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1、0,*,0,To Power Our Future,PECVD岗位培训教材,电池设备部,上饶晶科光电高科技有限公司,1,*,1,参数的影响,2,*,2,沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积 时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印 镀膜不良，应及时挑出做返工处理。,参数的影响,3,*,3,Handing界面的介绍,Arm的位置（Paddle，Middle,storage）其余显示均为错误,桨的信息：free 无舟,occupied 有舟,机械臂上石墨舟的感应器,empty：无
2、舟,occupied 有舟,石英管信息显示,ready：准备状态,not ready ：运行状态,机械臂运行状态,free：运行,lock：锁定,显示存储架的存储信息,机械臂目前所的位置,PECVD岗位基本操作及注意事项,4,*,4,BOAT信息设置方法介绍,BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运,行是否正常。,舟号：点击过后可对BOAT信息设置,运行状态,桨号,管号,工艺号,PECVD岗位基本操作及注意事项,5,*,5,设定实际信息，选择此项后可对信息进行修改 或重新设定。点击取消后，才可选择,下面一项。,删除此舟的信息,点击进入下一步,PECVD岗位基本操作及注意事项,6,7,8,*,
3、8,工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经 在进行的工艺号,后面Recipe error 前面若是有红色X请点击后取消它,输入操作人员的姓名拼音首写字母,按下Finish键后完成所有设定,PECVD岗位基本操作及注意事项,9,*,9,如果出现下列的信息,就表明你设定的信息 系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息 再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明 你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你 设定错误的那一步,要求你重新进行设定。,完全确认后，点击“ok”后设定结束，返回 主界面。,PECVD岗位基本操作及注意事项,10,*,10,特殊情况下如何进行手动关门,在特殊情况下有时候为了需要必须
4、手动关闭炉门,（1）检查所有管子都处于等待状态,（2）将压缩空气总阀关闭,PECVD岗位基本操作及注意事项,11,*,11,3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。,调节阀,气管,PECVD岗位基本操作及注意事项,12,*,12,PECVD工艺流程,1.processing started 工艺开始,2.fill tube with N2 充氮-达到大气压的标准值，机器后面的压力并能准确测 试，得到进舟信号以后炉门才会开启,3.loading boat (paddle in upper position)进舟-SLS
5、显示桨位于高位， 若此时桨位于低位，进舟将会失败，舟有撞击到石英管的可能性。,4.paddle moves downwards桨降至低位,5.move out paddle-lower position桨在低位退出，此时应注意石墨电极有 可能会桨带出，关炉门时会损毁石墨电极,6.evacuate tube and pressure test管内抽真空，并进行管内压力测试- （空气接触到硅烷会发生爆炸）,7.plasma preclean and check with NH3通过高频电源用氨气预清理和检查.,8.purge cycle 1清洗管路（1）,9.leaktest测漏,13,*,13,
6、10.wait until all zones are on min .temperature恒温,11.ammonia plasma preclean 通过高频电源用氨气清理,12.deposition 镀膜,13.end of depposition 结束镀膜,14.evacuate tube and pressure test抽真空及测试压力,15.purge cycle1清洗管路（1）-将特气管内的剩余硅烷和氨气抽走，防止与空气接触发生爆炸,16.fill tube with N2充氮（同第二步）,17.move in paddle-lower position桨在低位进入炉内,18.
7、SLS moving to upper positionSLS移至高位,PECVD工艺流程,14,*,14,19.unloading boat 退舟 20.end of process结束工艺 PECVD操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏） 1.SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置， 请手动移动到正确的位置后
8、再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（4）（5）,PECVD工艺流程,15,*,15,5.舟位于存储架（storage2，storage3）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（2）（3），否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（6） 7.从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图（7） 8.进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=read
9、y，SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作 10.小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（7）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。,PECVD工艺流程,16,*,16,真空管,炉管,压力,手动开门步骤,10000,最大最小值,17,*,17,气体,氮气,气体阀,Open/Close打开/关闭,Open/Close,18,*,18,舟,位置,设置点,进舟/开门,2082/10,手动开门步骤,19,*,19,1、Manual Tab Vacuum Tube Pressure,手动 切换 真空管 炉管 压力,Mininum 最小值,2、Manual Gas N2NO Valve Open 手动 气体 氮气 气体阀 打开,3、Manual Gas N2NO Valve Close,手动 气体 氮气 气体阀 关闭,手动开门步骤,20,*,20,4、Manual Boat Position Setpoint 输入10,手动 舟 位置 设置点,手动开门步骤,
