 10694-1996的要求。3.3.2.2防静电地线不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。3.3.2.3使用三相五线制供电，其地线可以作为防静电地线。（但零线，地线不得混接
9、）。3.3.2.4防静电接地分系统也可利用故障保护地线或信号参考地线（直流工作地线）作为接地母线。3.3.2.5不允许交流线路的走线与直流地线紧贴或平行铺设，以防对直流信号造成干扰。3.3.2.6各接地分系统的连线之间应相互隔离，使用带绝缘外皮的导线。3.3.2.7接地主干线截面积应不小于100mm2，支干线截面积不小于6mm2，设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股塑料导线，接地线颜色以黄绿色为宜。接地点符号如图1所示，其尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼清楚辨认，标记颜色为黄底黑色，避免使用红色。图 1 接地连接点符号式样3.3.2.8接地主干线的连接方式应采用钎焊、熔焊
10、或压接连接件、卡箍等进行搭接连接。3.3.2.9防静电设备接地端子应用易装拆的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插头座等，但应确保电气连接可靠。3.3.3湿度、温度控制：3.3.3.1防静电工作区的环境相对湿度在4575（或3075）范围内。3.3.3.2防静电工作区的环境温度在1535范围内。3.3.3.3在不对产品造成有害影响前提下允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。3.3.6区域界限：防静电工作区应标明区域界限，并在明显处悬挂警示标志。警示标志应符合GJB3007-97规定，EPA标记符号式样如图2所示，其最小尺寸为300mm*150 mm，标记颜色一般采用黄底黑色。一般可配置手模式静
11、电泄放球（应可靠接地）。图2 EPA标记符号式样3.3.7电荷源在防静电工作区内禁止使用及接触易产生静电荷的电荷源（见表1）。表 1 电 荷 源类 别电 荷 源工作台表面油漆或浸漆表面，普通表面塑料贴面，普通乙烯及树脂表面。工作服、鞋、帽普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶底鞋。地板塑料及普通地板革、抛光打蜡地板、普通乙烯树脂。操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品，普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等。3.4防静电设施3.4.1静电安全工作台3.4.1.1静电安全工作台是防静电工作区的基本组成部分，所有装配调试人员，材料处理人员和接触静电敏感器件的检验人员、技
12、术人员都必须在静电安全工作台上操作。3.4.1.2静电安全工作台由工作台、防静电桌垫和大地线等组成。接地线应与大地有可靠连接。以保证静电荷安全泄放到地。防静电工作台地线应采用最小截面积不小于1.25 mm2的多股塑料导线，外皮颜色为黄绿色。3.4.1.3防静电工作台面的表面电阻为106109的规定（见附录C）测试技术指标。测试方法见第10.5.2.2条的规定。3.4.1.4静电安全工作台上不允许堆放塑料盒（片）、橡皮、纸板、玻璃等易产生静电的杂物。图纸资料等应装入防静电文件袋内。3.4.2防静电腕带直接接触静电敏感器件的人均应戴防静电腕带，腕带应与人体皮肤有良好的接触，腕带必须对人体皮肤无刺激
13、，无过敏影响。腕带系统对地电阻应在106108范围内。测试方法见第10.5.2.3条的规定。3.4.3防静电容器在电子设备研制生产过程中一切储存、周转静电敏感器件的容器（元件袋、周转箱、印制板架、元器件存放盒等）应具备静电防护性能，不允许使用普通塑料容器。存放部件用的周转箱必要时应加装接地线。（见附录C）3.4.4防静电工作服3.4.4.1进入防静电工作区或接触静电敏感器件的人员应穿防静电工作服，防静电服面料应符合GB12014防静电工作服规定。3.4.4.2在相对湿度大于50%的环境中防静电工作服允许选用纯棉制品。3.4.5防静电烙铁防静电烙铁台应可靠接地，焊头部位应用多股铜芯线（1mm2）直接接地，从焊头到接地系统的电阻应不大于2。3.4.6防静电手套、手指应用静电耗散材料制作，电阻值在1051010。4 防静电器材基本配制：各种防静电器件基本配置见表2。表 2 防 静 电 器 件 基 本 配 置 表配置部位配置项目器材名称元器件待验元器件库房元器件预处理外设计工艺实验室装配调试维修外场维修运输防静电元件存放架静电识别标签防静电元件盒（袋）防静电桌垫
