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1、.,1,JMP的使用 电池 张晓辉 2009.12.07,.,2,（一）JMP DOE的设计 （二）JMP 数据分析 （三）JMP DOE的分析,.,3,JMP DOE的设计,根据影响OTB PECVD工艺因素较多的情况，分三部分设计实验。 DOE 1（ Screening DoE ）： 目的：找到影响效率最重要的因素，选择6个影响因素。包括：PHT TOP,DCH TOP，source current，gas ratio，total flow，pump frequency DOE 2 （surface DOE）: 找到影响大的3个因素，设计实验3因素中最佳的工艺参数设置。其中3个因素包括：P
2、HT bottom，DCH TOP, Gas ratio。 验证实验：根据前两次结果，验证最佳工艺的稳定性。,.,4,Screening design DOE,按图示进入screen DOE 设计界面。,选择PHT TOP,DCH TOP，source current，gas ratio，total flow，pump frequency 这6因素，每个因素选择1、2、3、个水平，例如上图每个因素选择2个水平，进行试验设计。,.,5,Screening design DOE,选择实验方案类型：工艺分组的数量、排列顺序、因素之间交叉实验类型。,.,6,Screening design DOE,方
3、案的得出包括工艺的顺序、参数的搭配等，一目了然。,.,7,Surface DOE2的设计,选择surface design，进入右面界面添加所要实验因素并 将其名称填写清楚，每个因素的上下线填写到表格，JMP就可以在这个范围内自动取值设计实验。,.,8,Surface DOE2的设计,选择设计实验的类型，工艺数量、中心的的数量、对称类型。右图显示可以选择列表工艺方案显示顺序。如图显示随机，则每次列表排列顺序都有可能不一样。,.,9,Surface DOE2的设计,工艺方案JMP自动取值列表如图所示,.,10,JMP数据的分析,各个工艺间结果趋势的显示：将原始数据复制，按图所示粘贴，则数据显示在
4、JMP data table。 按右图所示点击variability/Gauge chart .,.,11,JMP数据的分析,将要显示的数据入VOC、ISC、NCELL等添加到Y表格，将组别、分类项目添加到X grouping 里面，然后点击OK.,.,12,JMP数据的分析,.,13,JMP数据的分析,变化趋势图Run chart 的制作，如图选择，进入右面界面。选择要显示的参数例如VOC、ISC等，然后将样本标号选入Sample Label。点击OK.,.,14,JMP数据的分析,选择想要的图片，进行复制、粘贴，以便查看结果进行分析。,.,15,JMP数据的分析,数据的分布：查看数据是否符
5、合正态分布。并且可以显示各数据所到的百分比。,.,16,JMP DOE的实验分析,数据准备：先将原始数据进行处理，去掉异常后，利用数据透视表将各组对应的参数平均值与DOE 设计的方案，相对应。然后粘贴到JMP data table里面。,.,17,JMP DOE的实验分析,JMP实验分析：制作模型 可以得出实验的可靠性、真实性。同时，得出各个因素对结果的影响程度、及预计的变化趋势。 如右图：选择效率NCELL作为Y值分析，影响因素选择前面DOE2设计时的3因素PHT bottom、 DCH TOP、gas ratio。,考虑到这些因素之间如何相互作用，在Macros选择相应的作用模式，进行数据处理，点击Run mobel得出相应的模型。,.,18,JMP数据的分析,当Rsq0.8，说明变化因素与结果之间建立的模型符合实际情况。,如图Rsq=0.87说明模型很成功，有一定的参考性。 如右图显示各个因素对结果影响的程度大小及正、负作用的显示。 下图形象的给出了各个变化因素与结果的变化趋势图。得出曲线确切的、定值的给出每个因素对应的结果。,.,19,
