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1、建设项基本情况 20091LPt1T-;WZ+62014项名称中芯国际集成电路制造（天津）有限公司VOCs有机废治理项建设单位中芯国际集成电路制造（天津）有限公司法代表邱慈云联系乔琳舒通讯地址天津市西青经济开发区兴华道19号联系电话23700680传 真23701129邮政编码300385建设地点天津市西青经济开发区兴华道19号项审批部门天津市西青区政审批局批准号津西审投2015 304号建设性质改建业类别 及代码污染治理/N7722占地积 (平)200绿化积 (平)总投资 (万元)1960其中：环保投资（万元）1960环保投资占总投资例100%评价经费 (万元)2.3预期投产期2015年12
2、程内容及规模： 1、项背景及概况 中芯国际集成电路制造有限公司（Semiconductor Manfacturing International Corp；以下简称“中芯国际”）是家以集成电路代为投资服务的国际化公司，其公司总部位于中国上海，其企业投资主体为海外华以及美国和本公司。企业主要经营半导体（硅及各类化合物半导体）集成电路芯制造、针测及测试，与集成电路有关的开发设计服务、技术服务、光掩膜制造、测试封装，并销售产品。 中芯国际于2003年在天津设中芯国际集成电路制造（天津）有限公司（以下简称“中芯国际天津”），并通过资产并购式受让摩托罗拉（中国）电有限公司位于天津市西青经济技术开发区的芯
3、，并通过增加投资达到扩芯产能、完善和增容部分动、环保安全等设施的的。前中芯国际天津已经形成产300008英硅，0.350.13微的开放式集成电路芯加能，该项于2007年1通过了项竣环境保护验!1.,P/R999020.,nPFab7 LSU1LLnx.,P/1.YWL30000_L55000L100008UQSYZ+6 S.,-1VOCsv1K5sKW&0ZW&BFr0AMb3W&30m-6+903VOCs1-nstm.,lR19602RV1Mb30RX0zyRXVOC1RX.yR?M-0Lnz15RX5-.yfXI6SP-tSP-2015304i625UV; LI1XIRS-.X0zVOCr
4、0RX.yk+WVY;M-VOCv.t5|5sMbN130m-33sn-xVOC1-Wv0ZJe.yz6zSL200m26 Mb3RX.y601kWV.y (Rotary RegenerativeThermal Oxidizer System)(fMRRTO)RXU2RX!K_1K6 .y+k0|fDCm1+bYvk613k20xWVYk&x13+6y&x1sj&+x1snsxj-6XIGD;2!95%WVD;2!98%sD;2E95%6 35S SSk5WVyb05+b6MSm16 !21 Sf 45DU 1s .,/V5ZjgONIrZA1#8000m.ZZAdqiMS5Z6S6 2- B
5、/5h.y+0Aq1-.y6 h-AjgONhW&h;0A_-635Zj/VRX.yRX!x-AjgONKc0A_SRX/6S36 3 .,1o?M7110kVRM4c20MVAR4/6dVM3c1400KVA+Nb?1+m.,6S10KV 3X3Z50Hz0V?Mb6 序号设备名称数量单位备注1浓缩转轮1套浓缩倍率20倍，西部技研UZC-4250V402燃烧机1套温度850，燃料为天然3热氧化室1套圆柱体12槽4次风机1台进流量73292m3/h，75KW5Purge风机1台补或扫，550 m3/h，3.7KW6助燃风机1台进流量420 m3/h，2.2KW7脱附风机1台进流量3365 m3
6、/h，37KW8燃烧控制盘1组屋外防型9点变压器盘1组屋外型，材质SUS30410变频风机控制盘1组屋内型，碳钢+涂装11风机控制盘1组屋内型，碳钢+涂装!34 .,1dVV?M4c10t/hJ1c13t/hV+5n.yg36 5 jgONDjISV6VS0?M1dV6S)W14.7m3/h6 64n .,1?M4ndV5c2000m3/h3c950m3/h4bSon4bzZ/I4Dsn64n.ySE7000m3/min6 55J6 SHSXH/V?M36 !4与本项有关的原有污染情况和主要环境问题 =.,nPFab7 LSU9!JtI1XIRRt1?MmfUh6 15 .,q?nQ1.LK55|575s575K5)t5563A55e6j&fZzMTunu6 !5硅 清 洗氧 化清 洗涂 胶烘 离注与扩散化学机械研磨刻 蚀洗 胶光 刻清 洗薄 膜成 品Mb纯N2吹纯O2H2SO4纯惰性体半导体研磨浆刻蚀液纯有机溶剂检测酸碱纯等光刻胶1 .U 253 13G1 3v-K5t56A5bS10X.jSRX0RXx1U6 .,P/HL8z3K0)W44S7K0S130m-P1P86?&U13W&rF0A3Z0A4zO13K0RXRXxrR1430m-iP 15P35P55P763HF563K0zRX
