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1、 .设 备 验 收 报 告设 备 名 称型号规格数量/套验收围烘干烧结一体炉SJ-1400一台验收日期： 年 月 日技术规格(祥见附文)验收项目验收指标验收结果备注干燥区温控精度2烧结区温控精度2温度控制精度10升温速率45/s冷却速率90/s网带稳定性2%烧结出口温度60气流稳定性5%工艺效果验收单晶50方阻、多晶55方阻烧结培训培训容培训对象(签字)培训时间备注网带清洗设备操作日常维护/故障排查资料交付类型交接对象(签字)交接时间备注使用说明书关键部件说明书备品备件交接验收结论：意见和建议：甲方名称：中恒科技工艺代表：设备代表：工厂负责人：（盖章） 日 期：2010 年 月 日乙方名称：北
2、京中联科伟达技术股份有限公司设备代表：现场负责人：日 期：2010 年 月 日设备验收报告附文一、 验收依据1、 年 月 日，甲、乙双方签订的SJ-1400型烘干烧结一体炉设备购销合同。2、 年 月 日，甲、乙双方签订的SJ-1400型烘干烧结一体炉设备验收细则。二、 验收项目1、干燥区温控2、烧结区温控3、温度控制精度4、升温速率5、冷却速率6、网带稳定性7、烧结炉出口温度8、气流稳定性9、工艺效果验证三、 验收标准、方法1. 干燥区温控校验方法：将干燥区的3个温区温度进行设定，设定围控制在100400之间，待温度稳定（需30min）后，保温持续4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较
3、得出该指标。验收标准：3个温区温度波动控制在2以2. 烧结区温控校验方法：将烧结区的6个温区温度进行设定，设定围控制在2001000之间，待温度稳定（需30min）后，保温持续4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。验收标准：6个温区温度波动控制在2以3. 温度控制精度校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，以同一硅片在炉的多点温度曲线为检验手段。验收标准：温度曲线峰值温度控制在10以4. 升温速率校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉的温度曲线，以温度从500950温度上升的速率大小为检验手段。验收标
4、准：最大正斜率为45/s5. 冷却速率校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉的温度曲线，从930600的温度下降速率大小为检验手段。验收标准：最大负斜率为90/s6. 网带稳定性校验方法：对网带速度进行设定，设定围50-610cm/min，待网带稳定后，根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。验收标准：2%*设定值7. 烧结炉出口温度校验方法：外围供水温度为20，待正常工艺运行稳定后，以操作界面显示值或用温度测试仪测试生产电池片表面温度得出该指标。验收标准：608. 气流稳定性校验方法：运行正常工艺配方后，外围供气稳定，以压力表显示为准，检测压缩
5、空气在4个小时的变化量得出该指标。验收标准：变化量控制在5%*显示值9. 工艺效果验证校验方法：执行正确工艺配方，对单晶50方阻（多晶55方阻）电池片进行烧结测试。以烧结后电池片各电性能为该项指标（其中电池片选取必须是稳定片源）。验收标准：测试数据无异常四、验收结果附表五、培训容详细附表附件1：烧结炉设备操作培训流程确认培训时间 培训对象培训容：1) 设备整体结构介绍 完成； 未完成，原因2) 界面介绍 完成； 未完成，原因3) 手动操作培训（是否具备独立手动操作的能力） 完成； 未完成，原因4) 工艺参数设置培训 完成； 未完成，原因签字确认：附件2：烧结炉设备安装维护培训流程确认培训时间
6、培训对象培训容：1) 设备整体结构介绍 完成； 未完成，原因2) 界面介绍 完成； 未完成，原因3) 手动操作培训（是否具备独立手动操作的能力） 完成； 未完成，原因4) 工艺参数设置培训 完成； 未完成，原因5) 电器控制原理培训 完成； 未完成，原因6) 电器参数设置培训 完成； 未完成，原因7) 故障处理培训 完成； 未完成，原因8) 维护、保养培训 完成； 未完成，原因签字确认：六、资料交付清单文档容数量接收人1技术规格书1份2操作说明包括设备外购件的说明书；1套3安装说明1份4. 维修手册1份5安全说明1份6备品备件清单消耗品、易损件；石英器件清单；1套7机械装配图装配图；炉体部分装配图纸；1套8气路图原理图；1份9电气图电气图（包括电气原理、器件布局、接线图）1套 页脚
