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1、特气管道施工与检查,GAS若遇到200A的大管无法使用自动焊时，可用手焊最后在用X光照射来检验焊接的质量良否。,13,相关专业,九、洁净管道安装之管线测试-1,目的：确保整个管路系统的安全以及纯净物污染，以达制程的需求。 步骤： 一、系统保压的测试; 1. 仪器： a)Gauge刻度精密到0.5psi无记录但方便安装 b)Recorder记录器有记录纸记录但安装不便。 2.测试方法： a)在系统内灌入被纯化过的氮气，灌入压力=设计压力*1.1倍，接测试仪器持续时间24小时。大于或等于15A之管路 保压10Kg/cm2 试验时间：60min;大于或等于15A之管路 保压8Kg/cm2以上 试验时
2、间：24h 小于15A之管路 保压8Kg/cm2以上 试验时间：24H。 b)若在任何温度变化修正之后，没有压力衰减的现象、则注明该管路气体名称、管线压力值、时间、时期和空气温度等数据，请业主代表见证测试的开始与结束。 c)完成测试后再将测试数据送请业主代表签名。,14,相关专业,九、洁净管道安装之管线测试-2,二、系统氦气测漏测试： 1、测试仪器:Leybold(UL200dry) 2、测试方法： a)Inboard模式：将被测系统管路连接测漏仪器，将系统抽真空，抽至漏率1*10-9atm.cc/sec后，在系统的每一口焊道、接头等喷氦气来测试，若维持漏率小于1*10-9atm.cc/sec
3、则表示合格，此漏率测试值是针对P级气体与特殊气体，至于GN2/PN2则是1*10-6atm.cc/sec，CDA不做氦测漏。 b)outboard模式：将被测系统灌入氦气，再将氦测仪切换成Sniffer模式，调整一起灵敏度至1*10-9atm.cc/sec再用连接氦测漏仪的软管吸每一道焊口，接头等，若系统有漏，氦气被仪器吸入时，仪器会发出警示声响。,15,相关专业,九、洁净管道安装之管线测试-3,三：系统Particle是测试： 1、测试仪器 a)CNC(contensation Nucleus counter) b)PMS 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体
4、 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)将系统连接测试仪器，一起连接系统的管路必须使用EP级的不锈钢管，测试前须先经过加减压的冲吹； c)P级气体与特殊气体测试规范如下： Partilce 1 pcs/sft3 0.1um连续30分钟 CNC可测到0.01um的等级，流量为0.1sft3/min d)G级气体测试规范如下： Partilce 10 pcs/sft3 0.1um连续测30分钟，可用PMS来测。,16,相关专业,九、洁
5、净管道安装之管线测试-4,四、系统水分的分析： 1、测试仪器：a) Ametek b) Meeco 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)系统必须先加减压和连续式的冲吹； c)系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用EP级的管线和VCR接头 d)依照不同等级气体测试到合格规范； e)冲吹次数计算法：C:初始浓度 P1：升至最大压 P2:降至最下压 n:Purge次
6、数,17,相关专业,九、洁净管道安装之管线测试-5,五、系统氧气的分析： 1、测试仪器：Delta-F 2、测试方法： a)使用超纯氮气（PN2）作为冲吹（Purge）气体 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)系统管路连接分析仪器，连接管线必须使用EP级的管线和VCR接头 c)依照不同等级气体测试到合格规范,18,相关专业,九、洁净管道安装之管线测试-6,六、系统真实气体的分析： 1、测试仪器： a) RGA5 b) Apimas 2、测试内容：O2,CO,CO2，H2，CH4，THC,NMHC 3、测试方法： a) RGA5:因目前Apimas无法分析O2的不纯物，故用取样瓶取样后，再用RGA5来分析。 b) Apimas:假设系统一次配，配到VMP/VMB时，则在每个VMP末端的stick出口接一放有Restrictorifice垫片的冲吹管连续冲吹，而PH2的冲吹排气要先准备好，将真实气体PH2、PN2、PHe、Par接入Apimas开始作连续的分析，一直到分析合格为止。,19,相关专业,
