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1、碱抛光工艺交付手册,拓邦科技版权所有,润扬悦达盐城厂 2018-08-01,拓邦科技版权所有,2,拓邦科技版权所有,3,工艺综述：拓邦碱抛光工艺，采用无机碱（KOH/NaOH）在刻蚀工艺中对扩散后硅片背面及边缘进行刻蚀抛光，替代传统酸刻蚀工艺，能够取得更好的抛光性能，并降低工艺成本。 工艺描述：碱抛光工艺从设备角度，可以分为两大步骤，首先在链式设备中，使用HF去除扩散后硅片背面及边缘PSG；其次在槽式设备中，正面PSG保护硅片正面不被无机碱腐蚀，硅片背面及边缘被无机碱抛光。,碱抛光工艺简介,工艺目的：,设备方式：,使用药液：,KOH, H2O2,碱抛光工艺结果监控,硅片外观 测试方法：肉眼观察
2、 合格标准：正面不能有过刻现象，不能有亮边；背面抛光，外观均匀洁净 硅片减重 测试方法：天平测量抛光前后硅片减重 合格标准：抛光减重0.15-0.25g 背面反射率 测试方法：反射率仪测量背面反射率 合格标准：45% 正面方阻变化 测试方法：方阻测试仪测试抛光前后正面方阻变化 合格标准：抛光后方阻增加10/,拓邦科技版权所有,4,抛光前,抛光后,碱抛光设备介绍,捷佳伟创槽式碱抛光设备 共计14槽，单槽400片，槽体体积330L 机械手2个，提篮速度设置：500，平移速度设置：1500 烘干槽3个，风机功率设置：90% 慢提拉采用独立式，提篮速度设置：5 并联运行模式：上料1槽2槽3/4槽5槽6
3、槽7槽8/9槽10槽11槽12/13/14槽下料,拓邦科技版权所有,5,设备功能槽说明,拓邦科技版权所有,6,预清洗,1槽,对硅片进行预清洗去除片面酸残留物及其他溶于碱的杂质,利用添加剂对硅片正片进行保护，KOH碱液对背面及硅片四周边线进行碱腐蚀，消平背面硅片制绒形成的金字塔,去除抛光槽中硅片表面残留的溶于碱/酸的杂质（可根据实际情况采用碱/酸后清洗）,利用HCl和去除硅片片面碱残留，利用HF酸去除硅片表面的磷硅玻璃,KOH,H2O2,DI,KOH,BP,KOH,BP,DI,KOH,H2O2,DI,HCl,HF,HCl,HF,DI,DI,拓邦科技版权所有,7,拓邦碱抛自动运行工艺参数(1),拓
4、邦科技版权所有,8,拓邦碱抛自动运行工艺参数(2),拓邦科技版权所有,9,拓邦碱抛自动运行工艺参数(3),拓邦科技版权所有,10,拓邦科技版权所有,11,异常处理 (1)背面局部未抛光,现象：碱抛后的硅片，背面边缘或边角有局部没有抛光。 原因分析：背面去PSG时，背面局部未接触HF，导致没有完全去除背面PSG。 解决方案：调整去PSG液位，水平度等参数。,拓邦科技版权所有,12,异常处理(2)背面反射率低,现象：碱抛后的硅片，背面亮度不均匀，反射率低，减重小。 原因分析：抛光槽碱浓度过低，导致抛光反应不充分。 解决方案：补加碱，提高抛光槽碱浓度。,拓邦科技版权所有,13,异常处理(3)正面边缘
5、局部过抛,现象：碱抛后的硅片，正面边缘或边角有明显的过抛现象，正面边缘有斑点过抛。 原因分析：背面去PSG过刻，导致翻液破坏正面PSG，抛光槽正面过抛。 解决方案：调整去PSG液位，水平度等参数，防止过刻。,拓邦科技版权所有,14,异常处理(4)正面中心环状抛光,现象：碱抛后的硅片，正面出现环状抛光，且批量出现同一位置。 原因分析：硅片进入背面PSG刻蚀时，扩散面放反，导致正面PSG保护层被破坏。 解决方案：梳理产线工艺流程，禁止扩散反片硅片流入抛光工序。,拓邦科技版权所有,15,异常处理(5)正面边缘带状过抛,现象：碱抛后的硅片，正面边缘带状区域被抛光。 原因分析：背面去PSG刻蚀时，正面水
6、膜没有完整覆盖硅片正面。 解决方案：去PSG刻蚀机台的水膜流量加大。,拓邦科技版权所有,16,异常处理(6)正面不规则过抛,现象：正面不规则过抛，过抛区域边缘界限不明显，连续每批都出现。 原因分析： 扩散面扩散PSG不均匀； 抛光槽添加剂浓度不够； 抛光槽溶液比例失衡，硅酸盐浓度过高； 抛光槽溶液寿命到期。 解决方案： 调整扩散工艺，加厚表面PSG； 补加添加剂； 排查精排排液情况是否正常，补液是否正常； 延长精排时间，同时提高添加剂补加比例； 重新换液，清洗槽体。,拓邦科技版权所有,17,拓邦科技版权所有,18,设备维护规范建议,长时间使用抛光槽会导致槽内残留大量硅酸盐，正常清洗无法将其彻底洗净，最终会导致抛光槽寿命偏低及EL良率等问题 解决方案 使用拓邦清洗剂（TC10V02）可快速溶解槽内硅酸盐，达到槽内洁净的效果 操作步骤 1、抛光槽内加热水（60-80）液位到300L 2、倒入拓邦清洗剂（TC10V02） 4L 3、开启循环和鼓泡，浸泡1小时 4、观察槽内液体澄清后排空抛光槽，再用冷水洗三次 维护周期 建议每月维护一次,拓邦科技版权所有,19,联络人：李一鸣地址：浙江省绍兴市袍江新区越东路30号6号厂房电话：+86-15395852365Email：,拓邦科技版权所有,20,
